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- [发明专利]掩膜组件及套准量测方法-CN201811379700.0在审
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不公告发明人
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长鑫存储技术有限公司
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2018-11-20
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2020-05-26
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G03F1/42
- 本发明提供一种掩膜组件及套准量测方法，掩膜组件包括：第一掩膜、第二掩膜及第三掩膜，第一掩膜内形成有第一标记图形，第一标记图形包括第一主标记图形及第二主标记图形；第二掩膜内形成有第二标记图形，第二标记图形对应于第一标记图形的一侧，且与第一标记图形具有间距；第二标记图形包括第三主标记图形及第四主标记图形；第三掩膜内形成有第三标记图形，第三标记图形包括第五主标记图形、第六主标记图形、第七主标记图形及第八主标记图形。本发明的掩膜组件中的标记图形可以减小标记图形在晶圆上所占的面积；同时在光刻后进行套准量测时还可以显著降低所需量测的次数，提高套准量测的效率。
- 组件套准量测方法
- [发明专利]套刻标记和套刻误差测试方法-CN201910904325.5有效
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邹斌;张胜安
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长鑫存储技术有限公司
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2019-09-24
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2022-09-27
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G03F9/00
- 本发明涉及一种套刻标记和套刻误差测试方法，该套刻标记包括第一标记图形、第二标记图形和套刻点组。第一套刻标记包括第一标记子图形，第二套刻标记包括第二标记子图形，第一标记图形和第二标记图形交叠位置形成的多个套刻点构成套刻点组。通过对位于第一标记图形和/或第二标记图形外围的第一标记子图形和/或第二标记子图形的长度、位置的设置的规定，可以在无需设置边框的前提下，正确获取套刻标记的边界。因此本发明的套刻标记有效地避免了当第一标记图形和第二标记图形发生位置偏移时，对套刻标记的边界获取错误，从而实现对具有多层光罩的相邻层之间套刻精度的准确测试。
- 标记误差测试方法
- [发明专利]一种掩模板及键合对准方法-CN201810739170.X有效
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任书铭
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2018-07-06
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2021-04-02
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G03F9/00
- 本发明公开了一种掩模板及键合对准方法，图形区包括至少四个掩模图形，每个掩模图形包括一个对位标记图形，任一对位标记图形为第一对位标记图形或第二对位标记图形，当掩模板沿水平镜像或垂直镜像翻转180度后，翻转后的第一对位标记图形与翻转前相对应的第二对位标记图形相对准，翻转后的第二对位标记图形与翻转前相对应的第一对位标记图形相对准；当掩模板沿掩模图形的一排布方向平移设定长度后，平移后的第一对位标记图形与平移前相对应的第二对位标记图形相对准，平移后的第二对位标记图形与平移前相对应的第一对位标记图形相对准本发明实施例能够兼容面对面型和背对面型键合的掩模板图形要求，无需采用两种掩模板，节省了成本和支出。
- 一种模板对准方法
- [发明专利]一种掩膜版的布局方法及装置、掩膜版-CN202010287352.5在审
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李静
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长鑫存储技术有限公司
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2020-04-13
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2021-10-22
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G03F1/42
- 本发明公开了一种掩膜版的布局方法及装置、掩膜版，其中，掩膜版的布局方法包括：在掩膜版上形成阵列排布的芯片图形；每相邻两个芯片图形之间形成有切割道，切割道用于设置标记图形；标记图形至少包括第一标记图形；根据第一标记图形的量测对准需要，获取第一标记图形的分割单元的设定个数；将设定个数的分割单元依次设置于切割道上，使得第一标记图形未覆盖其他标记图形；设置第一标记图形单体替换至少两个相邻设置的分割单元，设置于切割道上；其中，第一标记图形单体与至少两个相邻设置的分割单元拼接形成的图形完全重合本发明提供的技术方案，可解决人工布局标记图形效率低，且精确度低的问题。
- 一种掩膜版布局方法装置
- [发明专利]光刻对准方法及系统-CN202010468233.X有效
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冯耀斌
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长江存储科技有限责任公司
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2020-05-28
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2021-06-01
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G03F7/20
- 本发明提供了一种光刻对准方法及系统，方法如下：在有第一图形层的衬底上形成第二图形层，在光刻时获取第一图形层对准标记位置信息；量测第二图形层套刻偏差并计算第一、第二图形层的实际对准标记相对偏差；在第二图形层上形成第三图形层，在光刻时获取第二图形层的对准标记位置信息；将实际对准标记相对偏差代入第二图形层对准标记位置信息，得到第一图形层计算对准标记位置信息并根据计算对准标记位置信息完成第三图形层的对准。本发明通过获取第一、第二图形层的对准标记位置信息及套刻偏差，得到其实际对准标记相对偏差，并用于第三图形层对准。该方法有效消除了第三图形层对第一图形层间接对准的对准偏差，使对准更精确，提升了产品良率。
- 光刻对准方法系统
- [发明专利]对版标记、套刻对版标记的方法及其对准方法-CN202211080759.6在审
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朱肖肖;赵阳洋;赵子仪;王伟明;徐畅
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雄安创新研究院
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2022-09-05
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2022-12-16
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G03F9/00
- 本发明提供一种对版标记、套刻对版标记的方法及其对准方法，其中，套刻标记包括：至少一第一细定位标记图形，设置在第一材料层上；第一细定位标记图形为梳齿状图形，其中，正中间的梳齿记为第一中间梳齿，第一中间梳齿的长度大于其它梳齿的长度；和至少一第二细定位标记图形，设置在第二材料层上；第二细定位标记图形为梳齿状图形，其中，正中间的梳齿记为第二中间梳齿，第二中间梳齿的长度大于其它梳齿的长度；套刻时，第一细定位标记图形与第二细定位标记图形的梳齿的开口方向相对设置，其中，第一细定位标记图形与第二细定位标记图形中的对应齿的宽度及间隔相同。本发明提供的套刻标记可以提高对准精度。
- 标记方法及其对准
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