专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法-CN202110490603.4有效
  • 田尾幸树 - 株式会社钢臂功科研
  • 2021-05-06 - 2023-08-08 - B22F3/14
  • 本发明的目的在于提供一种能够容易地制造龟裂得到抑制的烧结体的烧结体的制造方法及溅射靶的制造方法。本发明的一实施方式的烧结体的制造方法包括:形成包含金属粉末及金属氧化物粉末的原料粉末的造粒物的步骤、以及对所述造粒物进行煅烧的步骤,所述原料粉末包含Mn、Cu及Zn作为金属元素,所述原料粉末中的所述金属粉末的体积比率为28.0体积%以上,所述煅烧步骤中的烧结压力为20MPa以上。
  • 烧结制造方法溅射
  • [发明专利]溅镀靶材和溅镀靶-CN201980006346.3有效
  • 田尾幸树;畠英雄 - 株式会社钢臂功科研
  • 2019-02-12 - 2022-05-03 - C23C14/34
  • 本发明提供一种溅镀靶材和溅镀靶。溅镀靶材包含锌(Zn)的氧化物、锡(Sn)的氧化物及锆(Zr)的氧化物,其中相对于氧(O)以外的所有元素,锌的含量AZn为超过0at%且50at%以下,锡的含量ASn为20at%以上且80at%以下,及锆的含量AZr为超过0at%且40at%以下,而且Zn的含量AZn满足下述式(1);经测定的多个比电阻值中最大值相对于最小值的比为3以下,及所述比电阻值为5×10‑1[Ω·cm]以下;而且所述溅镀靶材不含有铟(In)。AZn/(AZn+ASn)≦0.6·····(1)。
  • 溅镀靶材溅镀靶
  • [发明专利]形状测量装置及其方法-CN201910113440.0有效
  • 田原和彦 - 株式会社钢臂功科研
  • 2019-02-13 - 2021-08-10 - G01B11/06
  • 本发明提供一种形状测量装置,基于对第1A面测量光和第2A面测量光进行光外差干涉而得到的A面参照干涉光和A面测量干涉光、以及对第1B面测量光和第2B面测量光进行光外差干涉而得到的B面参照干涉光和B面测量干涉光来测量被测量物(WA)的厚度变化量,在进行上述各光外差干涉时,将上述第1A面测量光和上述第2B面测量光设为同一频率,并且将上述第1B面测量光和上述第2A面测量光设为同一频率。
  • 形状测量装置及其方法
  • [发明专利]铝合金溅射靶材-CN201910619403.7有效
  • 高木胜寿 - 株式会社钢臂功科研
  • 2016-04-20 - 2021-04-30 - C23C14/34
  • 本发明是一种铝合金溅射靶材,其包含含有0.1原子%~3原子%的Nd的铝合金,X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系,维氏硬度为29~36;IAl(200)>IAl(311)>IAl(220)>IAl(111)…(1)式中,IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度,IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度,IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度,IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。
  • 铝合金溅射
  • [发明专利]氧化物烧结体及溅射靶-CN201880032263.7有效
  • 西山功兵;田尾幸树 - 株式会社钢臂功科研
  • 2018-04-17 - 2020-10-09 - H01L21/363
  • 本发明涉及一种氧化物烧结体及溅射靶,其中,金属元素包括In、Ga、Zn及Sn,且所述氧化物烧结体包含由InGaO3(ZnO)m(m为1~6的整数)表示的六方晶层状化合物,当将对于所述氧化物烧结体中所含的除氧以外的全部金属元素而言的In、Zn及Sn的含量的比例(原子%)分别设为[In]、[Zn]及[Sn]时,满足式(1)~式(3)。[Zn]≧40原子%…(1)、[In]≦15原子%…(2)、[Sn]≦4原子%…(3)。根据本发明,即便在添加有大量Zn的In‑Ga‑Zn‑Sn系氧化物烧结体中,也可抑制接合时的破裂的发生。
  • 氧化物烧结溅射
  • [发明专利]氧化物烧结体及溅射靶-CN201880032267.5有效
  • 西山功兵;田尾幸树 - 株式会社钢臂功科研
  • 2018-04-17 - 2020-09-01 - H01L21/363
  • 本发明涉及一种氧化物烧结体及溅射靶,其中,金属元素包括In、Ga、Zn及Sn,且所述氧化物烧结体包含Ga2In6Sn2O16、ZnGa2O4及InGaZnO4,当将相对于氧化物烧结体中所含的除氧以外的全部金属元素而言的In、Ga、Zn及Sn的含量的比例(原子%)分别设为[In]、[Ga]、[Zn]及[Sn]时,满足式(1)~式(3)。[Ga]≧37原子%…(1)、[Sn]≦15原子%…(2)、[Ga]/([In]+[Zn])≧0.7…(3)。根据本发明,即便在添加有大量Ga的In‑Ga‑Zn‑Sn系氧化物烧结体中,也可抑制接合时的破裂的发生。
  • 氧化物烧结溅射
  • [发明专利]铝合金溅射靶材-CN201680029641.7有效
  • 高木胜寿 - 株式会社钢臂功科研
  • 2016-04-20 - 2019-08-06 - C23C14/34
  • 本发明是一种铝合金溅射靶材,其包含含有0.1原子%~3原子%的Nd的铝合金,X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系,维氏硬度为29~36;IAl(200)>IAl(311)>IAl(220)>IAl(111)…(1)式中,IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度,IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度,IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度,IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。
  • 铝合金溅射

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