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[实用新型]薄膜致动器-CN201520134301.3有效
发明人： D·A·亚诺尔德;D·M·亚当斯 -专利权人：费希尔控制国际公司
申请日： 2015-03-09 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： F16K31/126 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种薄膜致动器，其为具有可调节致动力的薄膜致动器。薄膜致动器包括耦接到致动器的薄膜的弹簧座。该弹簧座接触弹簧并被耦接到杆。薄膜基于提供给薄膜的力移动所述杆，且杆用来控制流体阀。薄膜致动器还包括调节器以调节由弹簧提供给弹簧座的力的大小。
薄膜致动器

[发明专利]具有较大的倾斜角度的薄膜致动反射镜-CN97112596.1无效
发明人：李华善 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1997-07-02 - 公布日： 2003-07-23 - 主分类号： G02B7/188 文献下载
摘要：一种M×N薄膜反射镜的阵列及其制造方法，其中各致动机构均具有一对侧致动器和一个中心致动器，侧致动器的两端固定连接在有源矩阵上。侧致动器的下薄膜电极与中心致动器的上薄膜电极相电连接，作为信号电极，侧致动器的上薄膜电极与中心致动器的下薄膜电极相电连接，作为共同的偏置电极。当电场施加到薄膜致动反射镜上时，侧致动器伸展，中心致动器向上收缩，从而使薄膜致动反射镜以一个较大的角度倾斜。
具有较大倾斜角度薄膜反射

[发明专利]无框致动器设备、系统和方法-CN201280014193.5无效
发明人：俞美京;W.D.苏特兰;关淑文;A.奥比斯波;J.梅 -专利权人：拜耳知识产权有限责任公司
申请日： 2012-01-17 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：公开一种薄膜致动器。该致动器包括无框致动器薄膜。无框致动器薄膜包括设置在第一与第二电极之间的至少一个弹性介电薄膜，施加在无框致动器薄膜的一侧上的至少一个粘合剂。它还能够包括施加在无框致动器薄膜的相对侧上的第二粘合剂。公开一种制作致动器的方法。还公开一种可配置致动器元件。
无框致动器设备系统方法

[发明专利]具有横向定向的结构加强件以增加致动器行程的薄膜致动器-CN202180038245.1在审
发明人： R·H·穆蒂凯宁;T·列基宁;M·马蒂拉;N·切库罗夫 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H10N30/80 文献下载
摘要：一种薄膜致动器，具有横向定向的结构加强件，所述横向定向的结构加强件用于增加由纵向曲率引起的致动行程。所述薄膜致动器可以被部署在机电设备内，使得所述致动器板的顶端的可致动偏转产生致动行程。所述薄膜致动器可以包括被固定到基本刚性框架结构上的致动器板。所述致动器板沿着纵轴远离所述框架结构突出，使得所述致动器板沿着该纵轴从所述框架结构悬臂一段距离。所述薄膜致动器包括在所述致动器板的表面上的压电膜。所述压电薄膜的激活在所述表面处生成拉应力或压应力，由此引起弯矩，所述弯矩使得所述致动器板经历纵向曲率和一些较小程度的横向曲率。
具有横向定向结构加强增加致动器行程薄膜

[发明专利]流体输送装置的制造方法-CN200710147254.6有效
发明人：陈世昌;郑江河;余荣侯;蔡志宏;邱士哲 -专利权人：研能科技股份有限公司
申请日： 2007-08-30 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： F04B43/02 文献下载
摘要：本发明为一种流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：形成阀体层；于该阀体层上对应形成阀体盖层，其具有压力腔室；形成可挠薄膜，其具有多个阀片结构；形成致动薄膜；形成致动片，并将致动片贴附定位于致动薄膜上，以形成致动器；将可挠薄膜设置于阀体层及阀体盖层之间，且将阀体层、可挠薄膜与阀体盖层相互组装定位；以及将致动器设置于阀体盖层上，以使致动薄膜封闭阀体盖层的压力腔室，以形成流体输送装置。
流体输送装置制造方法

[发明专利]一种基于纳米碳材料薄膜的电热式泵型致动器及其制备方法-CN201410662624.X在审
发明人：柳青;刘璐琪;张忠 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2014-11-19 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于纳米碳材料薄膜的电热式泵型致动器及其制备方法，所述致动器的致动材料由纳米碳材料薄膜组成；所述的纳米碳材料薄膜可以通过真空抽滤法、干燥成膜法、逐层沉积法或化学气相沉积法等制备获得。本发明以纳米碳材料薄膜为致动材料的电热式泵型致动器通过电致热原理加热密封气体，使气体受热膨胀继而引起致动薄膜的变形，具有低电压响应、温度变化小、输出应力大、响应迅速及稳定性好等特点，而且致动器的制备过程简单
一种基于纳米材料薄膜电热式泵型致动器及其制备方法

[发明专利]生物流体收集装置-CN202110525081.7在审
发明人： A·埃德尔豪泽;A·V·托里斯;R·G·埃利斯;B·M·威尔金森;J·N·普拉特;B·M·科雷克 -专利权人：贝克顿·迪金森公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： A61B5/15 文献下载
摘要：一种生物流体收集装置(10)，其包括：外壳(13)，其具有上表面(14)和下表面(16)，其中，上表面的一部分限定腔，腔具有腔上表面；与外壳可接合的薄膜，薄膜具有薄膜下表面和薄膜上表面，薄膜在原始位置和填充位置之间可转变，在原始位置中，薄膜下表面与腔上表面相接触，在填充位置中，薄膜下表面与腔上表面相间隔，在薄膜和外壳之间形成室；以及致动器(24)，致动器至少部分地布置在外壳内并且与薄膜和外壳连通，致动器在原始位置和压下位置之间可转变，其中，在将致动器致动到压下位置之后，在致动器返回原始位置时，致动器将真空施加到薄膜上表面。
生物流体收集装置

[发明专利]生物流体收集装置-CN201680035832.4有效
发明人： A·埃德尔豪泽;A·V·托里斯;R·G·埃利斯;B·M·威尔金森;J·N·普拉特;B·M·科雷克 -专利权人：贝克顿·迪金森公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： A61B5/15 文献下载
摘要：一种生物流体收集装置(10)，其包括：外壳(13)，其具有上表面(14)和下表面(16)，其中，上表面的一部分限定腔，腔具有腔上表面；与外壳可接合的薄膜，薄膜具有薄膜下表面和薄膜上表面，薄膜在原始位置和填充位置之间可转变，在原始位置中，薄膜下表面与腔上表面相接触，在填充位置中，薄膜下表面与腔上表面相间隔，在薄膜和外壳之间形成室；以及致动器(24)，致动器至少部分地布置在外壳内并且与薄膜和外壳连通，致动器在原始位置和压下位置之间可转变，其中，在将致动器致动到压下位置之后，在致动器返回原始位置时，致动器将真空施加到薄膜上表面。
生物流体收集装置

[发明专利]一种智能手表以及振动控制方法-CN201680080803.X在审
发明人：孙铎;冷爱民;王志勇;侯学智 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2016-04-14 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G04G21/00 文献下载
摘要：一种智能手表(20)，包括触摸屏(201)、显示屏(202)、处理器(203)、若干薄膜致动器(207)、存储器(205)以及总线，触摸屏(201)、显示屏(202)、处理器(203)、薄膜致动器(207)以及存储器(205)通过总线相互连接通信，按照存储器(205)存储的操作指令，处理器(203)可以执行以下方法：获取提醒信息，根据提醒信息以及预设映射关系确定各薄膜致动器(207)的振动信息，根据每个薄膜致动器(207)的振动信息分别生成相应的控制指令，控制薄膜致动器(207)根据控制指令振动。本发明还公开了一种应用于上述智能手表(20)的振动控制方法，能够以薄膜致动器(207)的振动组合，提醒用户获取多种提醒信息。
薄膜致动器存储器提醒信息智能手表处理器控制指令振动控制振动信息触摸屏总线显示屏操作指令连接通信提醒用户映射关系振动组合预设存储应用

[发明专利]薄膜压电致动器-CN202011372354.0在审
发明人：熊伟;石脉茹;何飞 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜压电致动器。薄膜压电致动器具备：基板；下部电极，其层叠于基板；层叠结构体，其层叠于下部电极，且包含以将中间电极夹于其间的方式交替地层叠的多个薄膜压电膜；上部电极，其层叠于层叠结构体；第一保护层，其设置于上部电极的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成；及第二保护层，其至少设置于中间电极中的未被夹于薄膜压电膜之间的端部的上表面，且由包含铁、钴和钼的合金材料构成。根据本发明，提供了一种能够谋求高性能化并且能够有效地抑制在下层的压电膜的端部产生裂纹的薄膜压电致动器。
薄膜压电致动器

[发明专利]薄膜压电致动器-CN201780082122.1有效
发明人：熊伟;何飞;饭岛淳 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2017-07-15 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：一种压电装置，包括压力腔室形成层、设置在压力腔室形成层上并与压力腔室形成层相连接以构成压力腔室的振动片、以及设置在振动片上并用于驱动振动片运动以改变压力腔室的体积的压电元件，其中，振动片上的压电元件覆盖压力腔室的一部分，并且所述压电元件具有相对设置的两个端部，两个所述端部分别延伸出所述压力腔室的边缘之外，并覆盖在所述压力腔室形成层上。根据本发明的压电装置能高效率地驱动振动片，消除腔室边缘处的振动片在相反方向上的不利位移，具有对驱动电压的高位移敏感度。
薄膜压电致动器

[发明专利]薄膜压电致动器-CN200510008265.7无效
发明人：川久保隆;尾原亮一;小野富男;长野利彦;西垣亨彦;安本恭章;阿部和秀;佐野贤也 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2005-02-07 - 公布日： 2005-08-17 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜压电致动器，包括一个驱动部分，至少其一端被一个锚部件支撑，所述驱动部分包括：压电薄膜；在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极；在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极；在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极；在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极；通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件；以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件
薄膜压电致动器

[发明专利]带有控制阀的气动制动致动器-CN200610142236.4有效
发明人：艾伯特·D·费希尔 -专利权人：哈尔德克斯制动器公司
申请日： 2006-09-01 - 公布日： 2007-03-07 - 主分类号： F01B19/02 文献下载
摘要：一种车辆气动制动致动器系统，包括弹簧制动致动器和主制动致动器，弹簧制动致动器包括带有弹簧腔和压力腔的密封壳体，布置在弹簧制动致动器内并可轴向运动以应用停车制动的中空致动杆，主制动致动器包括用来应用主制动的主压力腔，其中制动致动器系统的控制阀包括可被安置在中空致动杆内的阀体，阀体包括形成在其中的开孔，该开孔用来允许弹簧制动致动器的弹簧腔与主制动致动器的主压力腔之间通过中空致动杆的流体连通，控制阀包括由弹性材料形成的薄膜并具有形成为穿过其中的通气孔，薄膜位于阀体开孔内，并构造成当薄膜不遭受超过阀值水平的流体压力时，密封除了通气孔外的开孔。
带有控制气动制动致动器

[发明专利]一种薄膜弯曲致动器的制备方法-CN202010900993.3有效
发明人：吴志刚;黄炳康;朱嘉淇 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： F03G7/06 文献下载
摘要：本发明属于软体致动器制备领域，公开了一种薄膜弯曲致动器的制备方法，制备方法包括以下步骤：(1)对下层薄膜的导电金属层进行图案化形成表面电阻；(2)从表面电阻的端部引出导线；(3)将上层薄膜和下层薄膜在预先选定的位置进行层合与热封并形成空腔，得到热封薄膜；(4)在薄膜预先选定位置切割完成成品的制备。使用时对导线通电使表面电阻放热使低沸点液体气化体积膨胀实现薄膜弯曲致动器的功能。本发明针对薄膜弯曲致动器提出完整批量化制备工艺，有着成本低效率高的优点。得到的薄膜弯曲致动器具有薄，轻等特点，尤其适用于可穿戴设备，具有良好的应用前景。
一种薄膜弯曲致动器制备方法

[发明专利]大流量流体输送装置-CN200710152996.8有效
发明人：陈世昌;余荣侯;蔡志宏;邱士哲 -专利权人：研能科技股份有限公司
申请日： 2007-10-11 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： F04B43/04 文献下载
摘要：本发明为一种大流量流体输送装置，包含：阀体座、阀体盖体、阀体薄膜以及致动装置，阀体薄膜设置于阀体座及阀体盖体之间，致动装置包含致动器以及具有震动薄膜、多个固定块、传动块以及转接板的震动单元，震动薄膜设置于阀体盖体上，固定块连接于震动薄膜，传动块与震动薄膜相连接，转接板连接于传动块上且延伸设于固定块上，致动器设置于转接板上；当施以操作频率10Hz-50Hz于致动器，将带动转接板产生形变，以推挤传动块及震动薄膜，使阀体盖体的压力腔室体积改变，驱动阀体薄膜的阀开关结构启闭，使流经压力腔室的流体达到10cc/min以上的大流量传输。
流量流体输送装置

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