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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]烘烤装置及基板烘烤方法-CN201911020593.7在审
发明人：喻建兵 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种烘烤装置及基板烘烤方法，所述烘烤装置包括烘烤平台，用于装载基板，并对所述基板进行加热烘烤，所述烘烤平台装载基板的区域开设有至少一个通孔；所述装置还包括：用于提升基板的提升销，设于烘烤平台下并延伸至烘烤平台通孔内，其中，所述提升销为中空结构，所述中空结构为气体流通通道，用于向基板通气，本发明还公开一种基板烘烤方法，所述方法包括：装载基板至烘烤装置的烘烤平台上；利用所述烘烤平台对基板进行加热处理；通过所述提升销的中空结构向基板通气；向上移动提升销，将所述基板提升；卸载所述基板。通过使用本发明提供的烘烤装置和基板烘烤方法对基板进行烘烤，可以减少基板在提升卸载过程中的破片风险。
烘烤装置方法

[发明专利]一种LED基板烘烤箱及其基板烘烤方法-CN201810138218.1在审
发明人：赵少芹 -专利权人：六安联众工业自动化技术有限公司
申请日： 2018-02-10 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的目的是一种LED基板烘烤箱及其基板烘烤方法，包括烘烤箱体和LED基板，所述的烘烤箱体内设有红外线烘烤器和基板烘烤固定装置，所述的红外线烘烤器设为两个对称固定在烘烤箱体顶端的两侧，所述的红外线烘烤器对准基板烘烤固定装置内的LED基板设置，所述的基板烘烤固定装置包括固定板和驱动电机，所述的驱动电机固定在烘烤箱体内侧面，驱动电机通过旋转轴与固定板一端的调节杆连接，能够同时对基板的两面进行烘烤，有效的提高烘烤的效率，同时对烘烤的温度和时间进行有效的控制，能够有效的提高烘烤的质量，降低基板烘烤的成本。
基板烘烤烘烤烘烤箱红外线烘烤固定装置驱动电机烘烤箱体固定板体内对称固定对准基板调节杆对基板旋转轴侧面

[实用新型]一种LED基板烘烤箱-CN201820245095.7有效
发明人：赵少芹 -专利权人：六安联众工业自动化技术有限公司
申请日： 2018-02-10 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型的目的是一种LED基板烘烤箱，包括烘烤箱体和LED基板，所述的烘烤箱体内设有红外线烘烤器和基板烘烤固定装置，所述的红外线烘烤器设为两个对称固定在烘烤箱体顶端的两侧，所述的红外线烘烤器对准基板烘烤固定装置内的LED基板设置，所述的基板烘烤固定装置包括固定板和驱动电机，所述的驱动电机固定在烘烤箱体内侧面，驱动电机通过旋转轴与固定板一端的调节杆连接，能够同时对基板的两面进行烘烤，有效的提高烘烤的效率，同时对烘烤的温度和时间进行有效的控制，能够有效的提高烘烤的质量，降低基板烘烤的成本。
烘烤烘烤箱红外线烘烤固定装置基板烘烤驱动电机烘烤箱体固定板体内本实用新型对称固定对准基板调节杆对基板旋转轴侧面

[发明专利]基板烘烤设备及基板烘烤方法-CN201910391446.4有效
发明人：陈安顺 -专利权人：群翊工业股份有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：本发明公开一种基板烘烤方法，其包含：上料步骤：控制上料装置将多个基板逐一地平放至基板承载框体中；进入步骤：控制移入装置，将承载有多个基板的基板承载框体，送入烘烤装置的烘烤通道中；移动步骤：控制烘烤装置中的通道移载机构，以使设置于烘烤通道中的基板承载框体，于烘烤通道中移动；离开步骤：控制移出装置，将承载有多个基板的基板承载框体，由烘烤装置的一出口端离开烘烤通道；卸料步骤：控制卸料装置将多个基板逐一地由基板承载框体中卸下
烘烤设备方法

[发明专利]用于基板的处置与均匀烘烤的烘烤装置-CN202080087669.2在审
发明人：希拉姆·塞维拉;徐永安;卢多维克·戈代 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式涉及用于处置和均匀烘烤基板的烘烤设备以及用于处置和均匀烘烤基板的方法。烘烤设备允许将基板加热到大于50℃的温度，而没有从基板的边缘到基板的中心的约1mm至约2mm的弯曲。烘烤设备均匀地或实质均匀地加热基板以改善基板品质。
用于处置均匀烘烤装置

[发明专利]玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备-CN201810404563.5有效
发明人：柳开郎 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备，其中方法包括：将玻璃基板置于热板上进行烘烤加热；在开始进行烘烤加热后，向所述玻璃基板边缘区域吹送气体，使得在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力；在向所述玻璃基板边缘区域吹送设定时间的气体后，停止对所述玻璃基板吹送气体；保持对所述玻璃基板进行烘烤加热，直至完成对所述玻璃基板的烘烤。上述方法，在对玻璃基板进行烘烤加热的过程中，向玻璃基板的边缘区域吹气，以在所述玻璃基板边缘产生朝向所述热板的压力，使得玻璃基板在热板上平铺受热，避免烘烤过程中玻璃基板边缘翘起，导致玻璃基板上墨水材料成膜均匀性不佳的问题，提升玻璃基板上墨水材料成膜的均匀性。
玻璃烘烤方法设备

[发明专利]一种DBC基板塑封后烘烤装置-CN202011141784.1有效
发明人：李承浩;金英珉;金奉焕 -专利权人：爱微（江苏）电力电子有限公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： F26B15/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种DBC基板塑封后烘烤装置，包括：烘烤机，所述烘烤机的右壁开设有进料口，左壁开设有出料口，所述烘烤机的内顶面设置有烘烤机构和两个下压机构，两个所述下压机构分别位于所述烘烤机构的左右两侧，所述烘烤机内设置有输送机，所述输送机位于所述烘烤机构、所述下压机构的下方。本发明提供了一种DBC基板塑封后烘烤装置，不仅可以快速的对DBC基板塑封后进行烘烤去掉水分，还可以通过设计的下压机构对DBC基板进行烘烤前后的按压，避免DBC基板在输送机上进行发生漂移和变形翘曲；该DBC基板塑封后烘烤装置具有方便实用、烘烤效率高的优点。
一种 dbc 塑封烘烤装置

[发明专利]基板烘烤装置-CN201410856601.2有效
发明人：方仲贤;徐涛;徐彬 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板烘烤装置，其包括具有上盖组件的用于放置基板的腔体，上盖组件的内壁设置有抗粘附层。基板在烘烤过程中，溶剂挥发而在基板烘烤装置的腔体中产生溶剂烟雾。而通过在上盖组件的内壁设置抗粘附层，以避免或减小烟雾沉积在基板烘烤装置的上盖组件上。从而，通过这种设置的基板烘烤装置保证了被烘烤的基板的质量，避免了由烟雾沉积而造成的基板平整度差的缺陷。
烘烤装置

[发明专利]一种基板周边吸附烘烤结构-CN201310529289.1在审
发明人：卢美丽;程虎 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2013-10-30 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体处理系统中对基板处理的技术领域，具体地说是一种基板周边吸附烘烤结构。包括烘烤盘体、基板支承部、基板支承连接部、升降驱动控制系统、烘烤盘体支承部、真空接口及真空系统，其中烘烤盘体连接于烘烤盘体支承部的上端、并通过烘烤盘体支承部支撑，所述烘烤盘体支承部的下端设有真空接口，所述真空接口与真空系统连接；所述基板支承部的上端穿过烘烤盘体为基板支撑端，下端通过基板支承连接部与升降驱动控制系统连接，所述基板支承部通过升降驱动控制系统的驱动实现升降运动。本发明可以对双面带有图形的基板进行喷胶处理，结构简单，控制灵活，且提高了基板利用率。
一种周边吸附烘烤结构

[实用新型]基板烘烤设备-CN201020679277.9有效
发明人：刘杰;焦宇;吴超;宋篷磊;剧永波 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2010-12-23 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板烘烤设备，属于烘烤技术领域，其可解决现有的基板烘烤设备易于造成基板损伤的问题。本实用新型的基板烘烤设备包括：用于沿与基板平行的方向输送基板的输送机构；至少一个用于加热位于所述输送机构上的所述基板的加热机构。本实用新型可用于在液晶显示面板的光刻工艺中烘烤玻璃基板。
烘烤设备

[发明专利]基板烘烤装置及其温度调节方法-CN201310752239.X有效
发明人：姚江波 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板烘烤装置及其温度调节方法，该基板烘烤装置包括：用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体，其包括由若干个分区热板构成的热板，和温度调整机构，用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度。该基板烘烤装置能提高基板的膜厚均匀性。
烘烤装置及其温度调节方法

[发明专利]一种基板烘烤装置和基板烘烤方法-CN201910075371.9有效
发明人：陈沈;年婷 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种基板烘烤装置和基板烘烤方法，该基板烘烤装置包括：烘烤腔体；多个支撑板，多个支撑板位于烘烤腔体内，且沿预设方向平行间隔设置，当支撑板呈展开状态时，相邻两个支撑板之间形成对应的加热腔室，加热腔室用于对进入其中的基板进行烘烤；第一移动单元，支撑板的侧面与第一移动单元连接，用于控制支撑板沿预设方向移动；多个独立控制的温控单元，用于使基板具有不同的烘烤温度。通过这种方式，在加热腔室内对基板进行烘烤，并通过移动支撑板使加热腔室内的基板具有不同的烘烤温度，以实现基板的升温或降温，可以减小基板在送进或取出烤箱时与外界环境的温差，从而避免由于烤箱内外温差较大而导致的质量问题
一种烘烤装置方法

[实用新型]一种LED可调料盒-CN201821730560.2有效
发明人：李明珠;苏佳槟;刘娟;腾翼龙;翁秀梅;罗礼贤 -专利权人：广州硅能照明有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：提供一种烘烤过程中能够固定LED基板，LED基板不易翘曲的LED料盒。包括由于侧板、顶板和底板构成的盒体，侧板上沿侧板长度方向设有安置槽，LED基板置于安置槽之间，盒体上设有压料机构。通过压料机构将LED基板压紧在安置槽内，可避免LED基板掉落、且在烘烤过程中夹紧LED基板避免LED基板变形。在烘烤过程中，压板压紧LED基板，烘烤时由于压板在整个烘烤过程中均压紧LED基板，在烘烤LED基板过程中LED基板始终保持平整，不会出现现有技术中因为高温导致LED基板卷曲的情况，LED基板在烘烤过程中始终保持平整
烘烤过程安置槽压料机构调料盒烘烤侧板盒体料盒平整底板不易翘曲侧板上沿加工设备压板压掉落卷曲夹紧均压压板压紧变形改进

[发明专利]用于处理基板的设备和用于处理基板的方法-CN202111271107.6在审
发明人：姜虎信;徐泰雄;赵诚敏 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：公开了一种基板处理设备，其包括涂覆模块、曝光模块、多个显影模块以及传送单元，所述传送单元在所述模块之间执行基板的传送。所述多个显影模块包括多个曝光后烘烤单元，所述曝光后烘烤单元对在所述曝光模块中被完全执行了曝光过程的基板执行烘烤过程。所述基板处理设备还包括控制器，所述控制器控制由所述传送单元进行的所述基板的传送。当将基板从所述曝光模块传送到所述多个曝光后烘烤单元时，所述控制器执行控制以在所述多个曝光后烘烤单元中选择出现最小延迟时间的曝光后烘烤单元，并将所述基板传送到所选择的曝光后烘烤单元。
用于处理设备方法

[发明专利]一种烘烤炉及烘烤炉操作方法-CN201910315664.X有效
发明人：徐毕龙 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种烘烤炉及烘烤炉操作方法，其中，烘烤炉包括加热板、支撑框以及固定框；烘烤炉操作方法包括基板放置步骤、支架进炉步骤、基板摆放步骤、支架脱离步骤、支架出炉步骤、基板夹持步骤以及烘烤步骤；本发明提供一种烘烤炉及烘烤炉操作方法，通过支撑框上表面与固定框下表面对基板进行固定夹持处理，去除了现有技术中的支撑顶针，避免了基板与支撑顶针直接接触，避免基板表面产生各种刮痕，同时，避免了因受热不均而导致的显示不均的现象，从而使得显示器的亮度均匀，提高基板的良率。
一种烤炉操作方法

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