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- [发明专利]等离子体成膜装置以及等离子体成膜方法-CN201180071560.0在审
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浜笃郎
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三菱电机株式会社
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2011-08-30
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2014-02-19
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C23C16/505
- 一种等离子体成膜装置，具有与被成膜物相向的高频电极以及与被成膜物连接的接地电极，使用在高频电极与接地电极之间发生的等离子体对被成膜物进行成膜，其中，高频电极具有：第1高频电极（101），与被成膜物（100）的第1被成膜面（113）相向；以及第2高频电极（102），与被成膜物中的和第1被成膜面相反一侧的第2被成膜面（114）相向，第1高频电极、第2高频电极以及接地电极（103）使得用于第1被成膜面的成膜的第1高频电极以及接地电极之间的等离子体、和用于第2被成膜面的成膜的第2高频电极以及接地电极之间的等离子体同时发生。
- 等离子体装置以及方法
- [发明专利]活性气体生成装置-CN202080018521.3在审
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有田廉;渡边谦资
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东芝三菱电机产业系统株式会社
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2020-02-27
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2022-03-01
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H05H1/24
- 本发明的目的在于比较低价地提供具有防止电极用介电膜的破损现象的电极构造的活性气体生成装置。本发明在高压侧电极构成部(1)在电极用导电膜(10)的下表面上设置电极用主要介电膜(11)，在电极用主要介电膜(11)的下方隔开上方主要·追加电介质间距离(d21)配置电极用追加介电膜(12)。电极用主要介电膜(11)俯视时具有将电极用导电膜(10)全部包含在内、比电极用导电膜(10)大的形成面积。电极用追加介电膜(12)俯视时具有将电极用导电膜(10)包含在内、比电极用导电膜(10)稍大且比电极用主要介电膜(11)小的形成面积。接地侧电极构成部(2)也具有与高压侧电极构成部(1)的上述特征同样的特征。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]一种从膜电极中回收催化剂的方法-CN200610111901.3有效
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张日清;王丹;董俊卿
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比亚迪股份有限公司
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2006-08-24
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2008-02-27
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B09B3/00
- 一种从膜电极中回收催化剂的方法包括剥离膜电极的基体材料，然后从剥离掉基体材料的膜电极中回收催化剂，其中，剥离膜电极的基体材料的方法包括将膜电极与溶剂接触，溶剂的用量和接触的条件足以使膜电极的基体材料从膜电极上剥离，溶剂为能使膜电极的基体材料溶胀的溶剂。该方法将膜电极浸泡在能使膜电极的基体材料溶胀的溶剂中，膜电极的基体材料即质子交换膜为高分子材料，能够吸收液体溶剂而发生物理溶涨，基体材料溶涨后，催化层自然从基体材料表面脱落，从而将基体材料完全从膜电极中剥离出来，因此本发明的催化剂回收方法所采用的剥离方式过程简单并且适合剥离膜电极的基体材料。
- 一种电极回收催化剂方法
- [发明专利]液晶显示装置和液晶显示装置的制造方法以及电子设备-CN200810005115.4无效
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松本友孝
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精工爱普生株式会社
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2008-01-22
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2008-07-30
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G02F1/133
- 本发明提供一种即使在树脂膜和像素电极之间另外形成绝缘膜也不会增加形成贯通孔的工序数量而使制造工序简化的液晶显示装置及其制法及电子设备。元件基板(21)具有：树脂膜(35)、形成在该树脂膜上且在上表面形成像素电极(11)的覆盖膜(36)、覆盖像素电极且在上表面形成共用电极(45)的电极绝缘膜(37)、形成在电极绝缘膜上且使像素电极和TFT元件(12)导通的连接电极(46)、和形成在覆盖膜的下层且与共用电极导通的共用线(42)；连接电极经由贯通电极绝缘膜的贯通孔(H7)而与像素电极连接，同时经由贯通覆盖膜和电极绝缘膜的贯通孔(H8)而与TFT元件导通；共用电极经由贯通覆盖膜和电极绝缘膜的贯通孔(H6)而与共用线导通。
- 液晶显示装置制造方法以及电子设备
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