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[实用新型]舟托结构及半导体加工设备-CN202320811973.8有效
发明人：龙占勇;李东林;周亮;林佳继 -专利权人：拉普拉斯（广州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟托结构及半导体加工设备，舟托结构用于支撑舟结构，舟托结构具有定位槽，定位槽用于与舟结构的支撑柱配合，且定位槽的底壁与舟结构的支撑柱的接触形式为线接触。在实际工作过程中，将舟结构放置在舟托结构上时，支撑柱配合在定位槽内，定位槽能够限制支撑柱沿舟托结构的长度方向的运动，且由于定位槽的底壁与支撑柱的接触形式为线接触，增加接触压强，使得舟结构更为牢固的放置在舟托结构上
结构半导体加工设备

[发明专利]一种PECVD石墨舟存储与下料方法-CN202210286205.5有效
发明人：杨飞飞;张波;张云鹏;申开愉;李雪方;吕涛 -专利权人：山西潞安太阳能科技有限责任公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法，石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时，冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间；将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0，1有，0无；根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。
一种 pecvd 石墨存储方法

[发明专利]高效石墨舟-CN201210217097.2无效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并根据需要做出多种组合，从而大大提高生产效率。
高效石墨

[实用新型]高效石墨舟-CN201220306879.9有效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并根据需要做出多种组合，从而大大提高生产效率。
高效石墨

[实用新型]扩散石英舟的改进装置-CN201220135168.X有效
发明人：韩波;丁巍;高常辉;袁前程 -专利权人：宁波升科太阳能股份有限公司
申请日： 2012-04-01 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散石英舟的改进装置，包括石英舟本体和舟叉，所述石英舟本体两侧设有与舟叉相配合的叉把，所述舟叉上设有螺母，其特征是所述螺母前端设有垫片。本实用新型得到的扩散石英舟的改进装置，通过上述的结构设计，来阻止石英舟与舟叉的碰撞，避免了石英舟的损坏而使得扩散硅片的掉落，提高了生产的安全性，降低了生产成本，让使用更加安全。
扩散石英改进装置

[实用新型]一种管式炉的样品放置装置-CN202023230689.7有效
发明人：朱永福;沈涛;史惠妍;刘国军;马威;金波;蒋青 -专利权人：吉林大学;铜陵富翔铜再生循环利用有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式炉的样品放置装置，包括弧形舟和长方形舟，所述弧形舟的弧形腔体内设有至少一个凹槽，所述凹槽与长方形舟相适配。本结构的样品放置装置，解决将样品送到加热区过程中，石英舟或瓷舟易被卡且易倾斜的问题；且使石英舟或瓷舟在加热过程中免受石英管内壁的挤压；同时排除各装置间因热胀冷缩差异导致的石英舟或瓷舟、石英管炸裂的风险。
一种管式炉样品放置装置

[实用新型]易插型石墨舟-CN201220306929.3有效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种易插型石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟片上设有切口。在舟片的两端间隔设置楔形切口，为插、取硅片提供了方便，避免了破损，从而大大提高了硅片镀膜生产效率。
易插型石墨

[实用新型]舟载体结构及舟载体搬运装置-CN202223278506.8有效
发明人：朱太荣;肖阳;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟载体结构及舟载体搬运装置，该舟载体结构包括舟载体本体和遮光件，舟载体本体用于放置舟体，遮光件成对设置，成对设置的两个遮光件分别位于舟载体本体的相对设置的两个侧壁上。该舟载体结构能够较好的反射光感应器的发射端发出的光线，方便光感应器的接收端接收光线，以方便舟载体结构的精确定位。
载体结构搬运装置

[实用新型]水平单晶生长用长方形舟-CN200920350610.9无效
发明人：武壮文;于洪国;赵静敏;时彬;张桂艳;朱苗苗 -专利权人：北京有色金属研究总院;国瑞电子材料有限责任公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：一种水平单晶生长用长方形舟属于生长单晶用设备领域。该舟分为舟中间的主体部分，两边分为舟头、舟尾，其中，所述舟的主体部分的横截面为矩形，代替了以往的半圆形和异形。采用本实用新型所述的长方形舟生长出的水平单晶为方形片，可以省掉由原半圆舟和异形舟生长出的单晶片必须的割圆工序，在器件划片时有效的减少了损失。
水平生长长方形

[实用新型]硅舟-CN201320082841.2有效
发明人：张朝坤 -专利权人：深圳深爱半导体股份有限公司
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅舟，所述硅舟包括舟体，所述舟体的上沿设有容纳热偶的凹槽。该硅舟在舟体的上沿设置容纳热偶的凹槽，这样当使用该硅舟时，凹槽内可以设置热偶，硅舟被放入扩散炉内时就可以实时监控扩散炉内的温度，从而提高硅片的加工质量。
硅舟

[实用新型]用于钕铁硼磁体的生坯料舟-CN201720327836.1有效
发明人：孙海涛;张英伟 -专利权人：北京京磁电工科技有限公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： H01F41/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于钕铁硼磁体的生坯料舟，包括料舟本体，其上部开口；夹板，其与所述料舟本体内径相配合，并活动连接于所述料舟本体的内壁；盖体，其活动连接于所述料舟本体，以将所述料舟本体的开口覆盖。其能够显著提高料舟的空间利用率，且料舟的通用性强。
用于钕铁硼磁体生坯

[发明专利]石墨舟的装配方法-CN200910051153.8有效
发明人：张孟彤 -专利权人：张孟彤
申请日： 2009-05-14 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨舟的装配方法，包括以下步骤：(1)石墨舟片和石墨销钉的选材：(2)石墨舟的加热和保温：(3)石墨舟的装配：(4)石墨舟的冷却。该方法操作简单，效率高，而且不会导致石墨舟出现碎裂，极大节约了石墨舟的制备成本。
石墨装配方法

[实用新型]碳化硅舟的保护装置-CN201420044153.1有效
发明人：彭充 -专利权人：深圳深爱半导体股份有限公司
申请日： 2014-01-23 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种碳化硅舟的保护装置，包括舟托和舟托支撑件；舟托包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板；第一侧板、第二侧板和第三侧板设置在底板的第一侧面上，并与底板围合形成具有第一舟托开口端的碳化硅舟收容腔，碳化硅舟可活动地收容于碳化硅舟收容腔中；舟托支撑件包括支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁；第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁设置在支撑板的第一表面上，并与支撑板围合形成具有第一开口端的舟托收容腔；舟托可活动地收容于舟托收容腔中上述碳化硅舟的保护装置，舟托和舟托支撑件配套使用，双重保护了碳化硅舟。
碳化硅保护装置

[实用新型]一种石墨舟装卸片机用石墨舟-CN201721674464.6有效
发明人：徐雷达 -专利权人：无锡创生源自动化设备有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟装卸片机用石墨舟，涉及石墨舟领域。本实用新型的石墨舟包括第一石墨舟片及第二石墨舟片，平行设于第一石墨舟片与第二石墨舟片间的若干个内石墨舟片，所述第一石墨舟片与第二石墨舟片的两端外侧设有上隔块，上隔块的下侧设有下隔块，上隔块与下隔块上分别设有上电极块和下电极块，所述各舟片上设有用于装载硅片的若干个凹槽；所述上隔块的上端设有若干个鼓风机；所述第一石墨舟片与第二石墨舟片下端所围成的空间套设有一层碎片收集袋。该石墨舟结构设计合理，及时吹扫和清除了硅片粉末杂质，提高了硅片镀膜的生产效率和石墨舟装卸机的工作效率。
石墨舟片石墨舟隔块本实用新型硅片片机装卸鼓风机粉末杂质工作效率硅片镀膜生产效率碎片收集下电极块电极块装卸机上端吹扫下端舟片平行装载

[发明专利]一种液压驱动可折叠带防浪板舟艏-CN202211673552.X在审
发明人：徐磊;孙永岗;沈冬祥;姜鹏宇;邴浩千;李珊珊;赵林鑫 -专利权人：中国人民解放军63983部队
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B63B1/06 文献下载
摘要：本发明涉及渡河工程装备技术领域，具体涉及一种液压驱动可折叠带防浪板舟艏，主要由舟体、折叠舟艏、挡浪板、折叠舟艏翻转机构和挡浪板翻转机构组成；舟体甲板上分别安装有用于固定折叠舟艏的甲板扣环、连接折叠舟艏的连舟双耳板和连接挡浪板翻转机构的连杆耳板，舟体侧壁端面上分别安装有连接折叠舟艏翻转机构的油缸销轴座、支撑杆销轴座和舟艏挂钩；折叠舟艏上分别安装有连舟单耳板、连接挡浪板的挡浪板耳板、连接挡浪板翻转机构的连架杆销轴座、连接折叠舟艏翻转机构的提升杆销轴座折叠舟艏和挡浪板通过连杆机构即可实现同步运动，大大简化了作业流程，而且结构简单可靠。
一种液压驱动可折叠带防浪板舟艏