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- [发明专利]等离子体处理装置和气体供给方法-CN202211594618.6在审
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四本松康太;荒卷昂;李黎夫
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东京毅力科创株式会社
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2022-12-13
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2023-06-27
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H01J37/32
- 本发明提供一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：等离子体处理室，其具有构成为能够支承基片的基片支承部；具有多个气体导入部的喷淋头，其中，上述多个气体导入部构成为能够分别向上述等离子体处理室内的各区域导入气体；气体供给部，其构成为能够向多个上述气体导入部供给气体；等离子体生成部，其构成为能够生成上述气体的等离子体；和控制部，其构成为能够至少控制上述气体供给部，上述气体供给部包括：气体单元，其构成为能够向多个上述气体导入部供给共用气体；和注入单元，其构成为能够向多个上述气体导入部中的所选择的上述气体导入部供给注入气体，上述控制部控制上述注入单元，以使得将2种以上的上述注入气体供给到2个不同的上述气体导入部。
- 等离子体处理装置气体供给方法
- [发明专利]燃烧器以及燃气轮机-CN201580058259.4有效
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水上聪;小西哲;山崎裕之;藤田智治
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三菱日立电力系统株式会社
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2015-12-01
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2019-03-29
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F02C7/18
- 燃烧器包括：尾筒，其是筒状的构件，在一端部具有燃烧气体的入口，且在另一端部具有所述燃烧气体的出口，所述尾筒使从所述入口流入的燃烧气体从所述出口流出而导向涡轮；冷却介质导入部，其设置在所述尾筒的所述出口侧的外周部，用于导入冷却介质；冷却介质入口，其将所述冷却介质向所述冷却介质导入部导入；冷却部，其从所述尾筒的所述出口朝向所述入口地设置，与所述冷却介质导入部连接，使来自所述冷却介质导入部的所述冷却介质从所述出口朝向所述入口地通过；分支部，其设置在包括距所述冷却介质入口最远的部分在内的所述尾筒的周向上的规定区域，使所述冷却介质导入部内的所述冷却介质的一部分向所述冷却部流入。
- 燃烧以及燃气轮机
- [发明专利]安全气囊-CN201910428634.X有效
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桥本和茂
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日本富拉司特株式会社
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2019-05-22
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2021-04-27
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B62J27/20
- 本发明提供一种安全气囊，其能够以简单的结构均衡性良好地展开安全气囊主体部。安全气囊具有袋状的安全气囊主体部(12)，该安全气囊主体部(12)具备：气体导入部(15)，导入气体；多个气室(19)，通过从气体导入部(15)导入气体而膨胀；以及气体引导部(20)，向气室(19)引导从气体导入部(15)导入的气体。气体引导部(20)具备：第1气体引导部(27)，向沿安全气囊主体部(12)的展开方向的第1方向(X)引导气体；以及多个第2气体引导部(28)，分别位于第1气体引导部(27)的末端部(27b)附近，使气体向与第
- 安全气囊
- [实用新型]一种导入式高温紫外UV光强仪探头-CN202221549938.5有效
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刘杰
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武汉瑞恒工控技术有限责任公司
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2022-06-20
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2023-04-25
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G01J1/04
- 本实用新型提出了一种导入式高温紫外UV光强仪探头，其包括探头本体，探头本体具备紫外光敏元件；还包括紫外导入部与两个固定部，紫外导入部一端延伸至探头本体的内部。该导入式高温紫外UV光强仪探头，通过设置两个固定部将紫外导入部的两端分别与固化箱和探头本体进行连接，通过紫外导入部将固化箱内的紫外线导入探头本体内，进行紫外线的检测，从而隔离固化箱在作业时内部高温对探头本体的影响，进而通过探头本体对固化箱内的紫外光强度进行实时检测；将紫外导入部设置为光纤，可根据工况进行长度选用，且通过光纤的可弯曲特点，可使探头本体安装更为方便；通过设置保护镜片与探头镜片，可保证紫外导入部可进行稳定的传导性能
- 一种导入高温紫外uv光强仪探头
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