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[实用新型]一种角度补偿式激光外差干涉位移测量装置-CN201720823469.4有效
发明人：张恩政;陈本永 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2017-07-07 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种角度补偿式激光外差干涉位移测量装置。包括激光外差干涉位移测量光路部分、激光光斑检测转角测量光路部分和角锥棱镜，并采用镀有半透半反膜的角锥棱镜作为位移和转角测量的测量镜，由激光外差干涉光路产生的干涉信号经光电探测器探测，激光光斑检测转角测量光路产生的激光光斑位置信号本实用新型能够解决了传统激光干涉位移测量技术中角锥棱镜存在转角误差影响位移测量精度的技术问题，实现了高精度的位移测量，并可实现对被测对象偏摆角、俯仰角和线性位移三个自由度的同时检测。
一种角度补偿激光外差干涉位移测量装置

[发明专利]一种干涉量测量机构及测量方法-CN202110952397.4在审
发明人：李之武;徐剑 -专利权人：成都极米科技股份有限公司
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01M3/40 文献下载
摘要：本申请公开了一种干涉量测量机构及测量方法，涉及干涉测量技术领域。该干涉量测量机构包括压电晶体，所述压电晶体与弹性件连接，且所述压电晶体与电容测试电路电连接，所述电容测试电路用于检测所述压电晶体所形成的电场强度，以便于根据所述电场强度、压电晶体参数和弹性件参数确定干涉量，从而根据干涉量确定密封是否合格，有利于保证产品装配质量。
一种干涉测量机构测量方法

[实用新型]一种阵列式原子干涉重力梯度张量全分量的测量系统-CN201621436079.3有效
发明人：胡忠坤;毛德凯;周敏康;段小春;骆华清 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2017-08-01 - 主分类号： G01V7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种阵列式原子干涉重力梯度张量全分量的测量系统，包括n个阵列式排布的冷原子干涉单元，冷原子干涉单元包括真空腔体；真空腔体包括上干涉区，下干涉区，探测区和原子团制备结构，上干涉区为一根细长型管道，且顶端安装有玻璃窗口；下干涉区为多窗口的腔体，且侧面安装有玻璃窗口。三束竖直激光操纵四团原子同时干涉，实现重力梯度张量中的分量的同时测量；三组水平激光操纵同一水平面上的三团原子同时干涉，实现重力梯度张量中的分量的同时测量。本实用新型可以测量重力梯度张量的所有五个独立分量，包含了重力梯度张量的全部信息。
一种阵列原子干涉重力梯度张量分量测量系统

[发明专利]一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法-CN202110298319.7在审
发明人：张文涛;杜浩;熊显名;曾启林;朱保华;张玉婷;徐韶华;李洪阳 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法，包括运动台119、外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪。所述外差式激光干涉仪包括干涉仪镜组(101‑103)、干涉仪反射镜(104‑110)，水平向反射镜(116‑110)分别放置于运动台的3个侧面，垂向反射镜(104、105)放置在运动台上方。外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪能够同时测量运动台的位移，根据上述布局建立外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪的测量模型；设定运动台的轨迹，在不同轨迹下获取外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪分别测量的运动台位移，以外差式激光干涉仪的测量数据为参考，计算外差式光栅干涉仪测量模型中的位移补偿参数。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。
一种计算光栅干涉仪位移补偿参数装置方法

[发明专利]光针式共光路干涉共焦位移测量装置与方法-CN202110540897.7有效
发明人：黄向东;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：光针式共光路干涉共焦位移测量装置与方法，属于超精密三维测量技术领域。本发明将激光干涉技术与共焦显微测量技术相结合，提出了利用环形反射镜分光构建单臂干涉测量结构；同时根据干涉、共焦测量原理，提出了采用变区域光强采集方法，可消除由于共焦测量系统与干涉测量系统共光路而引入的信号耦合的影响本发明可有效提高系统的测量准确性和测量稳定性，适用于具有大台阶、高深宽比的微结构几何参数和粗糙表面三维形貌测量，应用前景广泛。
光针式共光路干涉位移测量装置方法

[发明专利]干涉测量装置-CN202180042997.5在审
发明人： T·梅;C·艾姆韦格 -专利权人：泰勒·霍布森有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：干涉测量装置(1)以及测量方法，该干涉测量装置用于测量具有两个相对表面(20、30)的光学元件(10)的表面(20、30)或轮廓，该测量方法包括步骤：‑在光学元件(10)的表面(11)中的一个上限定至少三个测量点(21、31、22、32、23、33)，‑通过分别地将测量光束(61)从测量头(60)引导至测量点上且通过分别地检测在测量点(21、31)处所反射的测量光束部分(62)来测量每个测量点的位置，‑基于至少三个测量位置来确定测量表面
干涉测量装置

[实用新型]干涉测量装置-CN201120352097.4有效
发明人：徐建程 -专利权人：浙江师范大学
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种干涉测量装置，包括用以产生偏振状态相互正交线偏振光的装置，该相互正交线偏振光分别称为参考光和测试光；相位调制式空间光调制器，设置于参考光或测试光的光路中，用以改变光波前的空间相位分布；该空间光调制器具有复数个像素，每一像素具备特定的相位分布；其中，经所述空间光调制器相位调制后的光称为调制光，未经调制的光称为未调制光；基于所述调制光和未调制光实现干涉测量的干涉仪；对干涉仪产生的相干光探测的光探测装置本实用新型提供的装置，不但可以实现多个空间载波相移分布时的测量，而且还可以实现高精度动态测量。本实用新型还提供一种空间相移装置以及液晶空间光调制器相位校正装置。
干涉测量装置

[发明专利]干涉测量装置-CN03822831.9无效
发明人： D·马沙尔;M·－H·迪沃伊辛;D·布赖德尔;P·德拉巴雷克 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2003-03-28 - 公布日： 2005-10-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种干涉测量装置用于检测一个测量物体(8)表面的形状、粗糙度和距离，它有一个调制干涉仪(2)，从一个射线源(1)将短相干的射线输给这干涉仪，而且这干涉仪具有第一个分光器(2.3)用于将输入的射线分离成一个通过第一个臂引导的第一个分支光2.1)和一个通过第二个臂引导的第二个分支光(2.1’)，其中借助于一个调制装置(2.2，2.2’)使一个分支光相对于另一个在其光相位或光频率上移动，并经过一个延迟段(2.9’)，接着这些分支光会聚在调制干涉仪(2)的另一个分光器(2.10)上；还有一个与调制干涉仪(2)在空间上分开的，并用这测量干涉仪通过一种光导纤维装置(6)耦合的或者可耦合的测量探头(3)，在这测量探头里会聚起来的分支光被分离成一束通过具有一个倾斜的物体侧的出口表面(3.4)的探头－类导纤维单元(3.1，3.2)通向表面的测量光线和一束参照光线，并且在这探头里使在表面上反射的测量光线(r₁ (t))和在一个参照平面上反射的参照光线(r测量可按如下方法变得更有利：出口表面(3.4)相对于光学探头轴线(3.5)的法线的倾角(r)至少达46°。
干涉测量装置

[发明专利]回位补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475503.X有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：回位补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；四个光束位置探测器能够分别测量出四条标准测量光束相对目标反射镜在垂直于标准测量光束平面内任意二维方向衍生位移；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，保证目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]回位补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475559.5有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：回位补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；两个光束位置探测器能够分别测量出两条标准测量光束相对目标反射镜在垂直于标准测量光束平面内任意二维方向衍生位移；微动装置根据两个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值，对目标反射镜衍生位移进行实时回位补偿，使目标反射镜反射面上测量光束的入射位置不发生变化。
补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]回位补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置-CN201310475512.9有效
发明人：胡鹏程;谭久彬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-10-11 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：回位补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；三个光束位置探测器分别测量出三条标准测量光束相对目标反射镜在垂直于标准测量光束平面内任意二维方向衍生位移；微动装置根据三个光束位置探测器测量出衍生位移平均值，对目标反射镜衍生位移进行实时回位补偿，保证目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
补偿三光轴线位移激光干涉仪校准方法装置

[发明专利]基于激光干涉可消除阿贝误差的步距规校准方法及系统-CN202010072403.2有效
发明人：任国营 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：本发明主要涉及长度测量技术领域，提供了一种基于激光干涉可消除阿贝误差的步距规校准系统，包括：在空间上可形成任意三棱柱形的3路激光干涉光路，和设置于空间内并与3路激光干涉光路平行的用于波长补偿的第四激光干涉光路，激光器发射的激光光束一部分经分光镜后反射到干涉镜作为参考信号，一部分被投射到反射镜反射后入位于干涉镜内形成测量信号，被测步距规发生位移时，通过测量信号和参考信号并根据测量模型计算得到被测步距规的消除了阿贝误差的位移值，将3路激光光路合成到被测步距规测量线上的测量模型，无论步距规安装在坐标测量机测量平台的任何位置，都可以非常方便地实现基于阿贝原则的激光干涉法步距规测量精度。
基于激光干涉消除误差步距规校准方法系统

[发明专利]激光干涉仪测量装置-CN200910050529.3无效
发明人：张俊 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-05-04 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种用于测量工件台位移的激光干涉仪测量装置，其包括设在所述工件台一侧的激光干涉仪，其出射水平的第一测量光及第二测量光；设在所述工件台上方的第一反射镜；设在所述工件台的与所述干涉仪相对的侧面上的第二反射镜；及设在所述工件台上方、位于所述第一反射镜与所述干涉仪之间的折射镜。所述第一测量光出射到所述折射镜，并由所述折射镜折射到所述第一反射镜，然后所述第一测量光由所述第一反射镜反射至所述折射镜，再经所述折射镜折射回所述干涉仪。所述第二测量光射到所述第二反射镜，并由所述第二反射镜反射至所述干涉仪。由于本发明的测量装置使用折射镜来代替激光干涉仪与第一反射镜之间的反射镜，测量角度较大。
激光干涉仪测量装置

[发明专利]光干涉测量方法及光干涉测量装置-CN201110035134.3有效
发明人：壁谷泰宏;古田宽和;滨野诚司;菅田文雄 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2011-01-25 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开一种光干涉测量方法及光干涉测量装置。本发明所涉及的光干涉测量方法，是将从光源单元出射的光分割成测定光和基准光，检测所述基准光、与从所述测定光所照射的测定对象反射或背散射后的光发生干涉而得到的干涉光，驱动设置在所述基准光的光路上的光路长度可变机构，以改变所述基准光的光路长度，基于随所述基准光的光路长度的变化而变化的所述干涉光，判定基于所述检测出的干涉光的图像是正规像还是翻转像，基于是正规像还是翻转像的判定结果，利用所述检测出的干涉光来测量所述测定对象
干涉测量方法测量装置

[发明专利]用于频率调制干涉仪的路径波动监测-CN201980047263.9有效
发明人：史蒂文·T·坎迪夫;克里斯·斯莫尔伍德;埃里克·马丁 -专利权人：密歇根大学董事会
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：提出了使用相对于测量光具有任意频率的参考激光器来确定干涉仪中的路径长度波动的方法。该方法包括：沿干涉仪的信号路径注入参考光；测量干涉仪的输出处的参考光之间的干涉；通过测量参考光之间的干涉的强度调制并且从所测量的强度调制中减去预期的频率调制来确定干涉仪的两个信号路径中的参考光之间的光学相位差；累积干涉仪的两个信号路径中的参考光之间的展开相位差，其中，展开相位差是相对于参考定义的；以及使用展开相位差确定干涉仪中的光的路径长度波动。
用于频率调制干涉仪路径波动监测