专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基材支撑-CN03804395.5有效
  • 栗田·新一;温道尔·T·布洛尼根;苏海勒·安瓦尔;清武·俊男;阮·亨·T - 应用材料股份有限公司
  • 2003-02-18 - 2005-07-13 - H01L21/00
  • 本发明大致提供一种用以支撑基材的方法和设备。在一种情况下,一种用以支撑基材的设备包括一支撑板,具有一第一主体安排成接近该支撑板。一第一推挤件径向地连接至第一主体并用来当第一主体旋转时,在平行于该支撑板的第一方向挤压基材。在另一种情况下,一具有一基材支撑件的真空隔绝室包含有一冷却板,其被移动以作动至少一个对准机构,该基材支撑支撑放在其上面的基材。对准机构包含一推挤件,该推挤件将基材在第一方向朝该支撑件的中心推挤。
  • 基材支撑
  • [发明专利]一种薄膜的制备设备及方法-CN201310300761.4有效
  • 林朝晖;李雪松 - 福建省辉锐材料科技有限公司
  • 2013-07-17 - 2018-02-02 - C23C16/458
  • 本发明涉及一种制备薄膜的方法,所述的方法包括如下步骤提供一基材支撑组件,所述的基材支撑组件包括至少两个基材支撑固定装置,每一基材支撑固定装置包括一基座及从基座上延伸出至少一伸出部,所述伸出部的末端为端部,所述端部用于支撑基材;将一基材放置在所述至少两个基材支撑固定装置之间,所述的基材用于沉积薄膜;将所述至少两个基材支撑固定装置沿设有伸出部的面相嵌合,从而使基材绕所述端部弯曲;将所述的基材支撑组件放入一反应器的反应腔室中;在所述的基材表面生成薄膜;及从所述的基材支撑组件上拆卸下基材
  • 一种薄膜制备设备方法
  • [发明专利]热丝化学气相沉积装置-CN201980057869.0在审
  • 高桥哲也;广田悟史;R·克莱默 - 株式会社神户制钢所
  • 2019-08-19 - 2021-04-13 - C23C16/44
  • 本发明提供一种能够将多个基材容易地配置在腔室内的热丝化学气相沉积装置。热丝化学气相沉积装置(1)具有腔室(2)、多个丝、分别支撑多个基材(5)的多个基材支撑体(4)以及载物台(31)。多个基材支撑体(4)能够通过开口部(2H)沿指定的插入方向插入于腔室(2)的内部,并以使多个基材(5)沿所述插入方向隔开间隔被配置的方式分别支撑多个基材(5)。载物台(31)具有以使多个基材(5)与多个丝相向被配置的方式容许多个基材支撑体(4)被载置的载置面,在腔室(2)的内部以使多个基材支撑体(4)在腔室宽度方向上邻接被配置的方式支撑多个基材支撑体(4)。
  • 化学沉积装置
  • [发明专利]一种薄膜式压力传感器及电子设备-CN202011467401.X在审
  • 杨坤;汪晓阳 - 钛深科技(深圳)有限公司
  • 2020-12-14 - 2022-01-25 - G01L1/04
  • 本发明涉及压力传感器的技术领域,提供了一种薄膜式压力传感器及电子设备,其中薄膜式压力传感器包括:力传导结构,具有预设弹性;按压基材,为柔性体,所述按压基材设于所述力传导结构的下表面;支撑基材,与按压基材层叠设置,且设有用于电连接的基材导线,支撑基材的机械强度比按压基材的机械强度高;传感材料,设于按压基材支撑基材之间;传感电极,设于按压基材支撑基材之间,且与传感材料相对设置,传感电极电连接基材导线;传感材料和传感电极的二者之一设于按压基材的下表面,传感材料和传感电极的二者之另一设于支撑基材的上表面;电子设备包括薄膜式压力传感器;上述方案方便组装,成本便宜,节省空间,尺寸可以做到更小。
  • 一种薄膜压力传感器电子设备

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