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- [发明专利]转印方法及转印装置-CN201210530126.0有效
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谷口和隆;川越理史
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大日本网屏制造株式会社
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2012-12-10
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2013-10-23
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B41M5/382
- 本发明目的在于,在将担载于担载体上的被转印物转印到基板上的技术中,提供一种能防止与被转印物一起转印到基板上的定位标记妨碍以后的定位处理的技术。预先形成到基板侧的第一定位标记(AM1)包括彼此分离配置的多个图形图案(AP11~AP14),并且由它们包围而形成定位标记转印区域(TR)。在担载图案的橡皮布上使用图案形成材料来形成的第二定位标记(AM21)与第一定位标记(AM1)一起被拍摄,并基于它们的位置检测结果来对基板和橡皮布进行对位。此时,第二定位标记AM21定位到定位标记转印区域TR,并且定位到与图形图案(AP11~AP14)及已转印的第二定位标记分离的位置上,而转印到基板上。
- 方法装置
- [实用新型]一种定位标记装置-CN202220015663.0有效
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王俊涛
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深圳市亿昇精密光电科技有限公司
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2022-01-04
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2022-06-24
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B25H7/00
- 本实用新型涉及指引机领域,具体涉及一种定位标记装置;所述定位标记装置包括工作台、指引单元和标记单元,所述指引单元包括第一移动模块、第一固定板以及两个第二移动模块,所述固定板设置在两个第二移动模块之间,所述第一移动模块设置在所述第一固定板上,所述标记单元设置在所述第一移动模块上,本实用新型通过设置一种定位标记装置,能够使得所述标记单元在所述指引单元的指引后,移动至产品的对应操作点位置以对其进行标记,以方便人工对产品进行对应操作,有效提高了定位标记的自动化程度,通过设置所述第一移动模块和第二移动模块,以分别对标记单元进行X轴方向以及Y轴方向上的位置的自动调整,实现了标记单元的自动指引。
- 一种定位标记装置
- [实用新型]一种晶圆级封装定位机构-CN201621058048.9有效
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周东平
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上海晶鼎光电科技有限公司
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2016-09-18
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2017-08-04
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H01L21/68
- 本实用新型揭示了一种晶圆级封装定位机构,包括第一定位标记,设置于待定位的第一晶圆上;第二定位标记,设置于待定位的第二晶圆上;所述第一晶圆和所述第二晶圆平行层叠设置,以使定位完成后所述第一定位标记和所述第二定位标记呈重合状;红外光源,以提供红外光信号;红外探测器,以监测透过所述第一晶圆和所述第二晶圆的红外光信号;图像显示系统,以根据所述红外探测器反馈的红外光信号形成至少包括所述第一定位标记和所述第二定位标记的图像。本实用新型通过红外光成像,可以直观观察第一、二定位标记的实时位置,无需设置通孔和定位销结构,具有定位效率高的优点。
- 一种晶圆级封装定位机构
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