专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种键合机台装置与键合对准的方法-CN201310013119.8有效
  • 李平 - 陆伟
  • 2013-01-14 - 2013-05-01 - H01L21/60
  • 本发明涉及半导体制造键合技术,具体涉及一种键合机台装置与键合对准的方法。包括将顶部对准相机和底部对准相机分别与标准对准标识对准;将顶部卡盘对准标识与底部对准相机对准,将底部卡盘对准标识与顶部对准相机对准;将顶部晶圆对准标识与顶部卡盘对准标识对准;底部晶圆对准标识与底部卡盘对准标识对准;顶部晶圆对准标识与底部对准相机对准,将底部晶圆对准标识与顶部对准相机对准对准后的顶部晶圆与底部晶圆进行键合。通过本发明实质上减少了卡盘是否对准这个未知参数,使晶圆对准更加精确,从而解决键合过程中对准度低导致影像传感器器良品率低与对准时间长的问题,进而提高影像传感器的良品率,减少整个键合工艺的时间,提高生产效率
  • 一种机台装置对准方法
  • [实用新型]一种用于紫外色选机的相机对准工装-CN202021695448.7有效
  • 张金宇;汪洪波 - 合肥泰禾光电科技股份有限公司
  • 2020-08-14 - 2021-04-13 - B07C5/342
  • 本实用新型公开了一种用于紫外色选机的相机对准工装,相机对准工装安装在滑道下端并置于相机镜头前部,相机对准工装包括普通对准工装和荧光工装,普通对准工装与色选机可拆卸安装,普通对准工装上设置有安装组件,普通对准工装通过安装组件与色选机可拆卸连接,荧光工装可拆卸的安装在普通对准工装上;本实用新型的用于紫外色选机的相机对准工装,克服了白色油漆条纹对紫外光不敏感而导致的色选相机姿态难以调节的问题,并根据选取的不同波段的紫外光,放置对此种波段敏感的荧光工装,使此相机对准工装适合不同波段的紫外色选机。
  • 一种用于紫外色选机相机对准工装
  • [发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法-CN202011483446.6有效
  • 阿部大和;菅原洋纪 - 佳能特机株式会社
  • 2020-12-16 - 2023-03-28 - C23C14/54
  • 本发明提供提高对准精度的对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法。对准装置具备:第1照相机,拍摄形成于基板的对准标记和形成于掩模的对准标记;第2照相机,具有与第1照相机不同的分辨率,拍摄对准标记;反射光取得用的第1光源,向对准标记照射光;透射光取得用的第2光源,向对准标记照射光;以及位置调整机构,基于由第1照相机或第2照相机拍摄由第1光源或第2光源照射了光的对准标记而得到的图像,调整基板与掩模的相对位置。使向对准标记照射光的光源在利用第1照相机取得对准标记的图像的情况下和利用第2照相机取得对准标记的图像的情况下不同。
  • 对准装置方法电子器件制造
  • [发明专利]曝光装置用的对准装置以及对准标记-CN201280039116.5有效
  • 桥本和重 - 株式会社V技术
  • 2012-08-07 - 2014-06-11 - H01L21/027
  • 对准装置设置有射出用于对准的光的对准光源,例如内置于照相机。而且,对准光源例如与照相机检测出的光的光轴同轴地射出对准光。对准光照射到基板和掩模,反射光由照相机所检测。在掩模对准标记与基板对准标记之间还存在用于曝光的微透镜阵列,由此,从基板对准标记反射的正立等倍像被成像在掩模上。进而,通过由照相机检测出的掩模对准标记的反射光以及基板对准标记,控制装置进行基板与掩模的对准。由此,能以高精度执行基板与掩模的对准
  • 曝光装置对准以及标记
  • [发明专利]显示面板对准装置和显示面板对准方法-CN202011521120.8有效
  • 孙乔乔;卢军 - 苏州科韵激光科技有限公司
  • 2020-12-21 - 2022-08-26 - B25H1/10
  • 本发明属于显示器制造技术领域,公开了一种显示面板对准装置和显示面板对准方法,其中装置包括:输送机构,沿第一水平方向传递面板;二维码识别机构,用于读取面板的二维码;照相机构,设置在二维码识别机构沿第一水平方向的后侧,照相机构包括两个对准相机,两个对准相机可沿第二水平方向移动;和控制器,分别与二维码识别机构和照相机构连接,并根据二维码得到对准相机的拍照位置,且对准相机可移动至拍照位置。对于显示面板对准装置,输送机构传递面板,经过二维码识别机构读取面板的二维码,控制器根据二维码得到面板的对准标记的标记位置进而控制对准相机移动至拍照位置进而能够适应不同尺寸的面板。
  • 显示面板对准装置方法
  • [实用新型]一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统-CN201921660369.X有效
  • 刘栋;张雷 - 苏州源卓光电科技有限公司
  • 2019-10-04 - 2020-05-22 - G03F9/00
  • 一种对准机构及应用所述对准机构的对准系统,其中对准机构包括依次连接的相机、镜头和光源,所述相机和所述镜头的数量为两个,一组镜头和相机连接构成第一对准件,另一组镜头和相机连接构成第二对准件,第一对准件和第二对准件并列排列,并彼此相接或者具有微小间隙,所述光源邻接所述第一对准件和所述第二对准件的镜头,覆盖所述第一对准件和所述第二对准件镜头的轮廓范围。通过对准机构和应用其的对位系统的使用,可以快速的实现对距离极近的对位点的对准,并且对位点距离适应范围大,极高的提升了对位效率。
  • 一种对准机构应用系统

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