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- [发明专利]机械手及传输腔室-CN201510808308.3有效
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张新云
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2015-11-19
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2019-10-11
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H01L21/677
- 本发明提供一种机械手及传输腔室,包括机械手指和直线传动机构,机械手指用于承载被加工工件;直线传动机构用于驱动机械手指作直线往复运动,直线传动机构包括一级直线模组和二级直线模组,其中,一级直线模组用于驱动二级直线模组作直线往复运动,且二级直线模组在位于一级直线模组的行程始端时与之相互重叠;二级直线模组用于驱动机械手指作直线往复运动,且机械手指在位于二级直线模组的行程始端时与之相互重叠,并且机械手指的直线往复运动与二级直线模组的直线往复运动在同一直线上
- 机械手传输
- [实用新型]磁动力直线往复运动推进装置-CN201320019777.3有效
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袁万明
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袁万明
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2013-01-15
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2013-06-26
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H02N11/00
- 本实用新型磁动力直线往复运动推进装置涉及一种利用磁场实现机械运动的动力装置,能够用于物理课教学演示、中药锤捣、食物锤捣。包括框架、旋转磁铁一、旋转磁铁二、传动齿轮一、传动齿轮二、运动磁铁和直线运动轴。在框架内的两端各安装有旋转磁铁一和旋转磁铁二,旋转磁铁一的一端安装有传动齿轮一,旋转磁铁二的一端安装有传动齿轮二,传动齿轮一与传动齿轮二啮合;在框架的左右两壁各开设有一个等直径的通孔,两个通孔在一条直线上,在两个通孔之间装插有直线运动轴,直线运动轴与旋转磁铁一和旋转磁铁二垂直,在旋转磁铁一和旋转磁铁二之间的位置,于直线运动轴上安装有运动磁铁。
- 动力直线往复运动推进装置
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