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- [发明专利]缺陷定位方法-CN201510087311.0有效
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高保林;王倩
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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2015-02-25
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2019-01-18
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H01L21/66
- 本发明揭示了一种缺陷定位方法,包括:提供半导体基底,所述半导体基底内包括多个在垂直方向延伸的金属塞,所述半导体基底的材料对激光具有透光性;沿着所述垂直方向对半导体基底制备断面,所述断面与所述金属塞的距离大于等于100μm;以及对所述金属塞通电,并用所述激光从所述断面对所述半导体基底进行照射,并进行热点分析,通过亮点的位置判断缺陷在垂直方向的深度。由于所述半导体基底的材料对激光具有透光性,所以,如果所述金属塞中具有缺陷,所述缺陷经过激光的照射,所述缺陷的电阻值会发生变化,并呈现出亮点,从而经过热点分析,通过亮点的位置判断缺陷在垂直方向的深度。
- 缺陷定位方法
- [发明专利]一种基于缺陷报告分析的缺陷源代码定位方法-CN201610543653.3有效
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黎铭;霍轩;周志华
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南京大学
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2016-07-11
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2018-12-11
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G06F11/36
- 本发明公开一种基于缺陷报告分析的缺陷源代码定位方法,首先获得新的待检查缺陷报告;如果不存在缺陷定位模型,建立缺陷定位模型。建立缺陷定位模型:获取大量历史缺陷报告、源代码和缺陷定位标记,构造训练集合;初始化缺陷定位模型;利用当前模型,提取训练集合缺陷报告和源代码的统一特征;计算当前模型的缺陷定位训练误差;若缺陷定位模型的训练误差低于预设阈值,模型训练完成,否则更新缺陷定位模型权重参数,继续训练。利用模型提取待检查的缺陷报告和源代码的统一特征并利用统一特征定位包含缺陷的源代码模块;输出定位到的缺陷源代码模块;若还有缺陷报告尚未检查,继续获取并分析新的待检查缺陷报告,否则缺陷定位过程结束。
- 一种基于缺陷报告分析源代码定位方法
- [发明专利]面板缺陷定位机构-CN200810093637.4有效
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叶公旭;林祈廷
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东捷科技股份有限公司
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2008-04-18
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2009-10-21
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G01B11/00
- 一种面板缺陷定位机构,其包括:一对第一座体,每一第一座体具有一第一滑轨、一第一轴向微调部及一第一位置定位模块;一第二座体有一对第一滑动部及一连结于对第一滑动部间的第二滑轨;对第一滑动部可滑动的设于该对第一滑轨上,使第二座体可沿一第一轴向移动,且利用第一轴向微调部作细微调整;一检测装置有一第二滑动部、一检视镜头、一第二轴向微调部、一第二位置定位模块及一光源发射部;第二滑动部可滑动的设于第二滑轨上,使检测装置可沿一第二轴向移动,且利用第二轴向微调部作细微调整;第一及第二位置定位模块可精确定位出检视镜头所对应的检视位置坐标;而光源发射部可产生一高对比度可见光。
- 面板缺陷定位机构
- [发明专利]基板缺陷位置定位方法及装置和系统-CN201610389092.6有效
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张祥
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昆山国显光电有限公司
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2016-06-02
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2019-09-17
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G01N21/956
- 本发明涉及一种基板缺陷位置定位方法、装置和系统。一种基板缺陷位置定位方法,用于定位基板上的缺陷位置,缺陷具有灰阶信息,包括步骤:根据缺陷的灰阶信息,判断缺陷类型;根据缺陷类型,调节光源强度并获取视野图片;将视野图片转换为二阶化图片;根据二阶化图片确定缺陷位置一种基板缺陷位置定位装置,用于上述基板缺陷位置定位方法,包括信息处理单元、光源控制单元、目视单元以及图像处理单元。一种基板缺陷位置定位系统,包括自动光学检测设备以及上述基板缺陷位置定位装置,自动光学检测设备连接基板缺陷位置定位装置的信息处理单元。上述方法、装置和系统能够提高了缺陷定位的效率,降低了缺陷误报率。
- 缺陷位置定位方法装置系统
- [发明专利]缺陷定位方法、缺陷分析方法及系统-CN202210777146.1在审
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江倩;吴明敏;蔡钟贤
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通富微电子股份有限公司
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2022-06-30
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2022-10-21
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H01L21/66
- 本申请公开了一种缺陷定位方法、缺陷分析方法及系统,该缺陷定位方法包括:从半导体器件的第一表面一侧获得缺陷区域的第一位置信息;其中,半导体器件包括经过隐形激光切割形成的切割面,半导体器件包括相背设置的第一表面和第二表面切割面位于第一表面和第二表面之间并与第一表面连接;从第一表面一侧对半导体器件进行多次抛光,并获取每次抛光后半导体器件抛光表面的晶体结构异常区域的第二位置信息;基于第一位置信息、多个第二位置信息和切割面获得缺陷发生起始区域通过上述方式,本申请能够定位隐形激光切割过程中缺陷发生起始区域,以助于对隐形激光切割过程中的散射缺陷进行分析。
- 缺陷定位方法分析系统
- [发明专利]一种基于程序频谱的多缺陷定位方法-CN201810906860.X有效
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金福生;王茹楠;蔡天倚;王树良
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北京理工大学
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2018-08-10
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2021-10-01
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G06F11/36
- 本发明涉及一种基于程序频谱的多缺陷定位方法,属于软件安全技术领域。包括以下步骤:步骤一:构造待缺陷定位检测的程序频谱;步骤二:对多缺陷定位问题建模,即构建候选缺陷分布种群,具体为使用二进制序列表示步骤一得到的待缺陷定位检测的程序频谱;步骤三:使用遗传算法对步骤二构建的候选缺陷分布种群的解空间进行搜索,得到用于定位的最优种群;步骤四:对步骤三得到的最优种群中的候选缺陷个体的怀疑值排序,得出最终的怀疑值排名。本发明通过对多缺陷定位问题进行建模,并使用遗传算法得到函数怀疑值列表,能够对程序中的多缺陷同时定位;通过基于程序频谱的多缺陷定位方法以及遗传算法,有效提高了多缺陷的定位效率以及定位准确率。
- 一种基于程序频谱缺陷定位方法
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