|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 28个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]活性气体生成装置-CN202180085674.4在审
-
渡边谦资;有田廉
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2021-12-08
-
2023-08-29
-
C23C16/509
- 本发明的目的在于提供活性气体生成装置，能够均等地喷出相等自由基浓度的活性气体。本发明的活性气体生成装置中的单向放电构造(61s)满足以下的配置条件(a)～(c)。条件(a)为在对应间隙区域(23p)内，对应金属电极(10p)与对应金属电极(20p)在平面观察时重叠的区域成为对应放电空间(6p)。条件(b)为对应间隙区域(23p)与设置于对应气体供给区域(12Rp)的多个气体供给孔(12)在平面观察时重叠。条件(c)为设置于对应气体供给区域(12Rp)的多个气体供给孔(12)与设置于对应间隙区域(23p)之下的多个气体喷出孔(22)在平面观察时隔着对应放电空间(6p)沿着Y方向一对一地对置配置。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN201680091290.2有效
-
渡边谦资;山田义人;西村真一
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2016-12-05
-
2023-02-21
-
H01L21/31
- 本发明的目的在于提供能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。本发明通过在活性气体生成用电极组(301)的高压侧电极构成部(1A)与接地侧电极构成部(2A)之间形成的放电空间(66)的放电，将供给的原料气体活性化而生成活性气体。罩(31、32)的组合构造具有原料气体供给路径用的原料气体流路(31h、32h)，该原料气体流路(31h、32h)将放电空间(66)与交流电压施加空间(R31)完全分离，且与交流电压施加空间(R31)独立，将从外部供给的原料气体引导至放电空间(66)。形成在金属框体(34)与罩(31、32)及电极构成部设置台(33)之间的框体接触空间(R34)与交流电压施加空间(R31)、放电空间(66)分别完全分离。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN201880084691.4有效
-
渡边谦资;西村真一;有田廉;山田义人;田畑要一郎
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2018-01-10
-
2022-08-19
-
H05H1/24
- 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN202180007362.1在审
-
有田廉;渡边谦资
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2021-06-25
-
2022-08-16
-
H05H1/24
- 本发明的目的在于提供一种喷出不含杂质的优质的活性气体的构造的活性气体生成装置。并且，本发明的活性气体生成装置(100C)通过冷却板(9)、电极按压部件(8)以及高电压施加电极部(1C)而设置对壳体内空间(33)与放电空间(6C)之间的气体流动进行分离的气体分离构造。活性气体生成装置(100C)还具有设置在高电压施加电极部(1C)的电极用介电膜(11)的上表面上的辅助用金属电极(12)。辅助用金属电极(12)设置为在俯视时与活性气体流通路径的一部分重复，且被设定为接地电位。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN202080088706.1在审
-
渡边谦资;有田廉
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2020-12-07
-
2022-08-16
-
H05H1/24
- 本发明的目的在于提供一种喷吹不含杂质的高品质的活性气体的构造的活性气体生成装置。本发明的活性气体生成装置(100)具备：基座凸缘(4)，具有中央底面区域(48)和周边突出部(46)；冷却板(9)，设置在基座凸缘(4)的周边突出部(46)上；绝缘板(7)，设置在冷却板(9)与高电压施加电极部(1)之间；以及电极按压部件(8)，以从下方支承高电压施加电极部(1)的方式设置在冷却板(9)的下表面上。并且，通过冷却板(9)、电极按压部件(8)以及高电压施加电极部(1)，设置将壳体内空间(33)与放电空间(6)之间的气体的流动分离的气体分离构造。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN201980014601.9有效
-
渡边谦资;有田廉
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2019-02-13
-
2022-06-14
-
C23C16/50
- 本发明的目的在于提供能够实现装置构成的简化及小型化且能够抑制活性气体失活的现象的活性气体生成装置的构造。在本发明中，电极单元基座(2)中设置的气体流通槽(24)、高压电极用槽(21)及接地电极用槽(22)俯视时呈螺旋状。以使高压导通孔(41)与高压导通点(P1)俯视时一致的方式在电极单元基座(2)的表面上配置电极单元盖(1)。以俯视时高压开口部(61)涵盖高压导通孔(41)的全部的方式在电极单元盖(1)的表面上配置电极冷却板(3)。而且，以俯视时接地导通槽(62)、接地导通孔(42)及接地导通点(P2)一致的方式在电极单元基座(2)的表面上配置电极单元盖(1)及电极冷却板(3)。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN202080018521.3在审
-
有田廉;渡边谦资
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2020-02-27
-
2022-03-01
-
H05H1/24
- 本发明的目的在于比较低价地提供具有防止电极用介电膜的破损现象的电极构造的活性气体生成装置。本发明在高压侧电极构成部(1)在电极用导电膜(10)的下表面上设置电极用主要介电膜(11)，在电极用主要介电膜(11)的下方隔开上方主要·追加电介质间距离(d21)配置电极用追加介电膜(12)。电极用主要介电膜(11)俯视时具有将电极用导电膜(10)全部包含在内、比电极用导电膜(10)大的形成面积。电极用追加介电膜(12)俯视时具有将电极用导电膜(10)包含在内、比电极用导电膜(10)稍大且比电极用主要介电膜(11)小的形成面积。接地侧电极构成部(2)也具有与高压侧电极构成部(1)的上述特征同样的特征。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN201980080397.0在审
-
渡边谦资;有田廉
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2019-11-27
-
2021-07-27
-
H05H1/24
- 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置，能够有意图地减弱活性气体到达后级的处理空间之前的区域中的电场强度。本发明通过高电压施加电极部(1)与接地电位电极部(2)的组合来构成在内部具有放电空间(6)的电极对。高电压施加电极部(1)作为主要构成部而具有电极用电介质膜(11)以及形成在电极用电介质膜(11)的上表面上的金属电极(10)。辅助导电膜(18)以俯视时不与金属电极(10)重叠且包围金属电极(10)的方式形成为圆环状。金属制的电极按压部件(8)在俯视时呈圆环状，以与辅助导电膜(18)的上表面的一部分接触的形态设置，并被固定于金属制的基底凸缘(4)。基底凸缘(4)被赋予接地电位。
- 活性气体生成装置
- [发明专利]活性气体生成装置-CN201980077109.6在审
-
有田廉;渡边谦资
-
东芝三菱电机产业系统株式会社
-
2019-11-12
-
2021-07-23
-
H05H1/24
- 本发明的目的在于提供一种活性气体生成装置的结构，能够有意图地减弱在装置的后级设置的处理空间的电场强度，并且将活性气体的失活量抑制在必要最小限度。而且，在本发明的活性气体产生装置(101)中，设置于电极用电介质膜(11)上的辅助导电膜(12)以俯视时与所述活性气体流通路径的一部分重叠的方式设置，并且辅助导电膜(12)被设定为接地电位。设置于电极用电介质膜(21)上的活性气体用辅助部件(60)设置为，在电极用电介质膜(11)和(21)之间的电介质空间内，在放电空间(6)与气体喷出孔(23)之间填埋活性气体流通路径的一部分而限制为活性气体流通用间隙。
- 活性气体生成装置
|
