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[发明专利]半导体装置用薄膜以及半导体装置-CN201180042794.2有效
发明人：天野康弘;井上刚一 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2011-08-29 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：本发明提供一种带有切割片的胶粘薄膜，将在切割薄膜上层叠有胶粘薄膜的带有切割片的胶粘薄膜以预定的间隔层叠在覆盖薄膜上而得到半导体装置用薄膜，将该半导体装置用薄膜卷绕为卷筒状时可以抑制在胶粘薄膜上产生转印痕迹本发明的半导体装置用薄膜，在切割薄膜上层叠有胶粘薄膜的带有切割片的胶粘薄膜以预定的间隔层叠在覆盖薄膜上而得到，其特征在于，设覆盖薄膜的厚度为Ta、设切割薄膜的厚度为Tb时，Ta/Tb在0.07～2.5的范围内
半导体装置薄膜以及

[发明专利]一种包装薄膜卷安装装置-CN201910460621.0在审
发明人：张伟 -专利权人：武汉市海泰伟创科技有限公司
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： B65H16/06 文献下载
摘要：本发明提供一种包装薄膜卷安装装置，包括薄膜卷主轴、套筒、薄膜卷固定结构和薄膜中心微调手柄，所述薄膜卷主轴套入所述套筒中，且所述薄膜卷主轴的两端伸出所述套筒外，所述薄膜卷主轴的上端固定于机架上，且在所述薄膜卷主轴的上端部位设置有弹性部件，包装薄膜卷安装于所述套筒外，且通过所述薄膜卷固定结构将所述包装薄膜卷固定于所述套筒上，所述薄膜卷主轴的下端安装有所述薄膜中心微调手柄。本发明通过旋转薄膜中心微调手柄，使得薄膜卷主轴向上挤压或向下拉伸，进而使得弹性部件压缩或伸展，套筒上移或下移，带动套在套筒外的薄膜卷上移或下移，可以调节套筒和薄膜卷的高度。
薄膜卷套筒包装薄膜卷微调手柄安装装置薄膜中心固定结构上移下移弹性部件压缩弹性部件上端部位上端固定旋转薄膜主轴套拉伸套在下端挤压伸展伸出

[发明专利]光蚀刻用防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件-CN201911292602.8在审
发明人：簗瀬优 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：本发明涉及光蚀刻用防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件。本发明的目的是提供即使不设支撑框亦具有足够的强度的防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件。本发明是一种光蚀刻用防尘薄膜及一种光蚀刻用防尘薄膜组件，该光蚀刻用防尘薄膜是张设于防尘薄膜框架的一端面的防尘薄膜，由主层、及该主层的单面或两面具有的石墨烯构成，该光蚀刻用防尘薄膜组件由防尘薄膜及防尘薄膜框架构成，且该防尘薄膜通过接着剂或粘着剂设于该防尘薄膜框架的上端面，该防尘薄膜由主层、及该主层的单面或两面具有的石墨烯构成。
蚀刻防尘薄膜具备组件

[发明专利]一种薄膜快速铺设并检测薄膜裂缝的薄膜铺设机-CN202110346668.1在审
发明人：谢志海 -专利权人：义乌市与芙贸易有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B65H23/26 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜铺设技术领域，公开了一种薄膜快速铺设并检测薄膜裂缝的薄膜铺设机，包括前后对称的固定支架，所述固定支架内设有能沿着所述固定支架移动的薄膜电机，所述薄膜电机后端面设有薄膜电机轴，本设备可以自行进行薄膜铺设，在进行铺设时通过滑轨使卷有薄膜的卷筒沿着支架的轨迹进行移动同时将卷筒上的薄膜盖在支架上，这种铺设方式薄膜不用在支架上移动，减少薄膜与支架之间的接触，减少薄膜破损的几率，提高工作效率，减少经济损失，同时本设备设有修补装置，修补装置在进行铺设时当检测处薄膜本身有破损后会自动将存留的薄膜进行切割并将其与有裂缝的薄膜进行贴合达到修补薄膜的作用，减少经济损失。
一种薄膜快速铺设检测裂缝

[发明专利]多层层叠薄膜的制造方法-CN201210031123.2有效
发明人：中田美惠;岩本展明;竹田哲郎;藤田裕 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2012-02-08 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供多层层叠薄膜的制造方法，所述多层层叠薄膜可以有效地抑制树脂薄膜与透明薄膜之间产生的气泡。本发明为一种多层层叠薄膜的制造方法，其是介由粘接层或粘合层在树脂薄膜的一个面贴合第一透明薄膜、在另一个面贴合第二透明薄膜的多层层叠薄膜的制造方法，其特征在于，第二透明薄膜的厚度为60μm以上且拉伸模量为2000MPa以上，使树脂薄膜和第一透明薄膜通过第一对辊之间来进行压合形成层叠薄膜，然后，不对该层叠薄膜进行卷取，而使该层叠薄膜和第二透明薄膜通过第二对辊之间来进行压合形成多层层叠薄膜。
多层层叠薄膜制造方法

[发明专利]半导体装置用薄膜以及半导体装置-CN201110270510.7有效
发明人：天野康弘;盛田美希 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2011-09-06 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体装置用薄膜以及半导体装置，在将所述半导体装置用薄膜卷绕为卷筒状时，可以抑制在胶粘薄膜上产生转印痕迹，所述半导体装置用薄膜为在切割薄膜上层叠有胶粘薄膜的带有切割片的胶粘薄膜以规定的间隔层叠在覆盖薄膜上而得到的半导体装置用薄膜一种半导体装置用薄膜，其为在切割薄膜上层叠有胶粘薄膜的带有切割片的胶粘薄膜以规定的间隔层叠在覆盖薄膜上而得到的半导体装置用薄膜，其特征在于，23℃下胶粘薄膜的拉伸储能弹性模量Ea与23℃下覆盖薄膜的拉伸储能弹性模量
半导体装置薄膜以及

[发明专利]薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置-CN202110226163.1有效
发明人：饶少凯;王超;徐齐;姜有东 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种薄膜粘附强度的检测方法、待检测样品及检测装置。所述薄膜粘附强度的检测方法包括：提供待检测结构；其中，待检测结构包括第一薄膜和第二薄膜，第二薄膜覆盖第一薄膜；去除部分第二薄膜，直至显露第一薄膜，并基于残留在第一薄膜表面的第二薄膜形成凸起，以形成待检测样品；将检测装置的探针底部置于去除部分第二薄膜后所显露的第一薄膜表面，并沿平行于第一薄膜所在平面的方向向凸起移动探针，直至凸起与第一薄膜分离；在移动探针的同时，检测探针的载荷；根据凸起与第一薄膜分离时检测的探针的载荷，确定第一薄膜与第二薄膜之间的粘附强度。
薄膜粘附强度检测方法样品装置

[实用新型]一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜-CN201821040152.4有效
发明人：王洪;胡晓龙;文茹莲 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L33/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜。新型金属掺杂ITO透明导电薄膜包括新型金属掺杂ITO薄膜和基底材料，所述新型金属掺杂ITO薄膜与基底材料接触，所述新型金属掺杂ITO薄膜包括掺杂金属薄膜和ITO薄膜，所述掺杂金属薄膜和ITO薄膜通过退火处理键合在一起本实用新型的透明导电薄膜是通过先生长一层ITO薄膜后生长掺杂金属薄膜，再一起通过高温退火后而形成，得到的透明导电薄膜在ITO透明导电薄膜基础上，具有更大的薄膜光学透过率和更低的薄膜方块电阻；本实用新型在原有设备上不需要引入新的设备，结构简单，因此不会增大工艺难度，同时有利于提高薄膜光电性能。
新型金属掺杂掺杂金属薄膜本实用新型透明导电薄膜基底材料薄膜方块电阻薄膜光电薄膜光学高温退火工艺难度退火处理原有设备透过率键合生长引入

[实用新型]一种薄膜卷安装结构-CN201920796824.2有效
发明人：张伟 -专利权人：武汉市海泰伟创科技有限公司
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B65H16/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种薄膜卷安装结构，包括薄膜卷主轴、套筒、薄膜卷固定结构和薄膜中心微调手柄，所述薄膜卷主轴套入所述套筒中，且所述薄膜卷主轴的两端伸出所述套筒外，所述薄膜卷主轴的上端固定于机架上，且在所述薄膜卷主轴的上端部位设置有弹性部件，包装薄膜卷安装于所述套筒外，且通过所述薄膜卷固定结构将所述包装薄膜卷固定于所述套筒上，所述薄膜卷主轴的下端安装有所述薄膜中心微调手柄。本实用新型通过旋转薄膜中心微调手柄，使得薄膜卷主轴向上挤压或向下拉伸，进而使得弹性部件压缩或伸展，套筒上移或下移，带动套在套筒外的薄膜卷上移或下移，可以调节套筒和薄膜卷的高度。
薄膜卷套筒微调手柄包装薄膜卷本实用新型薄膜中心固定结构上移下移弹性部件压缩安装结构弹性部件上端部位上端固定旋转薄膜主轴套拉伸套在下端挤压伸展伸出

[实用新型]导电薄膜、触控组件及电子设备-CN202022567715.9有效
发明人：谢峰 -专利权人：南昌欧菲显示科技有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种导电薄膜、触控组件及电子设备。所述导电薄膜包括基体，具有相对的第一表面和第二表面；及第一导电层，设于所述第一表面和所述第二表面中的至少一者，所述第一导电层包括依次设置的第一薄膜、第二薄膜及第三薄膜，所述第一薄膜及所述第三薄膜为金属氧化物薄膜，所述第二薄膜为金属薄膜。上述导电薄膜通过将第一薄膜、第二薄膜及第三薄膜复合为第一导电层，通过第二薄膜增加第一导电层的柔韧性，从而使导电薄膜具有优良的耐绕折性能，导电薄膜在折叠的过程中不容易断裂，能够更好地满足折叠的需求。
导电薄膜组件电子设备

[实用新型]一种复合材料微型扬声器膜片-CN201921876846.6有效
发明人：张凯 -专利权人：浙江旗声电子科技股份有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： H04R7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合材料微型扬声器膜片，包括膜片一与膜片二，且所述膜片一与所述膜片二之间连接有胶带层，所述膜片一的顶部与所述膜片二的底部均开设有若干焊接槽，所述膜片一与所述膜片二均由PET‑Mylar薄膜与PEN薄膜构成，且所述PEN薄膜远离所述PET‑Mylar薄膜的一侧边连接有PEI薄膜，所述PEI薄膜远离所述PEN薄膜的一侧边连接有PPS薄膜，所述PPS薄膜远离所述PEI薄膜的一侧边连接有PEEK薄膜，所述PEEK薄膜远离所述PPS薄膜的一侧边连接有PI薄膜，所述PI薄膜远离所述PEEK薄膜的一侧边连接有LCP薄膜，所述胶带层由无纺布胶带制成。
一种复合材料微型扬声器膜片

[实用新型]一种易撕的复合吹塑薄膜-CN202320689527.4有效
发明人：许梓楠;钟积翔 -专利权人：晋江名祥新材料科技有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B32B27/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种易撕的复合吹塑薄膜，包括薄膜主体，薄膜主体的两侧分别设置有复合薄膜；沿吹塑薄膜的宽度方向，薄膜主体上设置有若干个呈直线排列的主撕孔，复合薄膜上设置有若干个呈直线排列的副撕孔，主撕孔与副撕孔间隔设置本实用新型通过上述结构，在撕扯吹塑薄膜时，由于吹塑薄膜包括薄膜主体和复合薄膜，薄膜主体上设置的主撕孔和副撕孔的作用下，因此吹塑薄膜能被顺利的撕扯开，撕扯处的吹塑薄膜更加整齐，以提高撕扯处的美观性；且在主撕孔与副撕孔间隔设置下，能够减小薄膜主体和复合薄膜撕扯处的厚度，使得吹塑薄膜更加容易撕扯开。
一种复合薄膜

[发明专利]形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法-CN200410075872.0无效
发明人：朴敬培;野口隆;赵世泳;金道暎;权章渊 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2004-11-04 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明提供了形成多晶硅薄膜的方法、包括多晶硅薄膜的薄膜晶体管及制造薄膜晶体管的方法。所述晶体管包括堆叠在衬底上的第一热导薄膜，热导率低于第一热导薄膜、并在第一热导薄膜上形成的第二热导薄膜，在第二热导薄膜和第二热导薄膜两侧面上的第一热导薄膜上形成的多晶硅薄膜，以及堆叠在覆盖于第二热导薄膜之上的多晶硅薄膜上的栅叠层第二热导薄膜可以代替部分第一热导薄膜，而不是形成在第一热导薄膜上。通过使一束受激准分子激光照射在于第一和第二热导薄膜上形成的非晶硅薄膜上形成多晶硅薄膜。栅叠层可以沉积在作为通道区的部分多晶硅薄膜的下面。
形成多晶薄膜方法包含薄膜晶体管及其制造

[实用新型]一种抗老化双向拉伸薄膜-CN202120264056.3有效
发明人：刘志龙 -专利权人：东莞市财源薄膜科技有限公司
申请日： 2021-01-30 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B32B27/32 文献下载
摘要：本实用新型属于薄膜技术领域，尤其为一种抗老化双向拉伸薄膜，包括抗老化薄膜本体，所述抗老化薄膜本体包括聚乙烯塑料薄膜层、粘合在聚乙烯塑料薄膜层外表面的聚四氟乙烯塑料薄膜层以及粘合在聚四氟乙烯塑料薄膜层外表面的聚醚酰亚胺塑料薄膜层，所述聚乙烯塑料薄膜层和聚四氟乙烯塑料薄膜层之间设置有缓冲空腔；通过聚乙烯塑料薄膜层外表面粘合固定的聚四氟乙烯塑料薄膜层，便于聚四氟乙烯塑料薄膜层对聚乙烯塑料薄膜层进行防护，增加了薄膜的耐老化性能，同时聚乙烯塑料薄膜层和聚四氟乙烯塑料薄膜层之间设置的缓冲空腔，增加了聚乙烯塑料薄膜层的隔热性能，同时薄膜收到挤压时进行缓冲，增加了薄膜的抗压性能。
一种老化双向拉伸薄膜

[发明专利]一种电荷自恢复驻极体薄膜的制备方法-CN201510915591.X有效
发明人：周军;钟俊文;钟其泽 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2015-12-10 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： B32B38/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种电荷自恢复驻极体薄膜的制备方法，包括S1：利用热压印方法在第一薄膜或者第二薄膜上压印出规则的凹陷图案；第一薄膜是指在电晕极化后保持负电荷的高分子薄膜，第二薄膜是指在电晕极化后保持正电荷的高分子薄膜；S2：利用电晕极化方法对第一薄膜或者第二薄膜进行极化处理后，使得第一薄膜或者所述第二薄膜带上电荷，并将第一薄膜和所述第二薄膜吸附在一起；S3：采用热压成膜方法对吸附在一起的第一薄膜和第二薄膜进行热压融化处理，形成上层为第一薄膜下层为第二薄膜且中间有孔洞结构的复合驻极体薄膜；S4：利用负高压电晕极化方法对复合驻极体薄膜进行极化处理后，使得复合驻极体薄膜保持电荷；复合驻极体薄膜所保持的电荷在受到外界干扰时，其保持的电荷会消失，当外界干扰消失后，复合驻极体薄膜又能吸附外界的电荷。
薄膜电荷复合驻极体电晕极化高分子薄膜驻极体薄膜极化处理外界干扰自恢复热压吸附制备凹陷图案薄膜保持薄膜吸附孔洞结构薄膜带负电荷负高压热压印正电荷成膜下层压印融化上层