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[实用新型]一种汞灯灯室-CN201820409916.6有效
发明人：赵峰 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于光刻曝光技术领域，具体公开了一种汞灯灯室，包括灯室本体和椭球反射镜，所述椭球反射镜内设置有汞灯；所述灯室本体包括：移动架，所述椭球反射镜固定连接于所述移动架上；以及固定架，具有容纳所述移动架的容纳腔本实用新型公开的汞灯灯室，能提高汞灯维护和更换的效率及安全性，使汞灯维修和更换更为方便快捷。
椭球反射镜移动架汞灯灯室汞灯本实用新型固定架容纳腔灯室维修和更换光刻曝光移出容纳移动维护

[发明专利]具有冷却系统的汞灯灯室-CN201110145394.6无效
发明人：夏洪发;李仲禹;张祥翔 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-05-31 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： F21V29/02 文献下载
摘要：本发明提出一种具有冷却系统的汞灯灯室，包括汞灯、椭球反射镜、平面反射镜、风冷系统和水冷系统。椭球反射镜位于汞灯周围。平面反射镜悬置在椭球反射镜和汞灯的上方，用以反射椭球反射镜和汞灯发出的光线。第一风嘴对应汞灯设置；第二风嘴对应椭球反射镜设置，第一风嘴、第二风嘴分别与冷却风分流装置连通。水冷系统包括冷却水管和平面反射镜冷却水套。平面反射镜冷却水套贴附在平面反射镜后。与冷却水管连通。本发明提供的汞灯灯室，具有冷却系统，能够解决现有汞灯灯室冷却效果不足、汞灯运行不稳定、日常维护和维修不方便等问题。
具有冷却系统汞灯灯室

[发明专利]一种光谱稳定的汞灯-CN202310499742.2在审
发明人：姚锐 -专利权人：吉林华微电子股份有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01J61/04 文献下载
摘要：一种光谱稳定的汞灯，属于汞灯技术领域，解决汞灯性能十分不稳定，光强电压不稳定性，汞灯温升高，异味大以及汞灯工作电压偏低且波动问题。本发明的汞灯包括：阴极连接点、阳极连接点、阴极、阳极、启动电路器和电阻、引线、灯头、石英灯腔室、灯头限位卡扣、阳极引线石英护套和设置于石英灯腔室两端外表面上的金属膜，还包括辅助触发极、第一钼箔、第二钼箔和第三钼箔；辅助触发极贯穿于石英灯腔室与阴极相接的一端，辅助触发极部分位于石英灯腔室的内侧；第一钼箔设置于电阻和辅助触发极之间；第二钼箔设置于阴极连接点和阴极之间；第三钼箔设置于阳极连接点和阳极之间。
一种光谱稳定

[实用新型]一种汞灯装卸装置及光刻设备-CN202221565205.0有效
发明人：刘朔 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种汞灯装卸装置及光刻设备，该汞灯装卸装置包括移动车、灯罩支架、灯罩及灯固定装置，其中，移动车包括推拉板及底座，推拉板位于底座的一侧且固定于底座的边缘，推拉板上设有至少一个移动把手，底座的底面设有至少三个移动滚轮；灯罩支架位于底座上且底部固定于底座上；灯罩位于灯罩支架的顶部且固定于灯罩支架上；灯固定装置位于灯罩与底座之间并固定于底座上，且灯固定装置包括安装汞灯的灯座。本实用新型通过将设于光刻设备的灯室中固定的所述灯座及所述灯罩固定于所述移动车的所述底座上，实现了汞灯的便捷移出灯室，降低了更换汞灯过程中汞灯的磕碰破裂、灯罩损伤及灯座损伤风险，提升了更换汞灯的效率。
一种装卸装置光刻设备

[发明专利]一种外置固汞合金紫外线灯及其生产工艺-CN202110795146.X在审
发明人：晏波元 -专利权人：佛山市耀清紫外科技有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01J61/20 文献下载
摘要：本发明提供一种外置固汞合金紫外线灯及其生产工艺，涉及紫外线灯技术领域，包括紫外线灯本体，所述紫外线灯本体内部形成放电腔室，所述放电腔室内设置有灯丝，所述灯丝的两端连接有钼杆，所述钼杆上设置有钼片；所述放电腔室上还连接有排气管以及固态汞预存管，所述排气管以及固态汞预存管均分别与所述放电腔室连通，所述固态汞预存管内设置有固态汞合金。本发明的有益之处是，通过采用固态汞合金代替液态汞以及采用外置固态汞合金，达到生产过程中不再需要额外添加液态汞，起到定量注汞的的目的，降低生产过程中对工人和周围环境造成的汞危害，也能降低灯管寿命期到达后对环境造成的污染，并且满足灯的外观及光电参数特性的要求。
一种外置汞合金紫外线及其生产工艺

[实用新型]一种新型的外置固汞合金紫外线灯-CN202121598713.4有效
发明人：晏波元 -专利权人：佛山市耀清紫外科技有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01J61/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型的外置固汞合金紫外线灯，涉及紫外线灯技术领域，包括紫外线灯本体，所述紫外线灯本体内部形成放电腔室，所述放电腔室内设置有灯丝，所述灯丝的两端连接有钼杆，所述钼杆上设置有钼片；所述放电腔室上还连接有排气管以及固态汞预存管，所述排气管以及固态汞预存管均分别与所述放电腔室连通，所述固态汞预存管内设置有固态汞合金。本实用新型的有益之处是，通过采用固态汞合金代替液态汞以及采用外置固态汞合金，达到生产过程中不再需要额外添加液态汞，起到定量注汞的的目的，降低生产过程中对工人和周围环境造成的汞危害，也能降低灯管寿命期到达后对环境造成的污染，并且满足灯的外观及光电参数特性的要求。
一种新型外置汞合金紫外线

[实用新型]一种调试用汞灯辅助使用装置-CN202122180014.4有效
发明人：王少勇;耿广善;吴海荣;胡相楠 -专利权人：苏州博维仪器科技有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： F21V21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调试用汞灯辅助使用装置，包括磁性安装座，所述磁性安装座上安装有调节支撑杆，所述调节支撑杆上安装有汞灯安装台，所述汞灯安装台上安装有汞灯，所述汞灯安装台位于汞灯外侧安装有灯罩，灯罩一侧开设有条形孔本实用新型，可对汞灯光源进行有效固定，替代直接手持，稳定性更好；可以通过调节支撑杆随意调整汞灯的水平高度，便于对准光路，达到最佳入射条件；灯罩一侧开设有条形孔，避免了更多的杂散光及散射光进入光室，提高光源入射强度
一种调试用汞灯辅助使用装置

[实用新型]一种汞灯角分布测试装置和一种照明灯室-CN201620519910.5有效
发明人：赵峰;张辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汞灯角分布测试装置，包括测量模块、位置调整模块和信号控制模块，汞灯设置在所述位置调整模块上，所述测量模块设置在所述汞灯的焦面上，所述信号控制模块用于控制所述位置调整模块动作以及处理所述测量模块的测量信息并控制所述位置调整模块动作；本实用新型所述汞灯角分布测试装置实现了对汞灯能量角分布的测量，通过反馈相应测试参数，实现从根本上提高椭球反射镜在结构模拟仿真以及设计的可靠性；本实用新型还提供了一种照明灯室，包括灯罩以及设置在所述灯罩内的汞灯、椭球反射镜、冷光反射镜和上述汞灯角分布测试装置，实现了照明灯室内汞灯的在线检测。
一种角分布测试装置照明灯

[发明专利]紫外线灭菌法在电冰箱中的应用-CN201110132825.5无效
发明人：杨永久 -专利权人：杨永久
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： F25D23/10 文献下载
摘要：用波长为250nm-260nm的低压汞灯(分热阴极低压汞灯和冷阴极低压汞灯)，安装在电冰箱的冷藏室里，冷藏室的温度设定为0℃-8℃，冷藏室的容积以100升计算，根据国家消毒技术规范规定灭菌柜中紫外灯的功率每立方米不少于1.5W，在0℃时，紫外灯所辐射的紫外线则降低50％，据此条件，冷藏室紫外灯的总输出功率不小于0.3W，最佳输出功率为0.6-3W。冷藏室的内壁采用经加工后反射率较高的铝板，增强乱反射作用。电冰箱的冷藏室为多层，隔板需用网状，每层可安装1盏0.2-1W的紫外灯，互呈直角，以抵消消毒暗区，达到灭菌效果，采用一个开关触摸式定时器开关控制所有紫外灯，每次自动定时30分钟。
紫外线灭菌电冰箱中的应用

[发明专利]一种汞离子微波钟用光路系统及降低光噪声的方法-CN201810858874.9有效
发明人：陈海波;王暖让;杨仁福;赵环 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G04F5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种汞离子微波钟用光路系统及降低光噪声的方法，系统包括汞灯、汞离子囚禁室，还包括：球面透镜、至少一面双层膜平面反射镜；所述双层膜平面反射镜对波长194nm的光的反射率r1与对波长253nm的光的反射率r2的比值大于或等于9.6；汞灯发出的光依次经过球面透镜准直、再经双层膜平面反射镜反射、然后进入汞离子囚禁室，与汞离子囚禁室中的汞离子发生相互作用。本发明的方法，包含以下步骤：采用球面透镜将汞灯发出的光线准直成平行光线；采用至少一面双层膜平面反射镜将所述球面透镜射出的平行光线抑制光噪声；将所述双层膜平面反射镜多次反射的光线输入到汞离子囚禁室。本发明提高了汞灯光谱中波长194nm和253nm的光的抑制比，减小了系统的光噪声。
一种离子微波用光系统降低噪声方法

[发明专利]一种气态汞原子在线检测装置-CN202111362208.4在审
发明人：夏禹;陈明;褚达;黄云彪 -专利权人：重庆川仪自动化股份有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：一种气态汞原子在线检测装置，包括安装汞灯的灯座、设有两个气室的壳体，所述壳体的两个气室并排贯穿设置在壳体中，所述两个气室均设有进气口、出气口，其中，第一气室的出气口通过一汞过滤瓶与第二气室的进气口连接，使第一气室中的含汞气体经过滤后进入第二气室中，两个气室的一端分别设置滤光片，两个气室的另一端分别设置透光片，所述灯座设置在两个气室设置滤光片的一端，灯座的安装汞灯的位置分别设有两个过光孔与两个气室的滤光片对应，所述壳体外设置两个并排的光电二极管，两个光电二极管与两个气室的透光片分别对应，光电二极管通过检测电路与控制系统电连接，用于将汞灯穿过气室的光信号转换为电信号。
一种气态原子在线检测装置

[实用新型]一种气态汞原子在线检测装置-CN202122818004.9有效
发明人：夏禹;陈明;褚达;黄云彪 -专利权人：重庆川仪自动化股份有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01N21/31 文献下载
摘要：一种气态汞原子在线检测装置，包括安装汞灯的灯座、设有两个气室的壳体，所述壳体的两个气室并排贯穿设置在壳体中，所述两个气室均设有进气口、出气口，其中，第一气室的出气口通过一汞过滤瓶与第二气室的进气口连接，使第一气室中的含汞气体经过滤后进入第二气室中，两个气室的一端分别设置滤光片，两个气室的另一端分别设置透光片，所述灯座设置在两个气室设置滤光片的一端，灯座的安装汞灯的位置分别设有两个过光孔与两个气室的滤光片对应，所述壳体外设置两个并排的光电二极管，两个光电二极管与两个气室的透光片分别对应，光电二极管通过检测电路与控制系统电连接，用于将汞灯穿过气室的光信号转换为电信号。
一种气态原子在线检测装置

[发明专利]汞蒸气放电灯-CN200780033816.2无效
发明人：罗兰·霍夫曼(已逝);马丁·贝克 -专利权人：奥斯兰姆有限公司
申请日： 2007-09-07 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： H01J7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有灯容器的汞蒸气放电灯，在该灯容器的放电室中设置有至少一个汞齐存储器，其中作为单独的部件实施的、用于收纳汞齐存储器的收纳容器被置于放电室中，该收纳容器具有以热学方式操作的至少一个活门，用于汞蒸气从收纳容器至放电室中的排出控制以及用于通过汞齐存储器进行汞蒸气的受控的吸收。
蒸气电灯

[实用新型]一种流动臭氧发生器-CN201420120009.1有效
发明人：裴世鑫;崔芬萍;陈敏东 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种流动臭氧发生器，包括反应室和笔形汞灯；笔形汞灯设于反应室内；反应室一端设有氧气导入孔，另一端设有臭氧导出孔。本实用新型流动臭氧发生器装置简单，结构紧凑，方便有效，解决了高压放电产生臭氧的缺陷，可用于家庭或实验室非大量臭氧产生的需要。
一种流动臭氧发生器

[发明专利]一种低压汞灯光催化装置-CN201810244698.X在审
发明人：邹长伟 -专利权人：岭南师范学院
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： C02F1/32 文献下载
摘要：本发明公开一种低压汞灯光催化装置，包括反应室、抽水系统和多个低压汞灯，反应室内设置有多块通过卡槽固定的纳米光催化涂层和多根顶部相互连通的T型水管；抽水系统包括抽水管道和抽水泵，抽水泵一端通过出水管道与反应室的底端连通，另一端通过抽水管道与进水管道连通；进水管道与多根T型水管的顶端连通；多个低压汞灯的灯头安装在反应室的盖板上，低压汞灯浸入反应室的溶液中。本发明中的低压汞灯光催化装置，在水循环过程中，由于反应室底部搅拌器的搅拌作用以及水循环系统的作用，该反应室内的光催化反应进行的更加彻底、均匀，有效地提高了反应溶液密度的均匀性；纳米光催化涂层在紫外线的作用下
反应室连通催化装置低压汞灯低压汞纳米光催化涂层光催化反应抽水管道抽水系统进水管道抽水泵灯光室内底部搅拌器水循环系统浸入出水管道灯头安装反应溶液卡槽固定盖板光催化均匀性水循环有效地紫外线底端多块

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