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[发明专利]处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法-CN201810095001.7有效
发明人：谷泽成规;新庄淳一;山本哲也 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法。处理液供给装置向多个处理部供给处理液。处理液供给装置包括：处理液供给源，供给进行了加热或者冷却的处理液；多个循环配管，多个所述循环配管分别与多个所述处理部对应地设置，分别使所述处理液供给源所供给的处理液循环；供给配管，与各所述循环配管分支连接，向对应的所述处理部供给处理液；流量调整阀，安装于各所述循环配管，调整该循环配管内的处理液的流量；以及，温度检测单元，安装于各所述循环配管，检测在该循环配管内流动的处理液的温度。
处理供给装置以及方法

[发明专利]液体处理装置和液体处理方法-CN201511001407.7有效
发明人：吉原孝介;一野克宪;古庄智伸;佐佐卓志;土屋胜裕;寺下裕一;竹口博史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： B01D19/00 文献下载
摘要：本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
液体处理装置方法

[发明专利]液体处理装置和液体处理方法-CN201380011195.3有效
发明人：吉原孝介;一野克宪;古庄智伸;佐佐卓志;土屋胜裕;寺下裕一;竹口博史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供与对被处理基板供给处理液的处理液供给喷嘴连接的液体处理装置，其包括：将处理液存储容器和该处理液供给喷嘴连接的供给管路；设置于供给管路的过滤器装置；过滤器装置的二次侧的泵；将泵的排出侧和过滤器装置的吸入侧连接的循环管路；在泵的二次侧的供给管路设置的供给控制阀；在循环管路设置的循环控制阀；和控制泵、供给控制阀和循环控制阀的控制装置，利用控制装置，使得通过关闭供给控制阀使从该处理液供给喷嘴向被处理基板的处理液的供给停止时，打开循环控制阀，驱动泵，使处理液在具有过滤器装置的供给管路与循环管路之间循环。
液体处理装置方法

[实用新型]机油供给循环装置-CN201220151872.4有效
发明人：龚婉蓉 -专利权人：龚婉蓉
申请日： 2012-04-11 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： F16N13/16 文献下载
摘要：本实用新型为一种机油供给循环装置，其包含一缸体、一支撑座及一活塞杆，该缸体的两端分别结合第一与第二端盖，第一端盖上设有第一气孔，第二端盖上设有可连接至一储油筒的进油孔及可连接至一转动设备的排油孔，支撑座设在该缸体的两端之间且支撑座上设有第二气孔，该活塞杆的两端分别安装第一活塞与第二活塞，自该第一气孔与该第二气孔轮流送入气体至该缸体内以交替地对该第一活塞施压，使得该储油筒内的机油可自动补充至该转动设备内，且该转动设备内的机油会回流至该储油筒内循环
机油供给循环装置

[外观设计]氢气供给循环装置-CN201930555966.5有效
发明人：夏萍;陆路明 -专利权人：鸾鸟电气（上海）有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：氢气供给循环装置。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于燃料电池中氢气供给的循环和净化。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
氢气供给循环装置

[外观设计]循环装置（泵油供给）-CN202130294658.9有效
发明人：侯明君 -专利权人：福建省大立通用机电制造有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： 15-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：循环装置（泵油供给）。2.本外观设计产品的用途：用于发动机泵油供给循环用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
循环装置供给

[发明专利]处理液供给装置、基板处理装置以及处理液供给方法-CN201780080296.4有效
发明人：太田乔 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：处理液供给装置对处理基板的处理单元供给处理液。处理液供给装置包含：贮存槽，贮存处理液；循环流路，使所述贮存槽内的处理液循环；供给流路，自所述循环流路对所述处理单元供给处理液；返回流路，使已供给至所述处理单元的处理液返回至所述循环流路；以及温度调节单元，对在所述循环流路循环的处理液的温度进行调节。
处理供给装置以及方法

[发明专利]一种墨盒的清洗供排控制系统-CN201910254798.5在审
发明人：赵晨海 -专利权人：北海绩迅电子科技有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本发明提供了一种墨盒的清洗供排控制系统，包括：进料装置、循环水供给装置、清洗装置和控制装置；控制装置，与进料装置、循环水供给装置和清洗装置连接，用于下达指令至进料装置、循环水供给装置和清洗装置；进料装置，与清洗装置连接，用于向控制装置传输待清洗的墨盒；循环水供给装置通过管道与清洗装置连通，使得循环水供给装置与清洗装置形成水流循环回路；循环水供给装置，用于根据控制装置下发的供水控制指令提供清洗剂；清洗装置，用于根据控制装置下发的清洗控制指令，通过清洗剂清洗墨盒。本发明对水资源进行循环利用，提升水资源的循环使用率，降低墨盒清洗成本，增加墨盒清洗自动化程度，降低工作量，大大降低墨盒再生的生产成本。
清洗装置循环水供给控制装置墨盒进料装置清洗清洗剂控制系统墨盒清洗指令循环使用率水资源供水控制墨盒再生清洗控制水流循环循环利用指令提供生产成本工作量连通自动化传输

[实用新型]一种墨盒的清洗供排控制系统-CN201920422924.9有效
发明人：赵晨海 -专利权人：北海绩迅电子科技有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种墨盒的清洗供排控制系统，包括：进料装置、循环水供给装置、清洗装置和控制装置；控制装置，与进料装置、循环水供给装置和清洗装置连接，用于下达指令至进料装置、循环水供给装置和清洗装置；进料装置，与清洗装置连接，用于向控制装置传输待清洗的墨盒；循环水供给装置通过管道与清洗装置连通，使得循环水供给装置与清洗装置形成水流循环回路；循环水供给装置，用于根据控制装置下发的供水控制指令提供清洗剂；清洗装置，用于根据控制装置下发的清洗控制指令，通过清洗剂清洗墨盒。本实用新型对水资源进行循环利用，提升水资源的循环使用率，增加墨盒清洗自动化程度，降低工作量，大大降低墨盒再生的生产成本。
清洗装置循环水供给控制装置进料装置墨盒清洗剂清洗本实用新型指令循环使用率水资源供水控制控制系统墨盒清洗墨盒再生清洗控制水流循环循环利用指令提供生产成本工作量连通自动化传输

[发明专利]带安全机构的冷却液供给装置以及热载荷的冷却方法-CN201610082967.8在审
发明人：清水史彰;森田英夫;佐藤克俊 -专利权人： SMC株式会社
申请日： 2016-02-06 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： F28F27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却液供给装置，即使在热载荷工作时冷却液供给停止的情况下也能对其继续冷却。经由旁通管(42、43)连接连结冷却液供给装置(1)与热载荷(100)的冷却液循环路(54)和连结冷却液供给装置(1)与散热液供给装置(110)的散热液循环路(55)，当从冷却液供给装置(1)向热载荷(100)供给冷却液时，用过热防止阀(45、47)关闭旁通管(42、43)，切断冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，当冷却液未从冷却液供给装置(1)供给至热载荷(100)时，用过热防止阀(45、47)打开旁通管(42、43)而相互连接冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，由此将来自散热液供给装置(110)的散热液供给向热载荷(100)。
安全机构冷却液供给装置以及载荷冷却方法

[发明专利]带安全机构的冷却液供给装置以及热载荷的冷却方法-CN202211636521.7在审
发明人：清水史彰;森田英夫;佐藤克俊 -专利权人： SMC株式会社
申请日： 2016-02-06 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： F28F27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种冷却液供给装置，即使在热载荷工作时冷却液供给停止的情况下也能对其继续冷却。经由旁通管(42、43)连接连结冷却液供给装置(1)与热载荷(100)的冷却液循环路(54)和连结冷却液供给装置(1)与散热液供给装置(110)的散热液循环路(55)，当从冷却液供给装置(1)向热载荷(100)供给冷却液时，用过热防止阀(45、47)关闭旁通管(42、43)，切断冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，当冷却液未从冷却液供给装置(1)供给至热载荷(100)时，用过热防止阀(45、47)打开旁通管(42、43)而相互连接冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，由此将来自散热液供给装置(110)的散热液供给向热载荷(100)。
安全机构冷却液供给装置以及载荷冷却方法

[发明专利]一种清洗墨盒的供排控制系统-CN201910254793.2在审
发明人：赵晨海 -专利权人：北海绩迅电子科技有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本发明提供了一种清洗墨盒的供排控制系统，其系统包括：循环水供给装置、清洗装置和控制装置；所述控制装置，与所述循环水供给装置和所述清洗装置连接，用于下达指令至所述循环水供给装置和所述清洗装置；所述循环水供给装置通过管道与所述清洗装置连通，使得所述循环水供给装置与所述清洗装置形成水流循环回路；所述循环水供给装置，用于根据所述控制装置下发的供水控制指令提供清洗液；所述清洗装置，用于根据所述控制装置下发的清洗控制指令，通过所述清洗液清洗墨盒本发明对水资源进行循环利用，提升水资源的循环使用率，降低墨盒清洗成本，从而降低墨盒再生的生产成本。
循环水供给清洗装置控制装置墨盒清洗控制系统清洗液指令循环使用率水资源供水控制墨盒清洗墨盒再生清洗控制水流循环循环利用指令提供生产成本连通

[实用新型]一种清洗墨盒的供排控制系统-CN201920422925.3有效
发明人：赵晨海 -专利权人：北海绩迅电子科技有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种清洗墨盒的供排控制系统，其系统包括：循环水供给装置、清洗装置和控制装置；所述控制装置，与所述循环水供给装置和所述清洗装置连接，用于下达指令至所述循环水供给装置和所述清洗装置；所述循环水供给装置通过管道与所述清洗装置连通，使得所述循环水供给装置与所述清洗装置形成水流循环回路；所述循环水供给装置，用于根据所述控制装置下发的供水控制指令提供清洗液；所述清洗装置，用于根据所述控制装置下发的清洗控制指令，通过所述清洗液清洗墨盒本实用新型对水资源进行循环利用，提升水资源的循环使用率，降低墨盒清洗成本，从而降低墨盒再生的生产成本。
循环水供给清洗装置控制装置墨盒本实用新型清洗液清洗指令循环使用率水资源供水控制控制系统墨盒清洗墨盒再生清洗控制水流循环循环利用指令提供生产成本连通

[发明专利]供给控制装置和供给控制方法-CN201810463671.X有效
发明人：大渡宽 -专利权人：发那科株式会社
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B25J13/08 文献下载
摘要：本发明提供一种通过控制循环速度来向机器人持续地供给物品的供给控制装置和供给控制方法。所述供给控制装置(100)控制具有循环装置(30)和机器人(10)的系统的所述循环装置，所述循环装置使物品(40)循环，所述机器人取出正在所述循环装置中循环的所述物品，所述供给控制装置具备：检测部(101)，其检测在所述循环装置中循环的所述物品和物品的位置；测量部(102)，其基于所述检测部的检测结果来测量所述循环装置的规定区域中的所述物品的数量；以及控制部(103)，其根据所述测量部测量出的所述规定区域中的物品的数量，来控制所述循环装置中的循环的速度。
循环装置供给控制装置测量机器人供给控制检测供给物品检测结果控制循环取出

[发明专利]用于检验供给装置与治疗设备的正确耦合的方法和装置-CN200880017513.6有效
发明人：托马斯·尼恩贝格尔;马尔科·布拉泽克;彼得·克勒费尔 -专利权人：弗雷森纽斯医疗护理德国有限责任公司
申请日： 2008-05-13 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： A61M1/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于检验供给装置与治疗设备的正确耦合的方法，其中该治疗设备具有体外循环，供给装置与体外循环相连，使得借助供给装置能够将药物引入体外循环中，其中供给装置在设置于体外循环的泵的抽吸侧耦合在体外血液循环上，其中将体外循环的一部分结合供给装置的一部分相对于体外循环的另外的部分封闭，并且改变和测量在该封闭的部分中的压力。
用于检验供给装置治疗设备正确耦合方法

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