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[发明专利]X射线管系统及其操作方法-CN201110127766.2无效
发明人：代秋声 -专利权人：苏州生物医学工程技术研究所
申请日： 2011-05-18 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： H01J35/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种X射线管系统，包括阴极电子枪、聚焦模块、真空管以及磁场模块。所述阴极电子枪、聚焦模块和真空管真空密封连通，而其中聚焦模块的入口端与阴极电子枪的发射端固定连接，聚焦模块的出口端与真空管固定连接。所述阴极电子枪沿真空管之长度中心线的切线方向发射高能电子；所述真空管内设有沿其长度方向设置的金属靶；所述磁场模块设置于真空管周围，并通过其工作时产生的磁场控制阴极电子枪发射的高能电子对所述金属靶进行撞击本发明将金属靶与真空管结合，使高能电子的偏转在真空管中实现，提高扫描速度，缩短扫描时间，实现360°自由扫描，并减小整体体积。
射线系统及其操作方法

[实用新型]一种电子枪装配模具-CN200920048552.4无效
发明人：侯俊山;俞江;李健辉 -专利权人：江苏达胜加速器制造有限公司
申请日： 2009-10-23 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01J9/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种装配模具，尤其涉及一种电子枪装配模具及装配方法，一种电子枪装配模具，包括上定位模、套模、支撑座，上定位模盖压在套模上，支撑座放置在枪盖板的下方，通过上述电子枪整套装配模具，及合适工艺操作工艺，无感灯比与引线电极良好接触，以防止电流发热、打火引起电流波动或更严重后果，确保无感灯丝发射面、聚焦极孔、枪盖板肩面三者的同心度，电子注不偏离不散焦；确保无感灯丝发射面与聚焦极端面极间距离，有利于电子发射；通过模具及正确工艺操作，提高电子枪成品率，保证了电子光学参数要求，且电子枪部件互换性好等显著成效。
一种电子枪装配模具

[实用新型]一种电子束冷床熔炼炉冷凝罩-CN202321035165.3有效
发明人：龚霄榕;尹正培;仝鑫;白少疆;杨翔 -专利权人：云南钛业股份有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C22B9/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电子束冷床熔炼炉冷凝罩，所述的冷凝罩包括大钢材圆环(1)、小钢材圆环(4)、若干钢材主梁(8)、若干钢材副梁(9)、1#电子枪预留口(10)、2#电子枪预留口(2)、3#电子枪预留口(3)；采用本实用新型方案，冷凝罩的主梁未出现变形下陷情况，各电子枪预留口边部轻微烧损。
一种电子束冷床熔炼炉冷凝

[实用新型]一种双模多注行波管栅控电子枪-CN200720128695.7无效
发明人：吴华夏;方卫;沈旭东;鲍林丽;孟昭红;王昊;张鹏飞;马振京 -专利权人：安徽华东光电技术研究所
申请日： 2007-09-11 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： H01J23/06 文献下载
摘要：一种双模多注行波管栅控电子枪，属于微波真空电子器件领域，包括阴极组件、内筒、中筒、外筒形套装结构、电子枪绝缘体外壳和阳极，其特征在于，在只有一个控制栅极的单栅电子枪基础上，在紧贴阴极表面设置一个荫影栅，该栅控电子枪用到双模多注行波管上，能使整管工作在两种功率输出模式。
一种双模行波管栅控电子枪

[发明专利]一种电子束退火设备及多晶硅薄膜的制造方法-CN202010759039.7有效
发明人：凌步军;朱鹏程;袁明峰;吕金鹏;赵有伟;滕宇;孙月飞;冷志斌;冯高俊 -专利权人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：本发明提出一种电子束退火设备及多晶硅薄膜的制造方法，包括：电子束产生腔体；工艺腔体，所述电子束产生腔体位于所述工艺腔体上，所述电子束产生腔体和所述工艺腔体通过隔板分开，所述工艺腔体内设置一载台，所述载台用于放置基板；加热单元，设置在所述载台上，用于为所述基板加热；其中，所述电子束产生腔体包括：至少两个电子枪，所述电子枪用于发射电子束；至少两个加速管，所述加速管用于加速所述电子束；功率调节单元，连接所述至少两个电子枪，以使所述至少两个电子枪的功率相同或不同，以使所述至少两个电子枪发射的电子束的能量相同或不同。本发明提出一种电子束退火设备可以将基板上的非晶硅薄膜转化成多晶硅薄膜。
一种电子束退火设备多晶薄膜制造方法

[实用新型]一种非真空电子束钢轨焊接电子枪-CN201922068812.0有效
发明人：邱泽浩;刘潇潇;车军;唐辰杰;鲁玉磊 -专利权人：兰州交通大学
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： B23K15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种非真空电子束钢轨焊接电子枪,用于电子束焊接领域，其整体呈轴对称结构,自上而下包括电子束产生装置、第一真空腔、聚焦装置、加速装置、第二真空腔、等离子窗口、第三真空腔及偏转装置，本实用新型采用差分抽气式对电子枪抽真空,能够在电子枪中构成真空梯度极大的电子束飞行路径,在加速装置之后设置等离子窗口，能够降低电子束能量损耗并保证电子束的密封性，偏转装置设置在等离子窗口之后，能够更好的扩大电子束的运动范围，减小电子枪尺寸，电子束经偏转后能够达到钢轨焊缝的最大范围，本实用新型的一种非真空电子束钢轨焊接电子枪可实现钢轨在非真空环境下焊接，降低焊接成本，提高焊接质量。
一种真空电子束钢轨焊接电子枪

[实用新型]一种电子束退火设备-CN202021564731.6有效
发明人：凌步军;朱鹏程;袁明峰;吕金鹏;赵有伟;滕宇;孙月飞;冷志斌;冯高俊 -专利权人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提出一种电子束退火设备，包括：电子束产生腔体；工艺腔体，所述电子束产生腔体位于所述工艺腔体上，所述电子束产生腔体和所述工艺腔体通过隔板分开，所述工艺腔体内设置一载台，所述载台用于放置基板；加热单元，设置在所述载台上，用于为所述基板加热；其中，所述电子束产生腔体包括：至少两个电子枪，所述电子枪用于发射电子束；至少两个加速管，所述加速管用于加速所述电子束；功率调节单元，连接所述至少两个电子枪，以使所述至少两个电子枪的功率相同或不同，以使所述至少两个电子枪发射的电子束的能量相同或不同。本实用新型提出一种电子束退火设备可以将基板上的非晶硅薄膜转化成多晶硅薄膜。
一种电子束退火设备

[实用新型]一种高材料利用率的磁偏转电子束蒸发源-CN202020237717.9有效
发明人：阿力甫·库提鲁克;李浩;梅新灵;谢斌平 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高材料利用率的磁偏转电子束蒸发源，包括电子枪(1)、坩埚(2)和磁铁(3)，电子枪(1)、坩埚(2)和磁铁(3)之间的位置关系满足电子枪(1)发射的电子束经磁铁(3)产生的磁场偏转后打入坩埚(2)内，其特征在于：坩埚(2)为舟船形坩埚；电子枪(1)的电压的大小是可调节的；磁铁(3)的所产生的磁场大小是可调节的；坩埚(2)的横向尺寸大于3mm；坩埚(2)内未设置有扫描线圈；电子枪(1)电压为
一种材料利用率偏转电子束蒸发

[发明专利]内置水路式电子枪枪体及冷却方法-CN201810892313.0在审
发明人：高学林;慈连鳌;张晓卫;张帆;贾子朝 -专利权人：核工业理化工程研究院;沈阳腾鳌真空技术有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种内置水路式电子枪枪体及冷却方法，所述的内置水路式电子枪枪体包括形成有安装腔的主腔体，以及对应设置在主腔体尾端的过渡板，所述的主腔体的外侧形成有进水口和出水口，在所述的主腔体上形成有主水道本发明抛弃了双层水套结构，采用外方内圆形电子枪枪体结构，通过打水孔及串接成具有一定导向的循环水道，避免了冷却死角，提高了冷却效果；采用外钻孔结构，实现了电子枪枪体内部真空腔无焊缝，避免了漏水的安全隐患；采用小孔封堵的焊接形式，焊缝创伤小，电子枪枪体的热应力形变小；电子枪枪体外形可进行二次机械精加工，可满足高精度的安装定位需求。
电子枪枪体主腔体内置水道水路过渡板冷却双层水套结构机械精加工外方内圆形安全隐患安装定位冷却死角冷却效果循环水道钻孔结构焊缝形变安装腔出水口单循环电子枪进水口热应力体内部无焊缝真空腔串接打水封堵流路漏水小孔焊接连通创伤抛弃

[发明专利]电子枪装配调试平台及使用方法-CN201910276006.4在审
发明人：刘德嘉;高志广;张黎源;高学林;郝苒杏 -专利权人：核工业理化工程研究院
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子枪装配调试平台，包括台架、可移动地设置在所述的台架上的第一模拟载板和第二模拟载板、测试机构，电子枪后部组件测试机构和真空法兰模拟机构，其中，测试机构包括可分离地固定设置在第一模拟载板上的模拟托板，设置在模拟托板上的调整板，以及固定在调整板上的用以模拟对接后电子枪前部组件和电子枪中间组件的测试模拟件；本发明的电子枪装配平台，基本实现了自动安装装置的结构的简化再现，同时赋予电子枪后部组件和真空法兰位置和姿态可调性
测试机构电子枪电子枪装配装配平台载板调试平台后部组件真空法兰调整板台架托板可移动地设置自动安装装置部件移动测试模拟固定设置可分离地模拟机构前部组件手动驱动应用场景中间组件可调性装配调试场景赋予检验

[发明专利]一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统-CN202211347571.3在审
发明人：薛照明;李围红;杨毅 -专利权人：成都天一国泰真空设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有真空蒸镀设备中同一坩埚放置超过两种熔点差较大材料时，由于蒸发材料的轰击电压不能随意调整而难以控制某些材料的均匀蒸发其包括电磁偏转电子枪，电磁偏转电子枪前部安装有坩埚，电磁偏转电子枪体上靠近坩埚下方安装有电磁线圈，高压电源与电磁偏转电子枪的阴极电连接，可控恒流源与电磁线圈电连接，可控恒流源和高压电源与控制计算机及电信号连接本发明适用于一种同步调节电子枪高压和磁场强度的系统。
一种同步调节电子枪高压磁场强度系统

[实用新型]内置水路式电子枪枪体-CN201821265935.2有效
发明人：高学林;慈连鳌;张晓卫;张帆;贾子朝 -专利权人：核工业理化工程研究院;沈阳腾鳌真空技术有限公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种内置水路式电子枪枪体，所述的内置水路式电子枪枪体包括形成有安装腔的主腔体，以及对应设置在主腔体尾端的过渡板，所述的主腔体的外侧形成有进水口和出水口，在所述的主腔体上形成有主水道，所述的过渡板上形成有将所述的主腔体水道对应连通以构成完整单循环流路的端水道本实用新型抛弃了双层水套结构，采用外方内圆形电子枪枪体结构，通过打水孔及串接成具有一定导向的循环水道，避免了冷却死角，提高了冷却效果；采用外钻孔结构，实现了电子枪枪体内部真空腔无焊缝，避免了漏水的安全隐患；采用小孔封堵的焊接形式，焊缝创伤小，电子枪枪体的热应力形变小；电子枪枪体外形可进行二次机械精加工，可满足高精度的安装定位需求。
电子枪枪体主腔体内置水道水路本实用新型过渡板双层水套结构机械精加工外方内圆形安全隐患安装定位冷却死角冷却效果循环水道钻孔结构焊缝形变安装腔出水口单循环电子枪进水口热应力体内部无焊缝真空腔串接打水封堵流路漏水小孔焊接连通创伤抛弃

[实用新型]电子枪供电电源检测电路-CN201720192288.6有效
发明人：刘忠兴 -专利权人：江阴市中兴光电实业有限公司
申请日： 2017-03-01 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子枪供电电源检测电路，涉及电子枪电源技术领域，包括接线端CN1、光电耦合器PC16、光电耦合器PC15、光电耦合器PC14、三极管V6、三极管V5、三极管V4、光电耦合器PC6、光电耦合器本实用新型根据继电器CRF1输出的检测信号，能实现电子枪供电电源的检测，有效地检测电子枪电源的稳定性，为电子枪供电异常而调整电子枪电源提供了检测信号，且电路简单、稳定，易于实现。
电子枪供电电源检测电路

[实用新型]电子枪装配调试平台-CN201920461826.6有效
发明人：刘德嘉;高志广;张黎源;高学林;郝苒杏 -专利权人：核工业理化工程研究院
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子枪装配调试平台，包括台架、可移动地设置在所述的台架上的第一模拟载板和第二模拟载板、测试机构，电子枪后部组件测试机构和真空法兰模拟机构，其中，测试机构包括可分离地固定设置在第一模拟载板上的模拟托板，设置在模拟托板上的调整板，以及固定在调整板上的用以模拟对接后电子枪前部组件和电子枪中间组件的测试模拟件；本实用新型的电子枪装配平台，基本实现了自动安装装置的结构的简化再现，同时赋予电子枪后部组件和真空法兰位置和姿态可调性
测试机构电子枪装配平台载板本实用新型电子枪装配后部组件真空法兰调整板台架托板可移动地设置自动安装装置部件移动测试模拟调试平台固定设置可分离地模拟机构前部组件手动驱动应用场景中间组件可调性装配调试场景赋予检验

[实用新型]一种毫米波行波管电子枪结构-CN201020652703.X无效
发明人：吴华夏;贺兆昌;雷声媛;袁璟春;朱刚;孙梅林;周秋俊;高红梅 -专利权人：安徽华东光电技术研究所
申请日： 2010-12-10 - 公布日： 2011-06-22 - 主分类号： H01J23/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种毫米波行波管电子枪结构，包括外壳、设于外壳内部的电子枪绝缘体、设于外壳及电子枪绝缘体间的可伐环、固定电子枪绝缘体的第一圆环、弹片及第二圆环；所述外壳一端设有电子枪出端组件，所述外壳另一端设有端盖，所述电子枪绝缘体包括绝缘子外壳、阴控组件、聚焦极绝缘子、阳极支架、阳极和法兰盘，所述阳极支架一侧与所述绝缘子外壳连接，另一侧与所述阳极连接，所述聚焦极绝缘子与所述阴控组件连接构成聚焦极组件，所述聚焦极组件设于绝缘子外壳内部
一种毫米波行波电子枪结构