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[发明专利]一种改善硅基OLED器件金属刻蚀孔洞异常的方法-CN202210994232.8在审
发明人：由振琪;孙云翔;吕迅;刘晓佳 -专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善硅基OLED器件金属刻蚀孔洞异常的方法，包括以下步骤：在硅基OLED器件的金属刻蚀层上涂布光刻胶，然后在光掩膜板的遮挡下进行曝光，最后显影形成光刻胶图形；然后进行热处理及紫外光照，最后进行刻蚀；该工艺简单，易于实施的制作方法，该方法在硅基OLED基板涂胶曝光显影后再次对光刻胶进行紫外光照射，形成曝光效果，可以使得光刻胶中的光敏剂分解失去化学活性，从而在干法刻蚀中不会再对等离子体氛围中产生的紫外辐射敏感发生曝光反应
一种改善 oled 器件金属刻蚀孔洞异常方法

[实用新型]等离子体状态时间特性探测设备-CN201620581184.X有效
发明人：徐强;赵永蓬;王骐 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： G01N23/227 文献下载
摘要：等离子体状态时间特性探测设备，涉及毛细管放电Z箍缩获极紫外光的光源技术中等离子体状态时间特性探测技术，目的是为了解决毛细管放电Z箍缩获极紫外光的光源技术中，无法获得等离子体状态的时间演变过程的问题。所述探测设备包括M₀/S_i反射镜、滤光片和X射线二极管；滤光片的透射谱的中心波长为13.5nm；极紫外光入射至M₀/S_i反射镜，并被M₀/S_i反射镜反射，然后经滤光片透射后，入射至X射线二极管的探测面。上述探测设备能够实时获取极紫外光辐射时间特性的探测设备。经过这样一个简易的探测设备，即可将由毛细管输出的极紫外光的时间演变过程观测和记录到，适用于毛细管放电Z箍缩获极紫外光的光源。
等离子体状态时间特性探测设备

[发明专利]一种双重响应型可降解光刻胶及其制备方法和使用方法-CN201610348839.3有效
发明人：魏杰;赵成阳 -专利权人：北京化工大学
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种双重响应型可降解光刻胶及其制备方法和使用方法。本发明以能在不同波长紫外光下发生交联和解交联的分子作为交联剂，通过不同波长紫外光照射来实现光刻胶的交联和解交联；采用可水解的结构作为聚合物骨架，常温下能在pH>7的碱水溶液中发生降解，最终得到溶于水的小分子将交联剂、光引发剂、活性单体和连接分子混合得到光刻胶体系，然后将此光刻胶应用于纳米压印，表现出优异的压印性能和降解性能，很好地解决了光刻胶对模板的损伤问题。此外，它还具有环保的特性，是一种环保型的可降解光刻胶。
一种双重响应降解光刻及其制备方法使用方法

[发明专利]一种极紫外光学基底的清洁处理方法-CN201510962204.8在审
发明人：姚舜;喻波;金春水 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种极紫外光学基底的清洁处理方法，解决现有清洗光学基底的方法均会对其面形造成影响的技术问题。该方法包括以下步骤：第一步：使用有机溶剂对极紫外光学基底进行手工擦拭；第二步：将手工擦拭后的极紫外光学基底进行超声波清洗；第三步：将经过超声波清洗的极紫外光学基底进行慢拉脱水处理；第四步：酒精烘干第三步处理后的极紫外光学基底使用手工擦拭，在超声波功率较小的情况下依然可以做到对极紫外光学基底的有效的清洁作用。使用较小的超声波功率，极大的降低了超声波清洗对基底表面面形等的影响。
一种紫外光学基底清洁处理方法

[发明专利]使遮罩曝光于极紫外光的方法以及极紫外光微影系统-CN202210864126.8在审
发明人：谢劼;陈泰佑;林卓颖;简上傑;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供一种使遮罩曝光于极紫外光的方法以及极紫外光微影系统，微影系统能够阻止诸如锡碎屑的污染物进入扫描器中。根据本揭露内容的各种实施例的微影系统包括一处理器、一极紫外光源、一扫描器及一中空连接部件。光源包括用于产生一液滴的一液滴产生器、用于将极紫外光反射至一中间焦点中的一集光器及用于产生预脉冲光及主脉冲光的一光产生器。液滴回应于液滴由预脉冲光及主脉冲光照明而产生极紫外光。扫描器包括一晶圆载台。中空连接部件安置于极紫外光源与扫描器之间。
使遮罩曝光紫外光方法以及系统

[发明专利]一种可以紫外光验钞的手机-CN200510130073.3无效
发明人：梁尔平;梁媛 -专利权人：梁尔平;梁媛
申请日： 2005-12-14 - 公布日： 2006-05-24 - 主分类号： H04M1/21 文献下载
摘要：本发明属于一种可以紫外光验钞的手机。手机上安装紫外发光二极管及其控制电路。紫外发光二极管在其电路接通时，有电流通过，发出紫外光，进入“验钞”状态；在电路断开时，紫外发光二极管不发光，为“正常”状态。
一种可以紫外光手机

[实用新型]棒状杀菌器及含该杀菌器的饮料瓶-CN201821458292.3有效
发明人：吴琼;李威平 -专利权人：福建兆元光电有限公司
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： A61L2/10 文献下载
摘要：本实用新型提出棒状杀菌器及含该杀菌器的饮料瓶，所述棒状杀菌器包括杆形的紫外线发生器；杆形紫外线发生器的上部固定有可与外部容器开口配合的容器盖；所述杆形紫外线发生器包括直杆、电源部和设于直杆侧壁处的多枚紫外光二极管；所述多枚紫外光二极管沿直杆方向设置且均匀地环绕直杆；所述紫外光二极管为具备紫外线杀菌能力的紫外光二极管；所述饮料瓶的瓶口匹配所述的棒状杀菌器的容器盖，瓶身长度大于容器盖下方的紫外线发生器长度；当容器盖盖于饮料瓶瓶口时形成瓶口处的遮光结构，所述杆形紫外线发生器的紫外光二极管位于瓶内；本实用新型可以对单个饮料瓶进行紫外线杀菌而且防止紫外线外泄。
杀菌器紫外光二极管紫外线发生器容器盖饮料瓶棒状杆形直杆本实用新型紫外线杀菌饮料瓶瓶口紫外线外泄方向设置外部容器遮光结构侧壁处电源部瓶口处瓶口匹配环绕开口配合

[发明专利]用于流体的处理的方法、系统和设备-CN201580049553.9在审
发明人： P·麦诺提 -专利权人：堤丰处理系统有限公司
申请日： 2015-03-04 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： C02F1/32 文献下载
摘要：用于流体的处理的设备(10)包括流体腔室(16)和布置在流体腔室(16)的外围的至少一个紫外光单元(12，13)。所述至少一个紫外光单元(12，13)包括至少一个紫外线发光二极管(13)和紫外光引导元件(12)。所述紫外光引导元件(12)被配置为在使用中对从所述至少一个紫外线发光二极管(13)发射的光的至少一部分进行准直，使得从每个紫外光单元(12，13)发射的紫外光线在第一平面中是平行的。还描述一种用于冷却流体处理系统中的发光二极管的方法。
用于流体处理方法系统设备

[发明专利]一种大面积均匀面电子源-CN201610612228.5有效
发明人：钱芸生;汤狸明;赵慧明;宋诚鑫;张振;张益军 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2016-07-28 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H01J3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积均匀面电子源，它包括紫外光源，光刻钢网，紫外光源外壳，第一金阴极夹具组件，第一MCP夹具组件，第二金阴极夹具组件，金阴极，MCP，第二MCP夹具组件，第三MCP夹具组件，MCP夹具与金阴极夹具连接件本发明的面电子源采用金阴极作为光电转换部件，使用微通道板作为金阴极出射电子的电子倍增部件，使用紫外光源以及光刻钢网的组合为金阴极提供均匀光照，通过调节微通道板的板压来调节输出面电流的电流密度大小。
一种大面积均匀电子

[发明专利]制备有机锡化合物的方法-CN202180047472.0在审
发明人： D·M·埃默特;T·M·卡梅龙;D·凯珀;T·H·鲍姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C07F7/22 文献下载
摘要：所述方法提供呈高纯度结晶形式的有机锡化合物，所述有机锡化合物在例如用于制造某些微电子装置的极紫外光(EUV)光刻技术中特别适于用作沉积高纯度氧化锡薄膜的前体。
制备有机化合物方法

[发明专利]制备有机锡化合物的方法-CN202280015804.1在审
发明人： D·凯珀;D·M·埃默特;T·夸纳 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2022-01-31 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C07F7/22 文献下载
摘要：因此，所述方法的产物尤其适于在例如用于微电子装置制造中的极紫外光(EUV)光刻技术中沉积高纯度氧化锡膜。
制备有机化合物方法

[发明专利]制备有机锡化合物的方法-CN202280014585.5在审
发明人： D·M·埃默特;T·H·鲍姆;T·M·卡梅龙 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C07F7/22 文献下载
摘要：所述方法提供高纯度形式的所述有机锡化合物，所述有机锡化合物尤其适于用作在例如用于制造某些微电子装置的极紫外光(EUV)光刻技术中沉积高纯度氧化锡膜的前体。
制备有机化合物方法

[发明专利]极紫外光与等离子体复合原子尺度加工方法-CN202010804942.0有效
发明人：房丰洲 -专利权人：天津大学
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种极紫外光与等离子体复合原子尺度加工方法，协同使用极紫外光与等离子体处理材料表面，实现材料表面原子尺度的加工。模式1采用极紫外光代替化学吸附进行表面激活，拓宽了材料的普适性并提高了效率；模式2采用极紫外光代替了等离子体轰击进行材料去除，一方面避免了引入杂质元素的可能，另一方面，由于具有相同状态的大量光子能够共存(玻色子)，就可以实现很低的能量分散度(即高单色性)，提高加工的确定性；模式3在经典等离子体ALE的基础上增加了极紫外增强激发环节，使得单独由离子轰击造成的材料去除转变为由极紫外光场与离子轰击共同决定，
紫外光等离子体复合原子尺度加工方法

[发明专利]发光二极管的制造方法-CN201310185651.8有效
发明人：林厚德;张超雄;陈滨全;陈隆欣 -专利权人：展晶科技（深圳）有限公司;荣创能源科技股份有限公司
申请日： 2013-05-20 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明提供一种发光二极管制造方法，包括以下步骤提供一个金属支架，该金属支架上设置有多个第一电极以及与多个第二电极；形成一杯壳包覆在该金属支架上，该杯壳包括多个反射杯，每个第一电极以及与其对应的第二电极的部分暴露在该反射杯的底部；提供一紫外光解胶膜，其设置在该杯壳的远离该反射杯的一侧，该紫外光解胶膜通过照射紫外线方式能失去粘性；提供多个发光二极管晶粒，每个发光二极管晶粒设置在一个反射杯内，并分别和与其对应的第一电极以及第二电极电连接；切割该杯壳，以使该多个发光二极管单元相互分开；照射紫外光，该紫外光解胶膜在紫外光的照射下失去粘性，从而该多个发光二极管单元与该紫外光解胶膜分离，从而形成多个发光二极管。
发光二极管制造方法

[发明专利]一种基于无线紫外光的无人机集群内防碰撞系统及方法-CN202010627480.X在审
发明人：赵太飞;史海泉;崔真;薛蓉莉;蒙春 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G05D1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于无线紫外光的集群无人机防碰撞系统，包括机载信息处理模块和机载紫外光信号收发模块；机载紫外光信号收发模块包括紫外光信号发射机和紫外光电倍增管，紫外光信号发射机包括两种波长的紫外光LED光源和三极管，紫外光LED光源采用三极管来控制，形成预警等级不同的预警区域。利用无人机之间各个方向上重叠的预警区域建立紫外光通信，通过判断无人机之间的优先级，来判断无人机是否实行避让，从而实现集群无人机之间防碰撞。利用无线紫外光检测无人机各个方向上的碰撞信号，并做出防碰撞操作措施，具有全天候工作、全方位工作、保密性强等优点，保证了无人机在集群飞行过程中的飞行安全。
一种基于无线紫外光无人机集群内防碰撞系统方法