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[发明专利]套刻偏差值的修正方法、电子设备及计算机可读存储介质-CN202010746691.5有效
发明人：张利斌;韦亚一;冯耀斌;陆聪 -专利权人：中国科学院微电子研究所;长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种套刻偏差值的修正方法、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：提供一包含多个曝光区域的晶圆；选择若干曝光区域，从所选的曝光区域中确定若干待测套刻标识；对每一待测套刻标识的图像进行多次计算，获得若干套刻偏差测量值；计算套刻偏差测量值的平均值和标准差，分别以平均值和标准差作为套刻偏差值和测量误差值；根据各测量误差值的大小设置与其呈负相关的权重；利用各测量误差值和设置的权重对各套刻偏差值进行加权赋值修正。本申请的方法将套刻偏差测量值的平均值和标准差分别作为套刻偏差值和测量误差值，基于测量误差值对套刻偏差进行了修正，在计算套刻修正参数时充分考虑测量误差的影响，提升了套刻修正准确性。
偏差修正方法电子设备计算机可读存储介质

[实用新型]一种生物介质分离式培养装置-CN202221258294.4有效
发明人：闫卫国;冯耀斌;赵朋辉 -专利权人：天津市沃维科技有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B01L1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物介质分离式培养装置，涉及生物介质领域，包括培养主箱，所述培养主箱的底面垂直向下对接有底支撑杆，所述培养主箱的一侧边水平均匀开设有侧开口槽，所述侧开口槽的内侧边水平卡接有密封盖板，所述密封盖板的一侧边卡接有锁扣块，所述密封盖板的一侧边水平镶嵌有控制面板，所述培养主箱的底面竖直向均匀开设有底螺孔，所述底支撑杆的顶端垂直向上焊接有连接螺杆，所述培养主箱的内侧边固定套接有内保温层，所述内保温层的内侧边水平焊接有隔离分板。本实用新型装置设计结构简单操作简便，在采用了多环境集中设计使得可以满足多要求使用，同时一体化集中培养操作使得更加的便捷高效。
一种生物介质分离培养装置

[发明专利]自对准金属层的制造方法、半导体器件及电子设备-CN202010721282.X有效
发明人：张利斌;韦亚一;冯耀斌 -专利权人：中国科学院微电子研究所;长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本公开提供一种自对准金属层的制造方法、半导体器件及电子设备。该方法包括：对金属层的设计掩模进行工艺可制造拆分；提供衬底，包括用于制作金属层的目标薄膜层；利用第一子掩模在目标薄膜层上形成第一结构图案，并贴着第一结构图案的侧壁形成侧墙；利用第二子掩模进行光刻和刻蚀，在第一结构图案所在的掩模涂层基于自对准效应形成对应的第二结构图案；去除第一结构图案，留下侧墙和第二结构图案；以侧墙和第二结构图案为掩模，对目标薄膜层进行图案化；在图案化后的目标薄膜层中形成金属层。本方案通过在第一次光刻刻蚀之后，施加侧墙工艺，有效保护了多重光刻图形之间的最小间距，降低了金属层的套刻偏差，提升了工艺制造良率。
对准金属制造方法半导体器件电子设备

[实用新型]一种光刻处理装置-CN202122198785.6有效
发明人：刘洋;冯耀斌;温志贤;廖文祥;郭荣中;许铭源;倪莉 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本申请公开了一种光刻处理装置，包括：反应腔室、连接器，及设于所述反应腔室与所述连接器之间的传输管道；所述传输管道包括第一管道和第二管道；其中，所述反应腔室内产生的蒸汽依次经所述第一管道、所述第二管道和所述连接器后输出；所述反应腔室内产生的蒸汽经过所述第一管道时发生降温，经过所述第二管道时发生结晶。本申请实施例中通过设置第一管道对所述蒸汽进行散热，使得反应腔室内产生的蒸汽在第二管道产生结晶，从而使得流过连接器的蒸汽为结晶后的蒸汽，以防止连接器因结晶而造成堵塞。
一种光刻处理装置

[实用新型]一种新型二氧化硅检测仪一体机-CN202120860705.6有效
发明人：闫卫国;冯耀斌;赵朋辉 -专利权人：中世沃克（天津）科技发展股份有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型二氧化硅检测仪一体机，包括底座，所述底座垂直一侧螺栓固定有显示器，且底座上部中间位置处开有放置孔，所述放置孔上部水平设有放置盘，且放置盘靠近显示器一侧上部水平螺纹固定有连接杆，所述底座上部靠近显示器一端中间位置处垂直插设第一齿柱，所述底座远离显示器一侧两端均垂直熔接有连接块，且两个所述连接块相对靠近两侧转动连接有同一个第二齿柱，所述放置盘上部水平设有检测罩，本实用新型，实现检测罩打开带动放置盘自动升起，无需检测人员手动拿起，方便了监测流程，保证了无接触检测，实现放置盘升起后被转动带至检测机一旁，进行加料取料，避免加料取料时粉末等落入检测机内，影响其使用效果。
一种新型二氧化硅检测一体机

[实用新型]一种红外分光光度计-CN202120898179.2有效
发明人：续建国;冯耀斌;赵朋辉 -专利权人：中世沃克（天津）科技发展股份有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种红外分光光度计，包括外壳，所述外壳的两侧外壁均开设有开口，且两个开口的内壁均滑动连接有散热机构，所述散热机构包括散热箱，且散热箱呈T形结构，所述散热箱顶部外壁开设有矩形口，且矩形口的内壁固定连接有防护网，所述散热箱的内壁固定连接有笼架，且笼架的内壁固定连接有除尘布袋，所述散热箱的内壁固定连接有同一个风扇，所述散热箱的一侧外壁开设有开口。本实用新型通过在外壳的两侧设置隐藏的散热机构，提高散热效率的同时，有效的避免光度计不工作时灰尘通过散热口进而外壳内的问题。
一种红外分光光度计

[发明专利]一种低温膨化活菌酸奶溶豆及其制备方法-CN201810271733.7有效
发明人：麻杰;彭晓光;王慕华;杜莹;张国柱;冯耀斌;刘福;宋崴 -专利权人：山西省生物研究院有限公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： A23C9/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种低温膨化活菌酸奶溶豆，由以下质量配比的原料制备而成：酸奶100‑150、蔗糖30‑50、脱脂奶粉40‑60、淡奶油20‑50、麦芽糊精10‑15、木薯淀粉10‑15；本发明的酸奶溶豆由以下步骤制备而成：设备准备、原料备料、原料混料、物料成型、膨化定型、干燥制备，本发明的低温膨化活菌酸奶溶豆，采用低温膨化，通过缓慢降低压力至‑0.4bar至‑0.9bar，温度为30‑45℃，既获得了膨化食品疏松多孔的优良造型，温度为益生菌最佳的生长温度，最大程度的保证了酸奶中益生菌的活性，免于失活，而且由于酸奶溶豆的结构强度较低，缓慢降压不会使物料变成粉末，益生菌也不会大量失活。
一种低温膨化酸奶及其制备方法

[发明专利]用于在半导体制造中定位图案的标记-CN202010361086.6有效
发明人：张豆豆;邱瑾玉;宋之洋;何骏;高志虎;冯耀斌 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-02-13 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了半导体制造方法的实施例。在示例中，公开了一种用于形成标记的方法，所述标记用于在半导体制造中定位图案。将晶片划分成多个画面。所述多个画面中的每一个画面包括半导体芯片管芯。随后在所述多个画面中的四个相邻画面的四个角处分别图案化锁定角标记的四个四分之一。所述锁定角标记的每一个四分之一与所述锁定角标记的相邻四分之一对称并且与所述锁定角标记的所述相邻四分之一分开标称上相同的距离。将所述锁定角标记设定为用于在半导体制造中定位所述四个相邻画面中的至少一个画面中的图案的原点。
用于半导体制造定位图案标记

[实用新型]一种实验试剂配制装置-CN202021025251.2有效
发明人： 冯耀斌;赵旗峰;赵朋辉 -专利权人：天津市沃维科技有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： B01F11/00 文献下载
摘要：一种实验试剂配制装置。本产品其组成包括:圆环，圆环固定连接内固定环和外固定环，内固定环的顶部设置顶内盖环，顶内盖环延伸过内固定环，顶内盖环与内固定环通过螺钉固定，外固定环的顶部设置顶外盖环，顶外盖环延伸过外固定环，顶外盖环与外固定环通过螺钉固定，内固定环与外固定环之间装有滑动块，滑动块连接支撑柱，支撑柱的顶部固定连接圆托板，圆托板为球冠形，圆托板连接配制容器的底部、并粘接固定，滑动块的底部开有插槽，插槽内装有圆轮，滑动块与圆轮之间通过固定轴连接，固定轴的两端均连接在插槽的两侧。本实用新型用于实验试剂配制。
一种实验试剂配制装置

[发明专利]光刻对准方法及系统-CN202010468233.X有效
发明人： 冯耀斌 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻对准方法及系统，方法如下：在有第一图形层的衬底上形成第二图形层，在光刻时获取第一图形层对准标记位置信息；量测第二图形层套刻偏差并计算第一、第二图形层的实际对准标记相对偏差；在第二图形层上形成第三图形层，在光刻时获取第二图形层的对准标记位置信息；将实际对准标记相对偏差代入第二图形层对准标记位置信息，得到第一图形层计算对准标记位置信息并根据计算对准标记位置信息完成第三图形层的对准。本发明通过获取第一、第二图形层的对准标记位置信息及套刻偏差，得到其实际对准标记相对偏差，并用于第三图形层对准。该方法有效消除了第三图形层对第一图形层间接对准的对准偏差，使对准更精确，提升了产品良率。
光刻对准方法系统

[发明专利]用于以基于衍射的叠加量测为基础评估临界尺寸的系统和方法-CN201980002496.7有效
发明人： 冯耀斌 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：提供了用于评估半导体器件的临界尺寸的系统和方法。示例性系统包括至少一个处理器和存储指令的至少一个存储器。所述指令在由至少一个处理器执行时使至少一个处理器执行操作。所述操作包括接收半导体器件的第一层上的第一叠加标记集合的信息以及半导体器件的第二层上的第二叠加标记集合的信息。第一层低于第二层。所述操作还包括接收从第一层和第二层上的对应叠加标记测量的多个衍射参数。所述操作还包括基于多个衍射参数来确定第二层上的临界尺寸的变化。
用于基于衍射叠加基础评估临界尺寸系统方法

[发明专利]监控光罩使用的方法和系统-CN201910001874.1有效
发明人： 冯耀斌 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-01-02 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种监控光罩使用的方法和系统，其中监控光罩使用的方法通过在每一个光罩上均设置同一基准点，使不同版本的光罩上的对准标记与基准点的距离不同，当前层光刻和当层光刻是存在光罩的异常使用或混用时，套刻测量的结果会出现非常大的异常(套刻的测量值与设定值的差值大于或等于容忍度)，从而通过套刻的测量不仅可以判断前层光刻和当层光刻的对准精度，还可以判断前层光刻和当层光刻使用的光罩是否存在混用或异常使用的问题，以避免晶圆的报废。
监控使用方法系统

[发明专利]测量晶圆套刻精度的方法和设备、计算机可读存储介质-CN202010064505.X有效
发明人：吴振国;冯耀斌 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种测量晶圆套刻精度的方法和设备、计算机可读存储介质。测量晶圆套刻精度的方法包括：确定测量晶圆套刻精度的第一测试点及第二测试点，第一测试点与第二测试点相对晶圆的中心对称；分别获取第一测试点及第二测试点对应的图形重合信号及对应的套刻精度，套刻精度包括第一套刻值及第二套刻值，第一测试点的第一套刻值与第二测试点的第一套刻值相反；确定单纯的第二图形信号与单纯的第二套刻值的对应关系，且根据第一测试点的第二图形信号及此对应关系，能够得到第一测试点的第二套刻值。本申请提供的测量晶圆套刻精度的方法能够区分总的套刻精度中由某一因素引起的第二套刻值，为工艺提供更多的参数信息。
测量晶圆套刻精度方法设备计算机可读存储介质

[实用新型]一种化学实验试剂架-CN202020665287.0有效
发明人：续建国;冯耀斌;赵朋辉 -专利权人：天津市沃维科技有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B01L9/06 文献下载
摘要：一种化学实验试剂架，包括试管、试剂架底座、试管固定板、定位插套、定位插杆、固定连接板、高度调节板、螺杆支撑板，所述试剂架底座上部连接试管,试剂架底座两侧连接固定连接板,所述固定连接板对称设置，固定连接板上部通过圆环螺钉连接高度调节板,所述高度调节板在固定连接板上滑动，固定连接板两侧具有定位凸起,所述定位凸起对称设置，高度调节板一侧具有两个定位滑槽,所述定位滑槽对称设置，定位滑槽与定位凸起相适应，定位滑槽内侧连接定位凸起,所述定位凸起在定位滑槽内滑动，高度调节板另一侧具有拉手。
一种化学实验试剂

[实用新型]液相色谱的废液回收装置-CN202020681311.X有效
发明人： 冯耀斌;赵旗峰;赵朋辉 -专利权人：天津市沃维科技有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B01D15/24 文献下载
摘要：液相色谱的废液回收装置，包括废液回收罐、进液斗、进液斗紧固套、紧固连接杆、固定连接架、固定连接套、固定连接板、进液斗上盖，所述废液回收罐下部具有多个辅助固定板,所述辅助固定板均匀分布在废液回收罐下部,废液回收罐外侧具有定位凸环，废液回收罐上部具有进液口,所述进液口内侧连接进液斗,所述进液斗上部连接进液斗上盖,所述进液斗上盖在进液斗内滑动，进液斗外侧连接两个进液斗紧固套,所述进液斗紧固套对称设置，进液斗紧固套两端连接相对称的进液斗紧固套，所述进液斗紧固套外侧具有两个一号连接耳,所述一号连接耳对称设置。
色谱废液回收装置

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