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- [实用新型]一种非对称流量匹配式平衡锁紧系统-CN201920340080.3有效
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王林翔;魏双丰
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杭州诺祥科技有限公司
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2019-03-18
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2020-02-28
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F15B13/01
- 本实用新型公开了一种非对称流量匹配式平衡锁紧系统,包括流量匹配式平衡锁紧阀和油缸;平衡锁紧阀由阀体、阀芯、球阀芯和弹簧组成;平衡锁紧阀成对使用,分为左平衡锁紧阀和右平衡锁紧阀;左右平衡锁紧阀结构相同,节流槽数量不同,但相互对称;左平衡锁紧阀顶部出油口连通油缸无杆腔;右平衡锁紧阀顶部出油口连通油缸有杆腔;左、右平衡锁紧阀的底部油口接系统压力油口;左平衡锁紧阀的上部油道连通右平衡锁紧阀的下部油道;左平衡锁紧阀的下部油道连通右平衡锁紧阀的上部油道;左、右平衡锁紧阀的中部油道连通油箱。本实用新型的平衡阀和平衡系统,结构简单,可靠性好,可满足多种工况,并能有效保证非对称缸液压系统的平衡性和系统安全性。
- 一种对称流量匹配平衡系统
- [发明专利]一种滑阀式单向液压平衡锁紧系统-CN201710023562.1在审
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王林飞;王林翔
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上海卡威机械技术有限公司
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2017-01-07
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2017-07-21
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F15B13/02
- 本发明公开了一种滑阀式单向液压平衡锁紧系统,及基于这种平衡锁紧阀的,适用于具有负负载情况的单作用液压缸的液压平衡系统,旨在解决液压控制系统中可能出现的负负载情况对液压系统的影响。它包括一种专门设计的滑阀阀芯式的平衡锁紧阀,平衡锁紧阀由阀体,滑阀阀芯,球阀阀芯,油道等组成并可成对使用,相应的平衡锁紧系统由平衡锁紧阀外加二位二通截止阀组成,对单个方向可能出现的负负载有效,同时内置油缸锁紧功能这种新型的单作用液压平衡系统在没有负负载出现时的节流损失很小。本发明设计的平衡锁紧阀和平衡系统,结构非常简单,制作成本很低,可靠性好,对油液温度和清洁度不敏感,可以有效保证液压控制系统的平衡性能和系统安全性。
- 一种滑阀单向液压平衡系统
- [发明专利]工件台与掩模台公用的平衡质量系统及光刻机-CN201210451784.0有效
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王天明
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上海微电子装备有限公司
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2012-11-12
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2014-05-21
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G03F7/20
- 本发明提出一种工件台与掩模台公用的平衡质量系统,这种平衡质量系统,包括平衡质量体以及平衡质量体防漂及补偿装置,所述平衡质量体包括用于安装工件台系统的平衡质量体的工件台部分、用于安装掩模台系统的平衡质量体的掩模台部分以及平衡质量体的连接部分,所述平衡质量体的工件台部分与所述平衡质量体的掩模台部分通过所述平衡质量体的连接部分连接,所述平衡质量体的工件台部分悬浮支撑于基础框架上,所述平衡质量体的连接部分通过所述平衡质量体防漂及补偿装置与所述基础框架相连,所述平衡质量体防漂及补偿装置靠近整个所述平衡质量体的重心位置设置。本发明能够节省掩模台系统的外部支架,减小整机的体积和重量,以及较少所需平衡质量的质量,使得整体结构更加紧凑。
- 工件掩模台公用平衡质量系统光刻
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