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- [发明专利]一种金属薄片表面细纹蚀刻工艺-CN202011608536.3在审
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马文勇
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苏州运宏电子有限公司
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2020-12-29
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2021-06-18
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C23F1/02
- 本发明公开一种金属薄片表面细纹蚀刻工艺,这一技术方案中,在金属薄片表面加工细纹前预先预备辅助加工板,在辅助加工板上按照金属薄片表面需要加工的细纹进行镂空蚀刻,构建花纹匹配的辅助加工板,随后在经过蚀刻前处理的金属薄片上涂覆厚度为0.01~0.03mm的热熔胶,而后将辅助加工板贴合在金属薄片上并进行第一次蚀刻作业,而后拆除辅助加工板,再进行第二次蚀刻作业,本发明的优点在于利用带有镂空的匹配花纹的辅助加工板贴合在金属薄片表面辅助蚀刻细纹,进行蚀刻作业时可以对蚀刻液进行预先位置引导,从而实现了精准蚀刻,有效缩短了蚀刻作业时间,避免蚀刻时间过长导致金属薄片被蚀刻液蚀穿。
- 一种金属薄片表面细纹蚀刻工艺
- [发明专利]干法蚀刻设备及蚀刻方法-CN201710556671.X在审
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方亮;肖文欢
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武汉华星光电技术有限公司
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2017-07-10
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2017-10-27
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H01L21/67
- 本发明所提供的干法蚀刻设备包括能够彼此隔离的至少一个主蚀刻制程腔和至少一个后处理制程腔,所述主蚀刻制程腔使用含氯的蚀刻介质对待加工产品进行蚀刻,所述后处理制程腔使用含氟的置换介质将经蚀刻后所述待加工产品上残留的氯离子置换成氟离子本发明所提供的干法蚀刻方法将待加工产品传送到主蚀刻制程腔内;向所述主蚀刻制程腔内通入含氯的蚀刻介质,以对所述待加工产品进行蚀刻;将蚀刻后的待加工产品传送到后处理制程腔;向所述后处理制程腔内通入含氟的置换介质,以将进行所述待加工产品残留的氯离子置换成氟离子本发明解决了现有技术中蚀刻残留对主蚀刻制程的影响,大大提升产品良率,提高生产效率,并延长了设备保养周期。
- 蚀刻设备方法
- [发明专利]激光加工方法-CN201180036517.0有效
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下井英树;荒木佳祐
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浜松光子学株式会社
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2011-07-19
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2013-04-03
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B23K26/38
- 一种激光加工方法,是使激光(L)聚光于由硅形成的加工对象物(1)的内部而形成改质区域(7),沿着该改质区域(7)进行蚀刻,由此在加工对象物(1)形成贯通孔(24)的激光加工方法,包含:在加工对象物(1)的外表面生成对蚀刻具有耐性的耐蚀刻膜的耐蚀刻膜生成工序;在耐蚀刻膜生成工序之后,通过使激光(L)聚光于加工对象物(1),沿着加工对象物(1)的与贯通孔(24)对应的部分形成改质区域(7),并且使激光(L)聚光于耐蚀刻膜(22),由此,沿着耐蚀刻膜(22)的与贯通孔(24)对应的部分形成缺陷区域(22b)的激光聚光工序;以及在激光聚光工序之后,对加工对象物(1)实施蚀刻处理,沿着改质区域(7)使蚀刻选择性地进展而形成贯通孔(24)的蚀刻处理工序。
- 激光加工方法
- [发明专利]一种3D玻璃局部蚀刻工艺-CN202310350657.X在审
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吴建勇;魏中凯;于勇
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合肥金龙浩科技有限公司
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2023-04-04
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2023-07-18
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C03C15/00
- 本发明公开了一种3D玻璃局部蚀刻工艺,包括以下步骤:采用遮挡组件对玻璃加工面上蚀刻区进行适配遮挡;向玻璃加工面上蚀刻区之外喷涂抗酸保护油墨;对抗酸保护油墨进行加热处理以在蚀刻区之外形成第一保护层;在去除对玻璃加工面的遮挡后对玻璃加工面进行强酸蚀刻;本发明提出的3D玻璃局部蚀刻工艺,通过先在3D玻璃的加工面中蚀刻区上安装遮挡件,通过遮挡件对蚀刻区和非蚀刻区进行隔离,对非蚀刻区喷涂抗酸保护油墨,抗酸保护油墨的不会进入蚀刻区内,避免了蚀刻区内油墨清洗的过程,可以缩短工艺流程,提升产能,同时也可避免非蚀刻区油墨被清洗掉,进而提升进玻璃的光哑效果。
- 一种玻璃局部蚀刻工艺
- [发明专利]一种复合化学蚀刻加工装置及加工方法-CN202210683728.3在审
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谢闺娥;史开慧
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广州医科大学
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2022-06-16
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2023-03-07
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C23F1/08
- 本发明涉及微加工领域,尤其公开了复合化学蚀刻加工装置及加工方法,复合化学蚀刻加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及化学蚀刻单元,掩模单元贴合在工件表面,同步亲水化单元对掩模单元以及掩模图案所显露的工件加工区域进行亲水化处理,使得复合化学蚀刻加工过程和亲水化效应实现实时同步,从而使得工件的加工区域具备优异的工作液传质及循环能力;实时的亲水化处理效应,使得在蚀刻加工过程中蚀刻液在工件加工区域内始终具有良好的传质和更新能力,利于突破现有掩模化学蚀刻加工在加工尺度上及加工深度上的制造瓶颈,实现高深径比微结构的制备,提升微结构的加工质量及加工效率。
- 一种复合化学蚀刻加工装置方法
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