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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]膜形成装置-CN201610184778.1在审
发明人：镒广诚 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： B29C41/34 文献下载
摘要：本发明提供一种能够减轻维护作业的负担的膜形成装置。多个吐出模块包括向保持于载物台的基板吐出墨滴的喷嘴孔。支承结构物将多个吐出模块支承于载物台的上方。各供给模块包括对墨水进行加热的加热装置。移动机构使载物台和吐出模块的一方相对于另一方移动。控制装置控制吐出模块、移动机构及加热装置。
形成装置

[发明专利]膜形成装置-CN201510702965.X有效
发明人：辻直人;佐藤和男;山岸孝幸 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：膜形成装置包括基座和莲蓬式喷头，所述莲蓬式喷头设置在所述基座的上方并且具有形成在其中的第一通道和独立于所述第一通道的第二通道，其中所述第一通道通过设置有被第一上壁和第一下壁包围并且水平延伸的第一空腔、形成在所述第一上壁中的第一细孔以及形成在所述第一下壁中的多个第二细孔而形成为贯穿所述莲蓬式喷头，所述第一上壁的在竖直方向上的高度随着与所述第一细孔的距离的增加而减小，并且所述第二通道以与所述第一通道相同的方式形成。
形成装置

[发明专利]膜形成装置-CN201680066073.8有效
发明人：福田郁夫;小玉伸二 -专利权人：花王株式会社
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： A45D34/04 文献下载
摘要：膜形成装置(10)具备：测距单元(30)，其测定皮肤(S)与膜形成装置(10)的距离；距离判定单元(31)，其判定由测距单元(30)测定的距离是否为适合静电喷涂法的距离；及距离通知单元(32)，其将距离判定单元(31)的判定结果通知给膜形成装置(10)的使用者。膜形成装置(10)是具有其使用者能够利用手进行保持的形状或大小的手持型的装置。优选为还具备测定静电喷涂的方向和应形成膜的皮肤所成的角度的角度测定单元(42)。
膜形成装置距离判定单元测距单元静电喷涂皮肤角度测定判定结果通知单元手持型优选判定

[发明专利]膜形成方法和膜形成装置-CN202011476465.6在审
发明人：竹泽由裕;铃木大介;林宽之;本山丰 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及膜形成方法和膜形成装置。[课题]提供可以形成大粒径的多晶硅膜的技术。[解决方案]本公开的一方式的膜形成方法具备如下工序：在基底上形成依次层叠有界面层、主体层和表面层的层叠膜的工序；和，对前述层叠膜进行结晶处理的工序，前述主体层在前述进行结晶处理的工序中由比前述界面层还容易结晶的膜形成，前述表面层在前述进行结晶处理的工序中由比前述主体层还容易结晶的膜形成。
形成方法装置

[发明专利]膜形成方法和膜形成装置-CN202210121226.1在审
发明人：上田哲人 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B41M5/00 文献下载
摘要：一种膜形成方法，包括通过从沿着材料的输送方向设置的多个排出头中的每一个排出液体来将液体施加到材料上。每个排出头具有沿着与输送方向相交的方向设置的多个液体排出喷嘴。
形成方法装置

[发明专利]膜形成方法及膜形成装置-CN201410683427.6有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，该膜形成方法中，即使增加膜厚，侧面的倾斜也不易变平缓。沿着基板的表面的应涂布膜材料的被涂布区域的边缘，使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化，从而形成外缘部，之后，通过在比外缘部更靠内侧的区域，使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化来形成内侧部，由此形成由外缘部及内侧部构成且上表面凹陷的单元层
形成方法装置

[发明专利]膜形成方法及膜形成装置-CN200910262147.7有效
发明人：中野辉幸;小泽康博 -专利权人：株式会社石井表记
申请日： 2005-08-24 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B41J2/135 文献下载
摘要：一种膜形成方法及膜形成装置，其包括：膜厚设定工序，设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚；试喷出工序，考虑喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；浓淡等级分布图生成工序，基于在试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；膜形成工序，维持在试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。
形成方法装置

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201510450812.0有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种无需进行膜形成后的基板表面的图像分析即可去除卫星液滴的膜形成装置。从与保持于载物台的基板对置的喷嘴头朝向基板吐出经液滴化的膜材料。存储装置存储待形成膜的图像数据及膜厚补正信息。控制装置根据图像数据控制喷嘴头及移动机构，由此在基板上形成膜。数据通过输入装置输入到控制装置。若从输入装置输入有膜厚指令值，则控制装置根据膜厚补正信息来补正膜厚指令值，由此计算比膜厚指令值厚的膜厚目标值，并且控制装置控制喷嘴头及移动机构以形成相当于膜厚目标值厚度的膜。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201780042983.7有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B05C11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制所形成的膜的形状的偏差的膜形成装置及膜形成方法。膜形成部将膜材料涂布于基板而形成膜。摄像装置对配置于膜形成部的基板的表面进行拍摄。控制部控制膜形成部。控制部中存储有对应该形成的膜的平面形状进行定义的图案数据。基于该图案数据形成膜之前，控制部使膜材料在为了形成膜而涂布膜材料的区域内侧的一部分吐出而形成评价图案。基于用摄像装置对评价图案进行拍摄而得到的图像判定基板的表面状态的好坏，并基于判定结果执行不同的处理。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置和膜形成方法-CN201610132860.X有效
发明人：平冈基记;柳本博;佐藤祐规 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C25D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及膜形成装置和膜形成方法。所述膜形成装置包括：阳极；固体电解质膜，所述固体电解质膜配置在所述阳极和用作阴极的基材之间并且包含金属离子；电源，所述电源在所述固体电解质膜从上方与所述基材接触的状态下在所述阳极和所述基材之间施加电压；
固体电解质膜阳极膜形成装置基材接触膜形成振动部基材电源阴极金属离子施加电压配置

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201810914191.0有效
发明人：礒圭二 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明提供一种能够利用喷墨印刷技术来减少膜的直线状边缘的歪曲的膜形成装置。基于涂布对象区域的图案，一边使涂布对象物和油墨吐出装置中的一方相对于另一方沿第1方向移动，一边使油墨吐出装置吐出油墨，从而对涂布对象区域的与第1方向平行的边缘涂布油墨。一边使涂布对象物和油墨吐出装置中的一方相对于另一方沿第2方向移动，一边使油墨吐出装置吐出油墨，从而对涂布对象区域的与第2方向平行的边缘涂布油墨。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201880005529.9有效
发明人：礒圭二 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-03-20 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：基板保持在工作台上。喷墨头朝向保持在工作台上的基板吐出热固性油墨。非接触加热机构以非接触方式对保持在工作台上的基板进行加热。通过采用这种方式，无需使用光固化性油墨即可使油墨迅速固化。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201910371007.7有效
发明人：岩永刚 -专利权人：富士胶片商业创新有限公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：一种膜形成装置及膜形成方法，具备：反应容器，在内部配置有膜形成对象部件，且用于利用供给至内部的成膜性气体的激励分解而将以成膜性气体中所包含的元素为构成要素的膜堆积于膜形成对象部件上，具有：能够激励分解成膜性气体的反应活性区域和作为与反应活性区域连续的区域的反应惰性区域；成膜性气体供给装置，向反应惰性区域供给成膜性气体；激励装置，对成膜性气体进行激励分解；保持装置，具有：保持部件，保持膜形成对象部件；及驱动部，在反应惰性区域与反应活性区域之间驱动保持部件；及排气部件，设置于反应容器内，排出反应容器内的气体，且排出已通过由保持部件保持的状态的膜形成对象部件的内部及侧面的至少一方的反应容器内的气体。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201210379859.9无效
发明人：坂井　光广;川口　义广 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本申请的发明涉及一种膜形成装置及膜形成方法。其目的在于缩小占地面积并且缩短处理线的长度、且实现装置成本的降低及生产率的提升。本发明的膜形成装置包括：涂布处理机构(6)，沿水平方向搬送被处理基板(G)，并且从具有在所述基板的宽度方向上较长的喷出口的喷嘴喷出所述涂布液，而在所述基板上形成涂布膜；第1加热处理机构(11)，在第1加热温度下加热形成着所述涂布膜的所述基板
形成装置方法

[发明专利]膜形成方法及膜形成装置-CN201780041443.7在审
发明人：野本刚;冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2017-08-03 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从喷墨头向基板吐出液滴而在所述基板形成膜。能够利用喷墨印刷技术，高精细度地形成图案中的赋予最小尺寸的边缘。
喷墨头基板膜形成装置图案数据相对移动膜形成图案喷墨印刷技术方向正交高精细度基板相对吐出液滴赋予

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