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- [发明专利]一种键合机台装置与键合对准的方法-CN201310013119.8有效
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李平
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陆伟
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2013-01-14
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2013-05-01
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H01L21/60
- 本发明涉及半导体制造键合技术,具体涉及一种键合机台装置与键合对准的方法。包括将顶部对准相机和底部对准相机分别与标准对准标识对准;将顶部卡盘对准标识与底部对准相机对准,将底部卡盘对准标识与顶部对准相机对准;将顶部晶圆对准标识与顶部卡盘对准标识对准;底部晶圆对准标识与底部卡盘对准标识对准;顶部晶圆对准标识与底部对准相机对准,将底部晶圆对准标识与顶部对准相机对准;对准后的顶部晶圆与底部晶圆进行键合。通过本发明实质上减少了卡盘是否对准这个未知参数,使晶圆对准更加精确,从而解决键合过程中对准度低导致影像传感器器良品率低与对准时间长的问题,进而提高影像传感器的良品率,减少整个键合工艺的时间,提高生产效率
- 一种机台装置对准方法
- [发明专利]显示面板对准装置和显示面板对准方法-CN202011521120.8有效
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孙乔乔;卢军
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苏州科韵激光科技有限公司
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2020-12-21
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2022-08-26
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B25H1/10
- 本发明属于显示器制造技术领域,公开了一种显示面板对准装置和显示面板对准方法,其中装置包括:输送机构,沿第一水平方向传递面板;二维码识别机构,用于读取面板的二维码;照相机构,设置在二维码识别机构沿第一水平方向的后侧,照相机构包括两个对准照相机,两个对准照相机可沿第二水平方向移动;和控制器,分别与二维码识别机构和照相机构连接,并根据二维码得到对准照相机的拍照位置,且对准照相机可移动至拍照位置。对于显示面板对准装置,输送机构传递面板,经过二维码识别机构读取面板的二维码,控制器根据二维码得到面板的对准标记的标记位置进而控制对准照相机移动至拍照位置进而能够适应不同尺寸的面板。
- 显示面板对准装置方法
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