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[发明专利]机械卡盘-CN201610223449.3有效
发明人：张璐 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-04-12 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供的机械卡盘，其包括用于承载晶片的基座以及卡环组件，卡环组件包括卡环、绝缘环和遮挡环，其中，卡环用于固定晶片。绝缘环设置在卡环上，用于支撑遮挡环，遮挡环用于遮挡卡环的上表面。本发明提供的机械卡盘，其可以减少在遮挡环上的射频能量损耗，从而不仅可以提高射频效率，避免打火现象，而且还可以减少等离子体对遮挡环的轰击，从而可以降低遮挡环的温度，进而避免卡环因温度过高产生形变。
机械卡盘

[外观设计]机械卡盘-CN201830248060.4有效
发明人：杨继红;刘晓博;董梦丽;崔清波 -专利权人：平顶山冠宏矿山技术装备有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： 08-05 文献下载
摘要：1.外观设计产品的名称：机械卡盘；2.外观设计产品的用途：用于将工件或工具夹紧以便进行加工；3.设计要点：该产品的形状；4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。
机械卡盘外观设计工具夹加工图片

[发明专利]自动卡盘装置、砂轮切割设备及切割方法-CN201910245701.4在审
发明人：周侠飞;李洪波;孟宇;万旭杰 -专利权人：北京百慕合金有限责任公司;中国航发北京航空材料研究院;上海九玛机床有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种自动卡盘装置、砂轮切割设备及切割方法，自动卡盘装置包括：机械卡盘，机械卡盘安装支架，液压马达，升降机构，卡盘钥匙以及升降油缸；机械卡盘安装于机械卡盘安装支架的上方，液压马达，升降机构以及升降油缸安装于卡盘安装支架的下方；液压马达控制卡盘钥匙旋转，升降油缸控制升降机构的升降带动卡盘钥匙升降，通过卡盘钥匙控制机械卡盘锁紧或放松。本发明能够实现自动控制卡盘的锁紧方法，颠覆了现有技术中机械卡盘需要人工锁紧的传统模式，提高了工作效率，保证卡盘的锁紧力。
机械卡盘自动卡盘装置安装支架卡盘钥匙液压马达锁紧砂轮切割升降机构升降油缸卡盘切割升降升降油缸安装自动控制卡传统模式工作效率控制卡盘控制升降锁紧力钥匙放松保证

[实用新型]自动卡盘装置及砂轮切割设备-CN201920409857.7有效
发明人：周侠飞;李洪波;孟宇;万旭杰 -专利权人：北京百慕合金有限责任公司;中国航发北京航空材料研究院;上海九玛机床有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种自动卡盘装置及砂轮切割设备，自动卡盘装置包括：机械卡盘，机械卡盘安装支架，液压马达，升降机构，卡盘钥匙以及升降油缸；机械卡盘安装于机械卡盘安装支架的上方，液压马达，升降机构以及升降油缸安装于卡盘安装支架的下方；液压马达控制卡盘钥匙旋转，升降油缸控制升降机构的升降带动卡盘钥匙升降，通过卡盘钥匙控制机械卡盘锁紧或放松。本实用新型能够实现自动控制卡盘的锁紧方法，颠覆了现有技术中机械卡盘需要人工锁紧的传统模式，提高了工作效率，保证卡盘的锁紧力。
机械卡盘安装支架卡盘钥匙液压马达锁紧自动卡盘装置本实用新型升降机构升降油缸卡盘升降升降油缸安装自动控制卡传统模式工作效率控制卡盘控制升降砂轮切割锁紧力钥匙放松保证

[实用新型]一种用于管材的机械手自动上下料装置-CN202223282308.9有效
发明人：董晗;汪杰;徐诚 -专利权人：武汉华俄激光工程有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于管材的机械手自动上下料装置，包括：机械手组，机械手组包括第一机械手、中间态机械手以及第二机械手；中间态机械手位于第一机械手与第二机械手的中间区域；切管机构，机械手组与切管机构滑动连接；切管机构包括基台、第一卡盘、第二卡盘、第三卡盘、直线齿条以及直线导轨；第二卡盘位于所述基台的中间区域；第一卡盘与第三卡盘位于第二卡盘的两侧；直线导轨有多个；直线导轨与基台的一侧端固定连接以使机械手机构与基台滑动连接；直线导轨与基台的上端固定连接使第一卡盘、第二卡盘以及第三卡盘与基台滑动连接。该用于管材的机械手自动上下料装置结构更加紧凑，工作效率高，使得管材上下料的自动化程度提高。
一种用于管材机械手自动上下装置

[发明专利]机械卡盘及刻蚀机-CN201010284754.6有效
发明人：何桢 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2010-09-15 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种机械卡盘和使用该机械卡盘的刻蚀机，其中，所述机械卡盘包括托盘和卡盘，该托盘和卡盘之间设置有流体腔，且该机械卡盘还包括用于阻止调温流体径直流出所述流体腔的控流结构；所述控流结构环绕所述托盘和所述卡盘的圆周而设置，并分别与所述托盘和所述卡盘连接。本实施例中，通过在机械卡盘中所设置的用于阻止调温流体径直流出所述流体腔的控流结构，使得调温流体能与放置于托盘上的晶片背面充分接触，以提高热交换的效率和速度，而且减少了氦气从流体腔中流进工艺腔室的流出量，有利于提高机械卡盘所在的工艺腔室的纯净度。
机械卡盘刻蚀

[发明专利]车床卡盘扳手安全机械装置-CN201910165938.1在审
发明人：潘珍珠;黄龙辉;江鹏晖;谢秀铅 -专利权人：泉州台商投资区大千机械科技有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： B23Q5/58 文献下载
摘要：本发明公开了车床卡盘扳手安全机械装置，其结构包括卡盘爪、卡盘体、安全装置、法兰盘、锥柄，卡盘爪安装在卡盘体上并与卡盘体机械配合，卡盘体侧面设有安全装置，安全装置与卡盘爪机械配合，锥柄通过法兰盘与卡盘体机械连接，安全装置与法兰盘相连接，本发明的有益效果：利用卡盘扳手从卡盘扳手插入口插入的推力，推动推板运动将气囊挤压，气囊内的气体进入到密封腔中，从而推动支撑杆向上运动，达到将卡盘体与法兰盘分离的目的，通过旋转可以使得卡盘扳手卡在固定卡板上，从而增加了卡盘扳手与卡盘体之间的稳固性，避免卡盘体与法兰盘没有分离的情况下，又未能及时将卡盘扳手取出便启动设备使得会被甩出造成事故的现象。
卡盘体卡盘扳手法兰盘安全装置卡盘爪车床卡盘机械配合机械装置扳手气囊锥柄固定卡板机械连接启动设备向上运动插入口密封腔稳固性支撑杆甩出推板挤压取出安全侧面

[发明专利]一种等离子刻蚀机-CN201810468355.1有效
发明人：汪玉洁;张云鹤 -专利权人：安徽晟源环保新型材料有限公司
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片制造技术领域，具体的说是一种等离子刻蚀机，包括箱体、偏压装置、机械卡盘、抽吸泵、激励线圈、驱动电机、连杆和调节装置；驱动电机转轴通过万向轴连接着机械卡盘，机械卡盘用于固定晶圆；连杆一端铰接在机械卡盘外圈；连杆另一端通过滚珠滑动安装在箱体内壁的凸轮槽内，激励线圈用于将刻蚀气体激发成等离子体；偏压装置用于对机械卡盘中的晶圆施加偏压；调节装置用于向箱体内注入刻蚀气体，抽吸管设在箱体底部，抽吸管用于抽离刻蚀反应产物通过驱动电机控制机械卡盘转动，通过机械卡盘外圈设置连杆，连杆在凸轮槽内滑动，使得机械卡盘中的晶圆摆动，便于刻蚀反应产物的排离。
一种等离子刻蚀

[发明专利]一种光掩模在清洗过程中的传输方法-CN201010300502.8有效
发明人：徐飞;金海涛;吉保国 -专利权人：常州瑞择微电子科技有限公司
申请日： 2010-01-20 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光掩模在清洗过程中的传输方法，首先将光掩模放置于卡盘上，然后机械手抓住卡盘，并将其移动至翻转装置上，翻转装置将卡盘上的光掩模翻转，然后机械手再次抓住卡盘，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗，清洗完成后机械手抓住卡盘底部的把手，并将其送回翻转装置上，翻转装置再次将卡盘上的光掩模翻转，最后机械手抓住卡盘，并将其送回初始位置。本发明为光掩模提供了一个随行的卡盘，在移动光掩模的过程中，机械手只接触卡盘而并不与光掩模直接接触，这种方法解决了现有技术中机械手容易污染、损坏光掩模的缺点。
一种光掩模清洗过程中的传输方法

[实用新型]一种带卡盘的机械手取出治具-CN201320178294.8有效
发明人：刘絮;刘恒嘉;刘振亮 -专利权人：惠州东风易进工业有限公司
申请日： 2013-04-11 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： B29C33/30 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种带卡盘的机械手取出治具，包括用于安装机械手臂的治具本体，所述机械手臂固定安装在治具本体上，所述治具本体与所述机械手臂间设有卡盘，所述卡盘包括卡盘背板及卡盘面板，所述卡盘背板通过螺钉锁付在治具本体上，所述机械手臂通过螺钉锁付在卡盘面板上，所述卡盘背板上设有多个旋槽，所述卡盘面板设有与所述旋槽相配合的多个旋扣，所述旋槽为弧状，所述多个旋槽呈比例分布在所述卡盘背板上，所述旋扣为弧状，所述多个旋扣呈比例分布在所述卡盘面板上，所述旋槽及所述旋扣分别在所述卡盘背板及所述卡盘面板上形成开放式圆弧，本实用新型减少了换模时间，结构简单，易于维护。
一种卡盘机械手取出

[发明专利]一种工艺腔室及半导体处理设备-CN202310118681.0在审
发明人：郭士选;王炳元;苏恒毅;李一曼 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺腔室及半导体处理设备，工艺腔室包括腔室本体，以及设置于腔室本体内的承载组件和隔离组件；承载组件包括基盘以及真空机械卡盘，真空机械卡盘叠设于基盘的底面，真空机械卡盘通过真空吸附将晶圆吸附固定于基盘的上方；隔离组件套设在承载组件的外侧，用于将承载组件与隔离组件的外侧环境进行绝缘隔离，隔离组件包括上隔离环，上隔离环套设在基盘和真空机械卡盘的外侧，并且上隔离环的底面低于真空机械卡盘的顶面，本申请上隔离环从侧面对真空机械卡盘进行了隔离，从而可以避免真空机械卡盘的顶角与外界环境直接正对，降低了真空机械卡盘的顶角发生放电的风险，从而可以提高晶圆边缘刻蚀的良率。
一种工艺半导体处理设备

[发明专利]一种半导体芯片生产工艺-CN201810466977.0有效
发明人：汪玉洁;张云鹤 -专利权人：深圳市闪德半导体有限公司
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片制造技术领域，具体的说是一种半导体芯片生产工艺，该工艺采用刻蚀机，刻蚀机包括箱体、偏压装置、机械卡盘、抽吸泵、激励线圈、驱动电机、连杆和调节装置；驱动电机转轴通过万向轴连接着机械卡盘，机械卡盘用于固定晶圆；连杆一端铰接在机械卡盘外圈；连杆另一端通过滚珠滑动安装在箱体内壁的凸轮槽内，激励线圈用于将刻蚀气体激发成等离子体；偏压装置用于对机械卡盘中的晶圆施加偏压；调节装置用于向箱体内注入刻蚀气体通过驱动电机控制机械卡盘转动，通过机械卡盘外圈设置连杆，连杆在凸轮槽内滑动，使得机械卡盘中的晶圆摆动，便于刻蚀反应产物的排离。
机械卡盘驱动电机晶圆半导体芯片调节装置激励线圈刻蚀气体偏压装置刻蚀机凸轮槽刻蚀生产工艺等离子体半导体芯片制造滑动安装箱体内壁抽吸泵抽吸管万向轴摆动滑动抽离抽吸滚珠铰接转轴转动施加激发

[发明专利]卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备-CN202111052071.2有效
发明人：王念;吴星鑫 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B24B27/033 文献下载
摘要：本发明提供了一种卡盘清洁装置、卡盘承载面检测方法及键合设备，所述卡盘清洁装置包括：机械臂；研磨盘，设置于所述机械臂，所述研磨盘用于研磨一卡盘的承载面；吸附部件，设置于所述机械臂，所述吸附部件用于吸附所述卡盘上的颗粒；驱动部件，用于驱动所述机械臂运动，以将所述研磨盘和所述吸附部件移动至所述卡盘的待清洁位置。
卡盘清洁装置承载检测方法设备

[实用新型]一种机械卡盘-CN201821069850.7有效
发明人：张健敏 -专利权人：济南鼎点数控设备有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： B23B31/103 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种机械卡盘，尤其是一种四爪机械卡盘，属于机械技术领域。所述机械卡盘，包括机械卡盘基座、轴承盖和主轴盘，所述卡盘基座上设置大通孔，所述大通孔内部设置轴承，轴承的轴线与大通孔轴线重合，所述轴承两端分别通过轴承盖、主轴盘固定在所述卡盘基座上，轴承盖和主轴盘的尺寸大于大通孔尺寸，所述主轴盘的右侧依次设置第一驱动盘、第二驱动盘和卡盘主体，卡盘主体上设置第一滑块、第二滑块、第三滑块和第四滑块，所述滑块分别与第一卡爪、第二卡爪、第三卡爪和第四卡爪连接。该机械卡盘能够实现自动定心功能，使用简单操作易行、固件互换性高，装拆方便，使用寿命长，并且能够实现方材、矩形材料、圆形材料的装夹固定。
机械卡盘大通孔主轴盘卡爪轴承盖滑块轴承卡盘基座卡盘主体机械技术领域本实用新型第二驱动盘第一驱动盘第二滑块第一滑块矩形材料内部设置使用寿命依次设置圆形材料轴线重合装拆方便互换性方材四爪装夹

[发明专利]气动卡盘-CN202080058861.9在审
发明人：神田浩一郎;原耕二;佐佐木刚 -专利权人： SMC株式会社
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：一种气动卡盘，其防止在将具有一对机械手的卡盘部从操作部卸下了时上述机械手自由地位移。气动卡盘(1)具备卡盘部(2)、操作部(3)、连结机构(6)和锁定机构(7)，该卡盘部(2)具有开闭自由的一对机械手(4a、4b)；该操作部(3)具有开闭操作上述一对机械手的操作机构(5)；该连结机构(6)用于将上述卡盘部(2)装拆自由地安装在上述操作部(3)；该锁定机构(7)在将上述卡盘部(2)安装在上述操作部(3)时使上述一对机械手(4a、4b)开闭自由，在将上述卡盘部(2)从上述操作部(3)卸下了时将上述一对机械手
气动卡盘

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