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- [实用新型]用于检测每道工序的升降检测机构-CN201621475857.X有效
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胡炎良
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湖南先步信息股份有限公司
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2016-12-30
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2017-12-01
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G01N35/00
- 本实用新型涉及自动化设备领域的用于检测每道工序的升降检测机构，包括凸轮驱动升降机构和检测机构，检测机构安装在凸轮驱动升降机构上，由凸轮驱动升降机构带动进行升降运动，凸轮驱动升降机构包括左升降座、右升降座和检测杆，左升降座与右升降座为结构相同的左右对称结构，左升降座包括左安装座、左导轨和左凸轮升降组件，检测机构包括检测主体和感应组件，使用时检测机构直接安装在检测杆的横向连杆上，由左凸轮升降组件及右凸轮升降组件共同带动横向连杆进行同步升降，使检测机构可实现同步检测动作，采用凸轮传动结构带动，不需要设置任何电子元件，也不需要另外布置线路，整体结构小巧简单，制造成本低，占用空间小。
- 用于检测工序升降机构
- [发明专利]检测工序的智能抽样方法-CN202110126243.X有效
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高冰玲
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绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
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2021-01-29
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2023-07-07
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H01L21/66
- 本发明提供一种检测工序的智能抽样方法，用于将具有第一抽样率和第一标记的第一检测项目和具有第二抽样率和第二标记的第二检测项目进行抽样整合，所述第一抽样率低于所述第二抽样率，包括：在进行所述第一检测项目的产品上打上第三标记，按所述第一抽样率对具有第三标记的产品同时进行第一检测项目和第二检测项目的检测，以及按所述第二抽样率对具有所述第二标记的产品进行所述第二检测项目的检测。本发明可以减少将具有不同抽样率的检测项目整合到一起带来的产能损失或质量管控的风险，且可以有效管控检测站点堆货导致的无法及时在线监测(inlinegating)所带来的风险，提高在线管控的效率。
- 检测工序智能抽样方法
- [实用新型]工序防漏快速检测治具-CN202022935084.1有效
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刘富杰;黄熙忠;李四维
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东莞盛翔精密金属有限公司
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2020-12-09
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2021-07-27
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G01B3/30
- 本实用新型公开工序防漏快速检测治具，包括基座、物料盘，物料盘上设有若干物料槽，物料槽上放置有工件，的端面上设有若干检测杆，物料盘放置在基座的端面上，工件的下端面设有加工槽，检测杆穿透物料槽与工件的加工槽相抵本治具通过在基座上设置若干检测杆对工件的加工槽进行检测；如若工件出现漏加工或加工深度不足时，将放置满工件的物料盘放置在基座上，工件会被检测杆从物料盘上顶出，被顶出的工件则视为漏加工。本治具能够对工件的加工工序进行检测，防止不良品流入市场，减少了不良品后处理的制造成本，实现CNC前工序能够快速拦截和重加工，减少不良报废。
- 工序防漏快速检测
- [发明专利]蓄电设备的制造方法-CN202210527476.5在审
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大槻康明
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泰星能源解决方案有限公司
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2022-05-16
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2022-11-22
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H01M10/058
- 本发明提供一种蓄电设备的制造方法，该蓄电设备被设备外壳封装，该方法包括：未检查蓄电设备的制造工序和外观检查工序，外观检查工序具有：检测工序，对设备外壳的外壳表面中的被检查区域照射检查光，拍摄检查光的漫反射光，检测设备外壳的被检查区域的外观；和判定工序，对检测出的被检查区域的外观的良好与否进行判定，外观检查工序还具有检测可行化工序，检测可行化工序为：在检测工序之前，在设备外壳的被检查区域之中，至少对由于光泽度高而外观的检测困难的检测困难区域、或者检测困难可能性区域，实施使外观的检测能够进行的检测可行化处理。
- 设备制造方法
- [发明专利]识别晶圆过程中异常的工艺流程-CN202310283745.2在审
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孙若力;赵家;张文军
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杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
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2023-03-22
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2023-07-28
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H01L21/67
- 本发明涉及一种识别晶圆过程中异常的工艺流程，所属硅片加工技术领域，包括如下操作步骤：第一步：前加工工序。第二步：前加工工序完成后，晶圆进入抛光工序，抛光工序采用先进行双面抛光或边缘抛光；当完成双面抛光后进行平坦度检测工序Ⅰ；当完成边缘抛光后进行平坦度检测工序Ⅲ。第三步：经过平坦度检测工序Ⅰ测试无异常后，进行边缘抛光，完成边缘抛光后进行平坦度检测工序Ⅱ的测试。经过平坦度检测工序Ⅲ测试无异常后，进行双面抛光，完成双面抛光后进行平坦度检测工序Ⅳ的测试。第四步：最后经过平坦度检测工序Ⅱ或平坦度检测工序Ⅳ测试无异常后，进行最终抛光。使工艺流程效率更高，提高反应速度，减少不良产品流动加工后带来的加工成本。
- 识别过程异常工艺流程
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