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[实用新型]坩埚轴-CN202222793656.6有效
发明人：李艮友 -专利权人：无锡市奥威斯机械制造有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： B01L9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及坩埚轴技术领域，具体为坩埚轴，包括连接柱和防脱装置，所述连接柱的下表面固定连接有主体，所述连接柱的上表面固定连接有连接帽，所述连接帽的表面设置有软管，所述防脱装置设置在连接帽的表面，所述防脱装置包括连接块和连接头
坩埚

[实用新型]坩埚轴及包括该坩埚轴的坩埚组合体-CN201220565127.4有效
发明人：毛静;李侨;马少林 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2012-10-31 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚轴及包括该坩埚轴的坩埚组合体，所述坩埚轴包括托盘且通过支撑杆支撑，支撑杆设有隔热件，托盘与坩埚本体紧密配合。本实用新型坩埚轴由托盘与支撑杆构成，可选用刚度、强度高且抗腐蚀、抗热震能力强的材料作为支撑杆，并在支撑杆外部或内部设置隔热件，可有效阻止热量从支撑杆的外缘面散发，提高了坩埚组合体的保温效果，降低了热损耗，延长了坩埚轴及坩埚本体的使用寿命，降低了设备成本和生产成本。同时，坩埚轴与坩埚本体紧密配合，可实现准确控制坩埚本体的转动。
坩埚包括组合

[发明专利]用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备-CN202011629059.9有效
发明人：袁长路;苗江涛 -专利权人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备，坩埚升降机构包括坩埚轴、称重组件和调节组件，坩埚适于安装在坩埚轴上，坩埚轴用于驱动坩埚上下移动和驱动坩埚绕坩埚轴的中心轴线转动，称重组件与坩埚轴配合，且用于称量坩埚轴上的承载重量并输出称重信息，调节组件连接坩埚轴和称重组件，且用于调整坩埚轴和称重组件在坩埚轴的轴向上的相互作用力。根据本发明的用于晶体生长设备的坩埚升降机构，具有良好的称量稳定性和准确性。
用于晶体生长设备坩埚升降机构

[实用新型]坩埚传动组件与晶体生长装置-CN202222196863.3有效
发明人：陈俊宏 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚传动组件与具有其的晶体生长装置。该坩埚传动组件用于晶体生长装置中，包括：坩埚轴，所述坩埚轴具有坩埚安装部；连接轴，所述连接轴与所述坩埚轴通过螺纹连接；驱动轴，所述驱动轴与所述连接轴通过螺纹连接，且所述驱动轴还与所述坩埚轴通过螺纹连接。根据本实用新型的坩埚传动组件能避免传动力集中在同一位置的螺牙上，能延长坩埚轴的使用寿命。
坩埚传动组件晶体生长装置

[实用新型]坩埚冷却轴-CN201820367223.5有效
发明人：肖亚东;高鹏飞;黄宇彬 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提出一种坩埚冷却轴，其包括一热电偶、一套管以及一冷却水循环管道，所述热电偶包括一固持端以及自固持端凸伸出的一轴身，所述冷却水循环管道紧贴轴身设置，所述套管包覆于冷却水循环管道和轴身侧周，所述轴身远离固持端上的一端凸伸出套管，所述轴身与套管相接处、固持端与套管相接处均焊接固定，所述管套上开设有一进水口和一出水口，所述进水口和出水口均与冷却水循环管道连通，冷却水自进水口进入冷却水循环管道并自出水口流出。本坩埚冷却轴，能够为半导体晶体的生长过程提供可靠的温度检测数据，成本低廉，结构简单，能够与移动装置进行配合使用，固定牢靠，适用于多种半导体晶体的生长过程。
冷却水循环管道固持端轴身出水口进水口冷却轴套管坩埚半导体晶体生长过程热电偶相接处温度检测数据伸出本实用新型焊接固定移动装置冷却水套管包管套一轴紧贴连通流出

[发明专利]一种坩埚装置-CN201810607725.5在审
发明人：李留臣;周正星;孟德;周洁;王建康 -专利权人：江苏星特亮科技有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种坩埚装置，包括坩埚本体、设于坩埚本体下方的用于为坩埚本体传热的坩埚轴、可上下活动的设于坩埚轴上的用于托起坩埚本体的坩埚托盘、设于坩埚托盘和坩埚本体之间的隔热层，坩埚轴穿过隔热层抵设于坩埚本体的底部本发明一种坩埚装置，通过在坩埚本体底部设置用于传热的坩埚轴，并在坩埚本体和坩埚托盘之间设置隔热层，优化了坩埚本体底部的热传导路径，使热量只能通过坩埚本体和坩埚轴的接触点处传走，对坩埚本体内部位于该接触点上方的区域优先降温，使生长的人工晶体仅在该区域处形核，使坩埚本体中生长的人工晶体形核于一处，提高了人工晶体的生长质量。
坩埚本体坩埚轴人工晶体坩埚托盘坩埚装置隔热层传热接触点形核生长热传导路径上下活动托起穿过优化

[实用新型]一种坩埚装置-CN201820914662.3有效
发明人：李留臣;周正星;孟德;周洁;王建康 -专利权人：江苏星特亮科技有限公司
申请日： 2018-06-13 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚装置，包括坩埚本体、设于坩埚本体下方的用于为坩埚本体传热的坩埚轴、可上下活动的设于坩埚轴上的用于托起坩埚本体的坩埚托盘、设于坩埚托盘和坩埚本体之间的隔热层，坩埚轴穿过隔热层抵设于坩埚本体的底部本实用新型一种坩埚装置，通过在坩埚本体底部设置用于传热的坩埚轴，并在坩埚本体和坩埚托盘之间设置隔热层，优化了坩埚本体底部的热传导路径，使热量只能通过坩埚本体和坩埚轴的接触点处传走，对坩埚本体内部位于该接触点上方的区域优先降温，使生长的人工晶体仅在该区域处形核，使坩埚本体中生长的人工晶体形核于一处，提高了人工晶体的生长质量。
坩埚本体坩埚轴人工晶体坩埚托盘坩埚装置隔热层本实用新型传热接触点形核生长热传导路径上下活动托起穿过优化

[实用新型]一种单晶炉用坩埚托杆及单晶炉-CN202022608467.8有效
发明人：赵刚;张燕辉;高磊 -专利权人：内蒙古华耀光电科技有限公司
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶炉用坩埚托杆及单晶炉，坩埚托杆在与坩埚轴形成可拆卸的固定连接时，坩埚托杆的底端外锥面能够与坩埚轴的顶端内锥面相接触；其特征在于：在坩埚托杆的底端外锥面上设置有通气道，坩埚托杆在与坩埚轴相连接时，坩埚托杆的底端外锥面与坩埚轴的顶端内锥面之间能够通过通气道与大气相通。本实用新型在坩埚托杆的底端外锥面上设置通气道，在坩埚托杆的底端外锥面与坩埚轴的顶端内锥面之间形成通气结构。在单晶炉热态运行过程中，能够通过通气道实现坩埚托杆与坩埚轴接触锥面间的通气，从而可以防止坩埚托杆及坩埚轴锥面挤紧抱死，在拆装时不易损毁坩埚托杆，进而延长坩埚托杆的使用寿命、减少坩埚托杆损耗、降低生产成本
一种单晶炉用坩埚单晶炉

[发明专利]用于工业分析仪的送取样机械手-CN201010565654.0有效
发明人：朱先德;何瑞华 -专利权人：湖南三德科技发展有限公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G01N35/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于工业分析仪的送取样机械手，包括坩埚支撑组件和坩埚夹组件，所述坩埚支撑组件包括坩埚支撑轴以及位于坩埚支撑轴底部的升降运动驱动组件和水平运动驱动组件，所述坩埚夹组件包括坩埚夹和坩埚夹支撑轴，所述坩埚夹组件还包括一令坩埚夹支撑轴以坩埚支撑轴为旋转中心转动的旋转组件。
用于工业分析取样机械手

[实用新型]一种坩埚钳-CN201220696860.X有效
发明人：侯景芳;孙露敏;李艳敏;李苹苹;黎海红;刘淑英;于海洋 -专利权人：山东商务职业学院
申请日： 2012-12-17 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： B01L9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种坩埚钳，属于实验室用夹持装置技术领域。其特征在于包括坩埚钳嘴，坩埚钳嘴的一侧连接有坩埚轴部前端圆弧状曲面，坩埚轴部前端圆弧状曲面的左端通过坩埚钳轴部连接有右坩埚钳外径柄，坩埚轴部前端圆弧状曲面的右端通过坩埚钳轴部连接有左坩埚钳外径柄，右坩埚钳外径柄的另一侧连接有右坩埚钳内径柄，左坩埚钳外径柄的另一侧连接有左坩埚钳内径，左坩埚钳内径、右坩埚钳内径柄的端部连有坩埚钳把手，所述左坩埚钳外径柄与左坩埚钳内径、右坩埚钳外径柄与右坩埚钳内径柄是通过坩埚钳可调螺丝连接的。本实用新型结构简单，坩埚钳钳柄的长度可以自行调节，使用方便，同时避免加热器皿的损坏及操作人员烫伤，节省了资金。
一种坩埚

[发明专利]具备改进的水冷却结构的坩埚轴-CN201110186144.7无效
发明人：朱亮;王魏;郭建宇;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及硅单晶生产的单晶炉设备，旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状，坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管；坩埚轴的内部设有一个空腔，该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构；进水管或出水管延伸至空腔中，且在其延伸段末端外沿环设一挡水板，使得挡水板与坩埚轴前端壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。在原有坩埚轴的基础上，对坩埚轴的内部冷却水流通水路的结构作了合理的优化，坩埚轴冷却效率由原来的30％提高至80％，坩埚轴使用过程中未曾发生与石墨轴烧结、坩埚轴紧固螺丝熔断等现象。
具备改进水冷结构坩埚

[实用新型]具备改进的水冷却结构的坩埚轴-CN201120234074.3有效
发明人：朱亮;王魏;郭建宇;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅单晶生产的单晶炉设备，旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状，坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管；坩埚轴的内部设有一个空腔，该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构；进水管或出水管延伸至空腔中，且在其延伸段末端外沿环设一挡水板，使得挡水板与坩埚轴前端壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。在原有坩埚轴的基础上，对坩埚轴的内部冷却水流通水路的结构作了合理的优化，坩埚轴冷却效率由原来的30％提高至80％，坩埚轴使用过程中未曾发生与石墨轴烧结、坩埚轴紧固螺丝熔断等现象。
具备改进水冷结构坩埚

[实用新型]单晶炉用坩埚轴-CN201020213850.7有效
发明人：周凯忠 -专利权人：宁夏日晶电子科技有限公司
申请日： 2010-06-03 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型属于单晶炉制造技术领域，涉及直拉法单晶炉用坩埚轴。一种单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩埚轴本体套装在内管外，坩埚轴本体和内管之间有间隙，还包括芯轴和滑动轴承，所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头，轴头设置在主轴上端，旋转接头设置在主轴下端，所述主轴和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔，所述坩埚轴本体内开有空腔，芯轴设置在空腔中通过滑动轴承安装在内管上端，芯轴轴心开有和内管连通的通孔，所述芯轴通过固定销固定在坩埚轴本体上，芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。本实用新型与现有技术相比，本实用新型在坩埚轴内部增设芯轴，大大提高了坩埚轴的水冷效果，并且本实用新型安装简单。
单晶炉用坩埚

[发明专利]工业分析仪用送取样机械手-CN201010565607.6有效
发明人：朱先德;何瑞华 -专利权人：湖南三德科技发展有限公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种工业分析仪用送取样机械手，包括坩埚支撑组件和坩埚夹组件，所述坩埚支撑组件包括坩埚支撑轴以及位于坩埚支撑轴底部的升降运动驱动组件和水平运动驱动组件，所述坩埚夹组件包括坩埚夹和坩埚夹支撑轴，所述坩埚支撑轴由上至下包括旋转段和固定段，所述坩埚夹组件还包括一令坩埚夹支撑轴和旋转段一起转动的旋转组件。
工业分析仪用送取样机械手

[实用新型]一种坩埚轴-CN201920245516.0有效
发明人：徐永亮;于海群;冯微 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种坩埚轴，包括坩埚轴本体与四根形状相同的增强导热柱，四根增强导热柱均匀设置在坩埚轴本体的侧边缘，增强导热柱的高度与坩埚轴本体的高度相等，坩埚轴本体的结构为圆柱体。本申请所提供的坩埚轴解决现有技术中由于泡生法蓝宝石单晶生长过程中由于受到坩埚底部鸟笼加热器的影响，传统圆柱形坩埚轴顶部截面面积受限，不能有效满足于大尺寸、高质量的蓝宝石晶体生长的问题，本申请提供的坩埚轴增大了坩埚轴顶部与坩埚底部的接触面积，从而增大坩埚底部温度梯度，可以起到有效导热的作用，为蓝宝石晶体生长的收尾阶段提供了良好的有利条件，提高了晶体质量以及晶体利用率。
坩埚轴坩埚轴本体导热柱坩埚蓝宝石晶体生长申请加热器导热晶体利用率蓝宝石单晶鸟笼传统圆柱顶部截面高度相等均匀设置面积受限生长过程收尾阶段温度梯度侧边缘泡生法

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