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[发明专利]全真空泵池-CN201210305302.0有效
发明人：刘占方;张增营;陈伟;丁栋洋;周聪;官彦召 -专利权人：北京天海工业有限公司
申请日： 2012-08-24 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明全真空泵池涉及机械技术领域。以“全真空”关键技术，其出液口真空公法兰的法兰盘与出液口真空母法兰的法兰盘、出液口真空母法兰的法兰盘与真空大法兰上盖的法兰盘、真空大法兰上盖的法兰盘与泵池真空罐体上端的法兰盘、泵池真空罐体与回气口真空母法兰及进液口真空母法兰、回气口真空母法兰的法兰盘与回气口真空公法兰的法兰盘、进液口真空母法兰的法兰盘与进液口真空公法兰的法兰盘、泵池真空罐体与泵池罐体真空封节、真空大法兰上盖与大法兰上盖真空封节、出液口真空母法兰下端的连接管与低温潜液泵的出液管均固定连接真空绝热性能好而安全可靠。
真空泵

[实用新型]全真空泵池-CN201220423468.8有效
发明人：刘占方;张增营;陈伟;丁栋洋;周聪;官彦召 -专利权人：北京天海工业有限公司
申请日： 2012-08-24 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： F04B53/00 文献下载
摘要：本实用新型全真空泵池涉及机械技术领域。以“全真空”关键技术，其出液口真空公法兰的法兰盘与出液口真空母法兰的法兰盘、出液口真空母法兰的法兰盘与真空大法兰上盖的法兰盘、真空大法兰上盖的法兰盘与泵池真空罐体上端的法兰盘、泵池真空罐体与回气口真空母法兰及进液口真空母法兰、回气口真空母法兰的法兰盘与回气口真空公法兰的法兰盘、进液口真空母法兰的法兰盘与进液口真空公法兰的法兰盘、泵池真空罐体与泵池罐体真空封节、真空大法兰上盖与大法兰上盖真空封节、出液口真空母法兰下端的连接管与低温潜液泵的出液管均固定连接真空绝热性能好而安全可靠。
真空泵

[实用新型]热真空试验设备-CN201220400505.3有效
发明人：程广河 -专利权人：北京合丰天成科技有限公司
申请日： 2012-08-13 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： G01M99/00 文献下载
摘要：一种热真空试验设备，包括真空室，真空室内设有热沉，热沉上带有冷媒管，真空室上设有冷媒管的进出口，进出口末端带有真空室法兰，冷媒管上进出真空室的位置处外壁套有波纹管，波纹管远离真空室的一端与冷媒管之间相互焊接，波纹管靠近真空室的一端带有波纹管法兰，所述波纹管法兰与真空室法兰同心设置并且波纹管法兰位于真空室法兰内腔，波纹管法兰可拆卸连接有过渡法兰，过渡法兰位于波纹管法兰的轴向外侧，过渡法兰与真空室法兰之间可拆卸连接，波纹管法兰与过渡法兰之间及过渡法兰与真空室法兰之间均设有密封装置。本实用新型热真空试验设备既方便、快捷，又安全、可靠，并且不会对原设备造成损伤，避免浪费。
真空试验设备

[实用新型]一种超高真空样品转移机构-CN202022643112.2有效
发明人：郭鸿杰;冯秋洁;王湘麟;赵府 -专利权人：宁波国际材料基因工程研究院有限公司;南方科技大学
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B65D81/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超高真空样品转移机构，该超高真空样品转移机构包括转移体、载物件、无源吸气泵、真空计和观察窗。转移体形成有转移腔，转移体上设有第一真空法兰、第二真空法兰、第三真空法兰和第四真空法兰，第一真空法兰能够与样品制备真空系统密封连接。载物件设在转移腔中，载物件用于承载样品。无源吸气泵与第二真空法兰密封连接，无源吸气泵能够无源形成并维持转移腔的真空环境。真空计与第三真空法兰密封连接。观察窗与第四真空法兰密封连接，第四真空法兰位于转移体的顶壁上。该超高真空样品转移机构能够便于长时间的运输且能长时间维持超高真空度。
一种超高真空样品转移机构

[发明专利]高压真空馈入连接装置-CN201910462264.1在审
发明人：何子锋;欧阳联华;李德明;李瑞;杨永金;黄建鸣;吴新时;张金玲 -专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01R13/533 文献下载
摘要：本发明公开了一种高压真空馈入连接装置，其包括：真空法兰和真空套筒，所述真空法兰的一端与所述真空套筒连接，另一端设置有固定套筒，所述固定套筒背离所述真空法兰的一端连接有固定螺母，所述真空套筒背离所述真空法兰的一端设置有插座底件，所述真空法兰用于与真空腔体的法兰连接。真空套筒的两端设置固定套筒、固定螺母和插座底件，使得整个连接装置容易拆解。设置真空法兰，在不得不拆除真空套筒时，无需对真空腔体的机械连接进行拆卸，仅需在外部拆卸标准的真空法兰接口即可，拆卸简单，而且这种结构无需维护。
真空法兰真空套筒固定套筒连接装置拆卸高压真空固定螺母一端设置真空腔体插座底件馈入背离法兰连接机械连接两端设置一端连接拆解拆除外部维护

[实用新型]高压真空馈入连接装置-CN201920804586.5有效
发明人：何子锋;欧阳联华;李德明;李瑞;杨永金;黄建鸣;吴新时;张金玲 -专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01R13/533 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高压真空馈入连接装置，其包括：真空法兰和真空套筒，所述真空法兰的一端与所述真空套筒连接，另一端设置有固定套筒，所述固定套筒背离所述真空法兰的一端连接有固定螺母，所述真空套筒背离所述真空法兰的一端设置有插座底件，所述真空法兰用于与真空腔体的法兰连接。真空套筒的两端设置固定套筒、固定螺母和插座底件，使得整个连接装置容易拆解。设置真空法兰，在不得不拆除真空套筒时，无需对真空腔体的机械连接进行拆卸，仅需在外部拆卸标准的真空法兰接口即可，拆卸简单，而且这种结构无需维护。
高压真空连接装置

[发明专利]一种用于真空腔体的密封结构-CN202110795072.X有效
发明人：胡常青;赵建海 -专利权人：上海铂世光半导体科技有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： F16L23/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空腔体的密封结构，包括：第一上盖及与所述第一上盖通过真空法兰密封连接的第二下盖；所述真空法兰包括第一真空法兰以及与所述真空法兰密封连接的第二真空法兰，所述第二真空法兰靠近第一真空法兰的端面上至少开设有两个凹槽，所述凹槽中嵌合有密封件，所述第一真空法兰靠近第二真空法兰的端面为平滑面。根据本发明，提供双层密封结构的真空密封作用，同时能监控密封效果，并能及时发现真空密封失效而对软质密封圈进行及时更换，同时还能延长软质密封圈的使用寿命。
一种用于空腔密封结构

[实用新型]一种真空管连接法兰-CN201220228259.8有效
发明人：臧玉华;马欣;张喜盛 -专利权人：青岛瑞丰气体有限公司
申请日： 2012-05-15 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： F16L23/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空管连接法兰，包括通过螺栓固定在一起的左法兰组件和右法兰组件，左法兰空心堵头焊接在左通管右端的外壁上，左通管的外壁上靠近右端处套有左法兰真空套管，左法兰真空套管的左端焊接左法兰加强板，左法兰加强板的左侧设有左真空套管，左真空套管左端的外壁上焊接左连接法兰盘；右法兰空心堵头焊接在右通管左端的外壁上，右法兰真空套管左端的外壁上焊接右法兰加强板，右法兰加强板的右侧连接有右真空套管，右真空套管左端的外壁上焊接右连接法兰盘，左法兰空心堵头伸入右法兰空心堵头的内部。本实用新型的真空管连接法兰结构简单，可以有效的防止输送管路连接部位出现结霜或者结冰现象，保证设备正常使用。
一种真空管连接法兰

[实用新型]一种可拆卸清洁的双锥真空干燥器真空头-CN201721833483.9有效
发明人：张楚扬;陈德苞;苏木平 -专利权人：汕头市佳禾生物科技有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： F26B5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工制药设备领域，尤其涉及一种可拆卸清洁的双锥真空干燥器真空头。一种可拆卸清洁的双锥真空干燥器真空头，包括真空轴和真空管，真空轴和真空管之间通过法兰式连接头连通，真空轴穿过双锥真空干燥器的旋转罐体，真空管末端套有过滤袋；法兰式连接头由前法兰盘和后法兰盘通过螺丝连接组成，法兰式连接头内部形成空腔，前法兰盘与真空管连通，后法兰盘与真空轴连通；其中，真空管末端套有过滤袋的管壁上设置有透气孔，且其末端为封闭状。本实用新型的优点在于：采用法兰式连接头，在法兰上垂直连接三根真空管，缩短了真空管的长度，减少了物料翻转对真空管的冲击；所采用的法兰式连接头可拆卸，方便将真空管拆卸下来进行清洁。
真空管双锥真空干燥法兰盘法兰式可拆卸连接头真空轴真空头连通清洁本实用新型过滤袋内部形成空腔法兰式连接垂直连接化工制药螺丝连接设备领域物料翻转旋转罐体封闭状透气孔法兰管壁拆卸穿过

[发明专利]一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔-CN202110221463.0在审
发明人：邓新宇 -专利权人：河南芯钻新材料有限公司
申请日： 2021-02-27 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体为一种微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，包括支撑板、下真空腔法兰与上真空腔法兰，所述支撑板的顶部设置有下真空腔法兰，所述下真空腔法兰的顶部设置有上真空腔法兰，所述下真空腔法兰和上真空腔法兰是可分合的，下真空腔法兰的顶部开设有密封结构，密封结构包括胶圈密封结构和气压密封结构。该微波化学气相沉积法生长金刚石的可分合真空腔，通过将下真空腔法兰和上真空腔法兰设置为可分合，使得工作人员便于在真空腔结构内放入和从真空腔结构内取出金刚石产品，使得真空腔结构的内部便于清洁，有效的提高了该装置的清洁效率
一种微波化学沉积生长金刚石分合空腔

[实用新型]一种大功率高真空度旋转关节密封结构-CN202221733410.3有效
发明人：杜旭辉;刘迎喜;王杨;李科娟;何粉绒;伍捍东 -专利权人：江苏恒达微波技术开发有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01P1/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大功率高真空度旋转关节密封结构，包括旋转关节主体，所述旋转关节主体左端安装真空阴法兰，所述真空阴法兰左端连通卡接真空阳法兰，所述真空阳法兰与真空阴法兰之间设置金属密封垫且金属密封垫上开设小凹面，所述旋转关节主体右端转动连接T型旋转轴的横向部，所述旋转关节主体右端固定圆环，所述圆环右端贴合油封套，该设计利用真空阴法兰与真空阳法兰可对金属密封垫进行挤压并使金属密封垫产生变形，实现真空阴法兰以及真空阳法兰之间在真空环境下的真空密封
一种大功率真空旋转关节密封结构

[实用新型]一种RH系统真空槽口-CN201720472197.8有效
发明人：程红兵;孟娜 -专利权人：中国重型机械研究院股份公司
申请日： 2017-05-02 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种RH系统真空槽口，包括热弯管、真空槽、热弯管法兰、真空槽法兰和密封件；所述真空槽上口外侧向内倒角；所述热弯管法兰固定在热弯管上，热弯管法兰内侧倒角，并与真空槽形成上下对接的“支口”式导向结构；所述真空槽法兰固定在真空槽上；所述密封件位于真空槽法兰和热弯管法兰之间；所述热弯管法兰和真空槽法兰为对接的“阶梯形”法兰，采用上下扣边结构；所述密封件与真空槽内部形成台阶。本实用新型结构简单，真空槽与热弯管连接的对中、定位准确，削弱了热辐射对密封件的影响，密封可靠且寿命大大增加，可以达到3～5个真空槽次。在保证生产率的前提下，大大地节省了生产和维护成本。
一种 rh 系统真空槽口

[实用新型]一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置-CN202320236366.3有效
发明人：赵科新;孟凡利;王海涛;王学峰;孙浩 -专利权人：沈阳天科合达半导体设备有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型属于真空设备领域或半导体设备领域，尤其涉及一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置。其增加电极与法兰的内部冷却系统，解决真空室内部感应线圈无法冷却问题。其包括安装有真空电极的真空电极法兰，其特征在于，所述真空电极法兰的法兰盘上开设有法兰水冷通道，该法兰水冷通道的一端设置有水冷法兰进水口，法兰水冷通道的另一端设置有水冷法兰出水口。
一种真空室内感应线圈水冷电极法兰装置

[实用新型]一种真空法兰连接结构-CN201921500910.0有效
发明人：袁鑫 -专利权人：昆山星锐普思电子科技有限公司
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： F16L23/032 文献下载
摘要：本实用新型提供一种真空法兰连接结构，包括：活套法兰接头、法兰压块、密封圈及真空快速法兰；所述活套法兰接头的下部插入所述真空快速法兰内；所述活套法兰接头及所述真空快速法兰间设有所述密封圈；所述活套法兰接头上套接有所述法兰压块，所述法兰压块是可拆卸的。本实用新型的法兰压块是可拆卸的，不仅无需提前安装，减少忘记的风险，还能有效减少真空产品的体积及重量，方便运输。
一种真空法兰连接结构

[发明专利]一种真空舱内低温管道温度应力补偿结构-CN201610639739.6有效
发明人：孔凡超;张奎好;胡旭坤;罗天培;赵耀中;孙树江 -专利权人：北京航天试验技术研究所
申请日： 2016-08-08 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： F16L51/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种补偿真空舱内低温管道温度应力的结构，由真空舱壁(1)、真空舱上法兰孔壁(2)、法兰片1(3)、法兰片2(4)、法兰片3(5)、法兰片4(6)、波纹管(7)、低温管道(8)、低温管道法兰接口它利用真空舱上法兰口上的波纹管来补偿真空舱内低温管道的温度应力，解决了真空舱上过舱低温管道的补偿、绝热和拆装问题。
一种补偿真空低温管道温度应力结构

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