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- [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN200910009603.7有效
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滩和成;新居健一郎
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大日本网屏制造株式会社
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2009-01-23
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2009-08-05
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H01L21/00
- 本发明的基板处理装置包括:基板保持机构,用于保持基板;喷嘴体,具有用于向所述基板保持机构所保持的基板的主面喷出蚀刻液的喷出口;喷嘴体移动机构,使所述喷嘴体向规定的前进方向移动,使得蚀刻液在所述主面上的着落位置移动;第一片材,是安装在所述喷嘴体上的挠性片材,与比蚀刻液在所述主面上的着落位置更靠近所述前进方向一侧的区域接触;第二片材,是安装在所述喷嘴体上的挠性片材,与前进方向另一侧的区域接触,其中,所述前进方向另一侧是指,当从蚀刻液在所述主面上的着落位置观察时,与所述前进方向一侧相反的所述前进方向的另一侧。
- 处理装置方法
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