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[发明专利]一种智能OLED玻璃基板烘烤冷却一体机-CN202111452220.4在审
发明人：石福莹 -专利权人：潍坊旭辉玻璃有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能OLED玻璃基板烘烤冷却一体机，用于烘烤和冷却智能OLED玻璃基板，所述烘烤冷却一体机包括：机架组件，所述机架组件包括支撑台和安装外壳，所述安装外壳固定设置于支撑台上方，且所述安装外壳内部对称设置有烘烤空间和冷却空间，所述烘烤空间和冷却空间的下侧开口设置，所述智能OLED玻璃基板在所述烘烤空间内完成烘烤，所述智能OLED玻璃基板在所述冷却空间内完成冷却；放置组件，所述放置组件包括一对支撑板。智能OLED玻璃基板的装卸动作和转运工作同时发生，使得智能OLED玻璃基板的烘烤工艺与冷却工艺的衔接更加流畅快速，大大提高了智能OLED玻璃基板的加工效率，也简化了生产线的设备结构。
一种智能 oled 玻璃烘烤冷却一体机

[发明专利]用于基板批量烘烤的自动化生产设备和方法-CN202010543590.8在审
发明人：陳安順 -专利权人：群翊工业股份有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本申请提供一种用于基板批量烘烤的自动化生产设备和方法，其中，该设备包括烘烤装置、入料装置、搬移装置及出料装置，烘烤装置设有烘烤室；入料装置包括入料机架及基板夹持机构，基板夹持机构用以将基板和夹框结合成板框组件，且各板框组件排列堆叠在入料机架上并构成批量板框组件；搬移装置对应于批量板框组件配置并用以将批量板框组件移入烘烤室内做烘烤；搬移装置将烘烤后的批量板框组件从烘烤室移出并移载至出料装置做卸离。如此，能够实现基板的批量烘烤及全自动化生产程序。
用于批量烘烤自动化生产设备方法

[实用新型]用于基板批量烘烤的自动化生产设备-CN202021099698.4有效
发明人：陳安順 -专利权人：群翊工业股份有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本申请提供一种用于基板批量烘烤的自动化生产设备，该设备包括烘烤装置、入料装置、搬移装置及出料装置，烘烤装置设有烘烤室；入料装置包括入料机架及基板夹持机构，基板夹持机构用以将基板和夹框结合成板框组件，且各板框组件排列堆叠在入料机架上并构成批量板框组件；搬移装置对应于批量板框组件配置并用以将批量板框组件移入烘烤室内做烘烤；搬移装置将烘烤后的批量板框组件从烘烤室移出并移载至出料装置做卸离。如此，能够实现基板的批量烘烤及全自动化生产程序。
用于批量烘烤自动化生产设备

[实用新型]一种铝基板生产线中的流水式隧道烘烤机-CN202020567822.9有效
发明人：帅红 -专利权人：四川珩必鑫电子科技有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： F26B15/18 文献下载
摘要：本实用新型属于铝基板生产线领域，尤其是一种铝基板生产线中的流水式隧道烘烤机，针对现有流水式隧道烘烤机的烘烤效果较差，只能对铝基板的单面进行烘烤，不便于对铝基板翻面烘烤的问题，现提出如下方案，其包括隧道烘烤机本体，所述隧道烘烤机本体两侧均设有转动辊，两个转动辊上啮合有同一个输送带，隧道烘烤机本体的顶部内壁上固定安装有烘烤板，所述输送带的顶部固定安装有两个固定座，两个固定座的一侧均开设有转动孔，两个转动孔内均转动安装有转动柱本实用新型结构合理，操作方便，该流水式隧道烘烤机的烘烤效果较好，便于对铝基板翻面烘烤，能对铝基板的双面进行烘烤。
一种铝基板生产线中的流水隧道烘烤

[发明专利]半导体基板烘烤装置-CN202011246618.8在审
发明人：徐权锋 -专利权人：芯米（厦门）半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，具体为一种半导体基板烘烤装置，包括箱体，所述箱体包括烘烤槽、烘烤板、基板固定装置、门板、烘烤机以及转动机，所述烘烤槽位于箱体内部，且所述烘烤槽设有多个，所述烘烤板设置在箱体箱体内部，且位于烘烤槽的上端以及下端，所述转动机安装在箱体的外侧，且转动机位于烘烤槽的外侧，所述转动机设有多个，所述转动机上设有转动轴，所述转动轴贯穿箱体伸入烘烤槽内，所述基板固定装置安装在转动轴伸入烘烤槽内的一端，所述基板烘烤槽内设有安装槽，箱体的底部设有安装箱，所述烘烤机安装在安装箱内，所述烘烤板内设有烘烤管，所述烘烤机与烘烤管之间设有导热管连接，所述导热管上设有调温块。
半导体烘烤装置

[实用新型]半导体基板烘烤装置-CN202022586357.6有效
发明人：徐权锋 -专利权人：芯米（厦门）半导体设备有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体领域，具体为一种半导体基板烘烤装置，包括箱体，所述箱体包括烘烤槽、烘烤板、基板固定装置、门板、烘烤机以及转动机，所述烘烤槽位于箱体内部，且所述烘烤槽设有多个，所述烘烤板设置在箱体内部，且位于烘烤槽的上端以及下端，所述转动机安装在箱体的外侧，且转动机位于烘烤槽的外侧，所述转动机设有多个，所述转动机上设有转动轴，所述转动轴贯穿箱体伸入烘烤槽内，所述基板固定装置安装在转动轴伸入烘烤槽内的一端，所述基板烘烤槽内设有安装槽，箱体的底部设有安装箱，所述烘烤机安装在安装箱内，所述烘烤板内设有烘烤管，所述烘烤机与烘烤管之间设有导热管连接，所述导热管上设有调温块。
半导体烘烤装置

[实用新型]一种用于光纤连接器烘烤工艺段的烘烤装置-CN201721825587.5有效
发明人：曾蓉 -专利权人：成都艾特信科技有限责任公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于光纤连接器烘烤工艺段的烘烤装置，包括烘烤炉基座，烘烤炉基座顶端部装配电加热基板，电加热基板顶部设置网孔状散热板，网孔状散热板两端侧装配竖向卡扣式滑槽，竖向卡扣式滑槽顶部装配烘烤板，烘烤板上均匀布设烘烤槽；烘烤板与网孔状散热板之间设置有旋涡式散热风机；电加热基板底端部设置有嵌入式温度传感器，嵌入式温度传感器外接PLC控制器，电加热基板外接温度控制开关，温度控制开关连接PLC控制器。本实用新型有助于提高光纤连接器的烘烤效率，缩短烘烤时间，提高获得的光纤连接器的产品质量，在烘烤过程中保证光纤引线的有序分布，避免交织后与加热基板接触发生损伤。
光纤连接器电加热烘烤烘烤板散热板网孔状装配温度控制开关本实用新型温度传感器烘烤装置工艺段烘烤炉卡扣式嵌入式滑槽基板竖向外接PLC控制器光纤引线烘烤过程基板底端基板顶部基座顶端加热基板散热风机烘烤槽旋涡式布设外接损伤保证

[发明专利]烘烤装置及电致发光器件基板的烘烤方法-CN201810343369.0有效
发明人：龚岩芬;柳开郎 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种烘烤装置及电致发光器件基板的烘烤方法，该烘烤装置的顶针有多个，多个顶针穿过加热板以用于顶起待烘烤的基板，多个顶针至少分布于加热板的中部区域以及靠近加热板边缘的区域，且分布于靠近加热板边缘的区域的多个顶针绕加热板边缘成圈设置，这样在基板放置后，不仅在周边能够对基板形成稳定有效的支撑，在中部也能顶起基板，避免基板因重力作用发生翘曲，保证在烘烤过程中基板的各部分的受热均匀性，尤其是在烘烤过程中，基板的中部区域有支撑，可以降低高温对基板变形的影响
烘烤装置电致发光器件方法

[实用新型]一种LED铝基板生产线中的流水式隧道烘烤机-CN201520284516.3有效
发明人：彭树荣;刘地发;桂春友 -专利权人：刘地发
申请日： 2015-05-06 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： F26B15/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种LED铝基板生产线中的流水式隧道烘烤机，流水式隧道烘烤机可对LED铝基板生产线中的LED铝基板进行烘烤，流水式隧道烘烤机包括长条式且内部空心的主机体，主机体内设有可对LED铝基板进行充分烘烤的烘烤设备，主机体前端设有进口，主机体后端设有出口，主机体内贯穿有可承放LED铝基板的传送带，传送带由进口往前延伸，传送带由出口往后延伸；主机体的长度不小于20米。
一种 led 铝基板生产线中的流水隧道烘烤

[实用新型]一种用于LED基板的高效烘烤机-CN201920443990.4有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：南昌汇达知识产权有限公司
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： F26B11/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及LED生产制造设备技术领域，具体为一种用于LED基板的高效烘烤机，包括烘烤箱体、滑动支架和基板安装支架组，滑动支架的两块支撑滑板的两侧分别与烘烤箱体两侧内壁上的两对滑轨滑动连接，基板安装支架组包括支架转轴、基板支架和夹板，有益效果为：本实用新型通过驱动第二电机，使滑动支架滑入至烘烤箱体内部，且封闭门与烘烤箱体的右侧开口相闭合，烘烤箱体内壁两侧的加热板区对烘烤箱体内部进行加热烘干，此时烘烤箱体内部受外部环境影响大大减小，便于进行温度调控；第一电机通过链条驱动支架转轴进行转动，使支架转轴侧壁所焊接的基板支架进行转动，基板支架上夹合的LED基板进行旋转受热，使得LED基板受热更均匀。
烘烤箱体滑动支架基板支架支架转轴本实用新型基板安装受热支架组转动电机烘烤箱体内壁滑轨滑动加热烘干链条驱动两侧内壁外部环境温度调控支撑滑板制造设备闭合夹板封闭门烘烤机加热板侧壁滑入减小上夹焊接开口驱动

[发明专利]烘烤装置-CN201910009179.X有效
发明人：罗善高 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2019-01-04 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种烘烤装置。所述烘烤装置包括箱体、设于所述箱体内且位于所述箱体底部的烘烤腔室、设于所述箱体内且位于所述箱体顶部的冷却腔室、设于所述烘烤腔室顶部的隔热腔门、设于所述烘烤腔室内的多个均匀分布的支撑顶针以及设于所述箱体内且位于所述烘烤腔室和冷却腔室之间的承载机构，所述烘烤腔室、承载机构及冷却腔室相互间隔；当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门打开，所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室，并转移至所述承载机构上由所述承载机构支撑，通过将基板移除烘烤腔室并转移到承载机构上，能够有效避免基板过烘，保证制程品质，提升产品良率。
烘烤装置

[发明专利]一种烘烤设备及烘烤方法-CN201710832003.5有效
发明人：赵海;李意峰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-09-15 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种烘烤设备及烘烤方法，属于显示装置生产技术领域。烘烤设备包括烘烤室和设置在烘烤室内用于承载基板的载台，还包括设置在烘烤室的顶盖上的排气装置以及设置在烘烤室的侧壁上的吹气装置，吹气装置用于在将基板放置到载台过程中，向烘烤室吹入热空气。吹气装置在基板放置到载台过程中，向烘烤室内吹入热空气，可以防止外部冷空气在此过程中进入烘烤室，从而防止烟气凝固。本发明实施例还提出了一种烘烤方法。本发明实施例的烘烤设备及烘烤方法，可以避免烟气在烘烤室内壁上凝固聚集，提升了基板的良率，降低了设备的稼动率，降低了成本。
一种烘烤设备方法

[实用新型]烘烤装置-CN201920476498.7有效
发明人：陈亚文;史文 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种烘烤装置，包括箱体、加热板、溶剂消除部件和气体驱动部件，箱体具有烘烤腔，加热板、溶剂消除部件和气体驱动部件设于烘烤腔内，加热板用于承载和烘烤基板，溶剂消除部件用于消除基板经烘烤所蒸发的溶剂，气体驱动部件用于驱动烘烤腔内的气体在烘烤腔内循环运动。该烘烤装置在箱体的烘烤腔内设置有溶剂消除部件和气体驱动部件，在一次烘烤工艺完成后，可及时地通过气体驱动部件驱动烘烤腔内的气体运动，从而使气体不断地与溶剂消除部件接触，于是烘烤基板时被加热板所蒸发的溶剂可有效地被溶剂消除部件吸收除去，如此可维持烘烤腔内纯净的氮气氛围，避免反复烘烤造成的溶剂氛围累积以及基板不同功能层之间的溶剂污染。
烘烤腔溶剂消除气体驱动部件加热板烘烤基板烘烤装置烘烤溶剂基板蒸发本实用新型驱动部件接触氮气氛围气体运动溶剂氛围溶剂污染一次烘烤功能层内循环有效地承载吸收

[发明专利]一种烘烤装置及烘烤方法-CN201710857275.0在审
发明人：沈顺杰;宋江江 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明提供一种烘烤装置及方法，用于对基板的烘烤加工，所述装置包括箱体、设于箱体内的灯源；箱体包括对基板烘烤的烘烤腔，灯源位于烘烤腔顶部，灯源与烘烤腔之间间隔设有透光的隔热板，供灯箱的光源进入烘烤腔。所述灯源和加热器同时工作，使烘烤腔内加热到预设加热温度，并在预设控温时间内保持恒温，灯源达到预设照射强度，并在预设照射时间内保持照射状态。所述烘烤装置同时加热与照射样品能够解决在烘烤过程中提高基板的色阻在显影后的光阻交联程度，并减少基板的加工步骤和工时，从而减少材料及人力的成本投入。
一种烘烤装置方法

[实用新型]一种梯台式光纤连接器烘烤装置-CN201721825564.4有效
发明人：曾蓉 -专利权人：成都艾特信科技有限责任公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了梯台式光纤连接器烘烤装置，包括烘烤炉基座，烘烤炉基座顶端部装配电加热基板，电加热基板顶部设置网孔状散热板，网孔状散热板两端侧装配竖向卡扣式滑槽，竖向卡扣式滑槽顶部装配烘烤板，烘烤板上均匀布设烘烤槽；烘烤板与网孔状散热板之间设置有旋涡式散热风机；电加热基板底端部设置有嵌入式温度传感器，嵌入式温度传感器外接PLC控制器，电加热基板外接温度控制开关，温度控制开关连接PLC控制器。本实用新型便于对烘烤工艺段的温度进行精确控制，提高光纤连接器的烘烤效率，缩短烘烤时间，提高获得的光纤连接器的产品质量。
光纤连接器电加热烘烤板散热板网孔状烘烤装配温度控制开关本实用新型温度传感器烘烤装置烘烤炉卡扣式嵌入式梯台式滑槽基板竖向外接PLC控制器基板底端基板顶部基座顶端散热风机工艺段烘烤槽旋涡式布设外接