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- [发明专利]激光沉积薄膜制备装置-CN201410841449.0有效
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胡居广;李启文;王刘杨;王斌;陈涛;向皓明
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深圳大学
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2014-12-29
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2015-04-22
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C23C14/28
- 本发明涉及激光加工,提供一种激光沉积薄膜制备装置,包括激光发射器以及腔室,于腔室内设置有靶材以及沉积形成薄膜的基底,于靶材与基底之间沿靶材至基底的方向依次间隔设置有用于阻挡羽辉内的大颗粒的至少两层栅栏结构,每一栅栏结构均包括用于阻挡羽辉大颗粒的挡板以及开设于挡板上且间隔设置的若干栅栏口,且相邻两栅栏结构的各栅栏口均错开设置。本发明的薄膜制备装置中,栅栏结构可以起到过滤羽辉中直线移动大颗粒的作用,同时羽辉中的离子以及原子在一定气压下可以通过扩散的方式依次穿过各栅栏结构后沉积于基底上并形成所需薄膜,避免了所制备的薄膜被颗粒轰击而破坏,以及消除颗粒嵌设于薄膜中,所制备薄膜表面光滑,粗糙度低。
- 激光沉积薄膜制备装置
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