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- [发明专利]一种石英容器镀碳膜的方法及装置-CN201310486488.9在审
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文崇斌
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清远先导材料有限公司
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2013-10-17
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2014-02-19
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C23C16/26
- 一种石英容器镀碳膜的方法及装置，所述方法的步骤包括：S1、将石英容器放入王水中浸泡，冲洗干净后立即放入烘干设备中烘干；S2、将待镀碳的石英容器放入位于加热炉加热区的镀碳室内，对镀碳室抽真空；S3、将已抽真空的镀碳室加热至900℃～1130℃后，进行保温处理；S4、在900℃～1130℃的温度条件及真空条件下，向镀碳室内通入甲烷气体；S5、镀膜结束后，对镀碳室抽真空，再冷却至室温后，通入空气至常压，取出已镀碳的石英容器。通过在真空条件下，直接以甲烷气体为碳源对石英容器镀碳膜，可在整个石英容器内壁形成均匀平滑、致密的碳膜层，本发明的方法操作方便，装置结构简单，可以批量的对形状不一、形状复杂的石英容器进行镀碳。
- 一种石英容器镀碳膜方法装置
- [发明专利]一种硫族元素化合物的量产装置及量产方法-CN201610624614.6有效
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李宗雨;丘立安
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李宗雨;丘立安
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2016-08-02
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2018-08-07
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C01B19/04
- 本发明提供了一种硫族元素化合物的量产方法及量产装置，本发明将整个反应过程划分成主反应段和回流反应段，并分别通过两个独立设置的第一加热组件和第二加热组件分别对主反应段和回流反应段进行控制，当进行主反应段时，第一加热组件对石英容器的第一部分加热反应，第二加热组件不加热，石英容器的第二部分保持较低温度，使得蒸发至石英容器第二部分的高挥发性硫族元素单质冷凝沉积在石英容器的内壁上，以降低石英容器内的蒸汽压，防止爆管；然后，第二加热组件对石英容器的第二部分进行加热，使得沉积的硫族元素单质回流至石英容器第一部分继续参与反应，以维持目标硫族化合物的原子比例。
- 一种元素化合物量产装置方法
- [实用新型]石英管以及石英容器-CN202222834600.0有效
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黄杰杰;高瑜锋;吴广杰
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广东先导微电子科技有限公司
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2022-10-26
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2023-04-25
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B22C9/02
- 提供一种石英管以及石英容器，石英管至少适于锑棒的制备；石英管为一体单件，石英管包括沿上下方向连接的装料段和熔铸段；装料段的上端敞开，装料段的下端设有沿上下方向贯通的通孔，装料段用于装入固态物料且收容固态物料被熔化时形成的熔融的物料；熔铸段在装料段的通孔处从装料段的外表面向下延伸，熔铸段的上端开口并连通于装料段的通孔，熔铸段的下端封闭，熔铸段用于供经由通孔进入的熔融的物料填充以形成棒状材料；石英管的内外表面镀覆有碳膜，石英管的内外表面镀覆的碳膜的厚度在石英容器包括石英封泡，石英容器至少适于锑棒的制备，石英容器还包括前述的石英管，石英封泡用于将石英管的顶端密封。
- 石英管以及石英容器
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