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[发明专利]微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法-CN202010094497.3在审
发明人：黄安;王俊星;朱景辉;徐尚君;高威;朱充沛 -专利权人：南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
申请日： 2020-02-16 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法，涉及微型发光二极管领域，微型器件的转移方法，包括以下步骤：S1：带有梯形凹槽的微型器件转移头与待转移的微型器件所在的暂态基板对位贴合；S2：真空压贴将微型器件压入微型器件转移头的梯形凹槽内；S3：微型器件转移头带走微型器件及其底部的底部电极离开暂态基板；S4：微型器件转移头将微型器件转移至显示背板上，使微型器件底部的底部电极与显示背板键合；S5：移走微型器件转移头。本发明利用弹性材料制备出具有梯形凹槽的微型器件转移头，通过将带转移的微型器件压入微型器件转移头的梯形凹槽内从而实现微型器件的巨量转移。
微型器件转移及其制造方法

[发明专利]器件转移装置及其转移器件的方法、器件转移板-CN201710984927.7有效
发明人：陈黎暄 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-10-20 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种器件转移装置及其转移器件的方法、器件转移板。所述装置包括承载台、器件转移板和磁性构件，承载台具有承载面，承载面用于承载待接收器件的阵列基板；器件转移板具有附着面，附着面用于附着待转移的器件，器件转移板用于将待转移的器件移动至承载台的上方，并用于使得待转移的器件面向阵列基板；磁性构件置于承载台内或者置于承载台背向承载面的表面处，磁性构件用于生成磁场，以及用于在待转移的器件位于阵列基板的上方时向待转移的器件施加磁场作用力；器件转移板还用于在待转移的器件位于阵列基板的上方时释放器件，以使器件在重力和磁场作用力的共同作用下转移至阵列基板上的预定位置处。本发明能快速地将大量的器件设置于阵列基板上。
器件转移装置及其方法

[发明专利]一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法-CN201811381608.8在审
发明人：韩进龙 -专利权人：韩进龙
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本发明提供了一种微型器件转移装置、转移系统及转移方法，微型器件转移装置，包括，微型器件转移匣，存放微型器件，并将微型器件转移至转换机构的感应装置上；转换机构，包括感应装置和与感应装置相对设置的转写轮，利用电场感应转印技术进行微型器件的转移，将感应装置上的微型器件转移至转移基板上；清洁机构，将感应装置上未转移完全的微型器件回收。利用电场感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。
微型器件感应装置转移装置转移系统电场感应转换机构转印技术电子制造领域清洁机构相对设置转移基板转移效率错误率转写轮准确率回收

[实用新型]一种微型器件转移装置及转移系统-CN201821909442.8有效
发明人：韩进龙 -专利权人：韩进龙
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微型器件转移装置及转移系统，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本实用新型提供了一种微型器件转移装置及转移系统，微型器件转移装置，包括，微型器件转移匣，存放微型器件，并将微型器件转移至转换机构的感应装置上；转换机构，包括感应装置和与感应装置相对设置的转写轮，利用电场感应转印技术进行微型器件的转移，将感应装置上的微型器件转移至转移基板上；清洁机构，将感应装置上未转移完全的微型器件回收。利用电场感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。
微型器件感应装置转移装置转移系统本实用新型电场感应转换机构转印技术电子制造领域清洁机构相对设置转移基板转移效率错误率转写轮准确率回收

[发明专利]一种微器件转移方法-CN202110695722.3在审
发明人：潘章旭;龚政;郭婵;刘久澄;龚岩芬;王建太;庞超;胡诗犇;邹胜晗;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提供了一种微器件转移方法，涉及器件转移技术领域。首先基于一原始衬底制作多个微器件，其中，多个微器件呈阵列排布；再将转移器件的粘接脚与多个微器件对准并转移至目标衬底，其中，转移器件由形状记忆有机物材料制作而成；再对转移器件施加外部刺激，以使转移器件的粘接脚收回，且粘接脚与微器件分离。本申请提供的微器件转移方法具有效率高、良率高以及成本低的优点。
一种器件转移方法

[发明专利]一种器件转移方法-CN201911168822.X在审
发明人：潘章旭;龚政;卢瀚仑;郭婵;刘久澄;龚岩芬;王建太 -专利权人：广东省半导体产业技术研究院
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供了一种器件转移方法，涉及器件转移技术领域。首先制作转移基板，其中，转移基板上包括转移柱；然后在转移柱的端部粘附转移胶质，其中，转移胶质在低于预设定温度时失粘；再利用转移胶质粘附待转移器件，并将待转移器件转移至目标基板；再降低转移胶质的温度至小于或等于预设定温度，以使转移胶质失粘；最后移除转移基板。本申请提供的器件转移方法具有提升了转移良率，且降低了器件转移成本的优点。
一种器件转移方法

[发明专利]一种微器件转移方法与器件转移装置-CN202010968120.6在审
发明人：郭婵;龚政;潘章旭;刘久澄;胡诗犇;王建太;庞超;龚岩芬;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2020-09-15 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供了一种微器件转移方法与器件转移装置，涉及器件转移技术领域。首先利用柔性转移装置拾起位于一原始衬底上的微器件，再利用柔性转移装置将微器件转移至目标曲面衬底，其中，目标曲面衬底上覆盖有第一粘附层，以通过第一粘附层与微器件连接，再对微器件与目标曲面衬底进行抽真空处理，以通过真空负压使微器件与目标曲面衬底共形贴合，最后剥离柔性转移装置。本申请提供的微器件转移方法与器件转移装置具有不易造成转移过程中微器件的损伤，且转移的可靠性更高的优点。
一种器件转移方法装置

[发明专利]一种微型器件转移装置、系统及转移方法-CN202010855338.0在审
发明人：韩进龙 -专利权人：韩进龙
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型器件转移装置、系统及转移方法，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本发明提供了一种微型器件转移装置、系统及转移方法，微型器件转移装置，包括，将微型器件转移至转换机构的接收装置上；转换机构，包括投射装置和与接收装置相对设置的转写轮，利用静电感应转印技术进行微型器件的转移，将接收装置上的微型器件转移至转移基板上。利用静电感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。
一种微型器件转移装置系统方法

[发明专利]一种微型器件转移装置及转移方法-CN202110628372.9有效
发明人：李义;徐成;梁振廷;秦燕亮;安宁;王玉;田德天;陈培培 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明公开一种微型器件转移装置及转移方法，主题一包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件本发明通过转动供给基板使得若干列转移头上的微型器件依次与接收基板相接触，并利用控制模块控制若干列转移头依次释放微型器件，使得若干列转移头上的微型器件依次转移，由于采用分批分列的方式转移微型器件，从而有效提高微型器件巨量转移方式的转移良率，提高微型器件的生成效率。
一种微型器件转移装置方法

[发明专利]微型器件转移头、微型器件的制造方法及其转移方法-CN201910991970.5在审
发明人：黄安;高威;朱充沛;张惟诚;郁杰 -专利权人：南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提出一种微型器件转移头、微型器件的制造方法及其转移方法，涉及微型发光二极管领域，转移方法包括以下步骤：S1：带有粘附性材料的微型器件转移头与待转移的且具有外围黏附层的微型器件所在的暂态基板阵列对位贴合；S2：微型器件转移头上的粘附性材料与微型器件的外围黏附层进行接触黏附；S3：微型器件转移头带走微型器件离开暂态基板并放置固定在显示背板上；S4：移走微型器件转移头。本发明通过在微型器件转移头上形成高台或凹型槽以及在其表面形成一层黏附性材料，利用黏附性材料使微型器件转移头与具有外围黏附层的微型器件对位贴合并进行接触黏附，帮助微型器件固定在显示背板上。
微型器件转移制造方法及其

[发明专利]一种器件转移方法及转移装置-CN202110791359.5有效
发明人：卢敬权;庄文荣;孙明 -专利权人：东莞市中麒光电技术有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种器件转移方法及转移装置，器件转移方法包括以下步骤：对带电荷的感光板进行曝光，使曝光处的电荷减少或者消失，形成正像及负像；移动所述感光板，使所述感光板的正像或负像吸附待转移的带电荷的器件，并将所述器件压在目标基板上；对所述目标基板施加与所述器件所带电荷极性相反的电压，以吸附所述器件；移动所述感光板，使所述器件脱离所述感光板。本发明实施例提供的一种器件转移方法及转移装置，可以实现器件的巨量转移，尤其适用于微小器件的巨量转移，提高巨量转移的效率，不仅适合生产新的目标基板，将器件批量转移至目标基板上，而且适合修复目标基板，在目标基板存在需修复器件的情况下批量修补器件
一种器件转移方法装置

[实用新型]一种微型器件转移装置和系统-CN202021786518.X有效
发明人：韩进龙 -专利权人：韩进龙
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微型器件转移装置和系统，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本发明提供了一种微型器件转移装置和系统，微型器件转移装置，包括，将微型器件转移至转换机构的接收装置上；转换机构，包括投射装置和与接收装置相对设置的转写轮，利用静电感应转印技术进行微型器件的转移，将接收装置上的微型器件转移至转移基板上。利用静电感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。
一种微型器件转移装置系统

[发明专利]光学器件的制备方法和光学器件-CN202110136772.8在审
发明人：覃秋军;王宇;黄志雷 -专利权人：北京与光科技有限公司
申请日： 2021-02-01 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：公开了一种光学器件的制备方法和光学器件。所述制备方法包括：提供一转移件和一待转移光学器件，其中，所述转移件包括具有规则的晶向结构的目标转移层；在所述待转移光学器件的表面形成一可透光介质层；以所述转移件的所述目标转移层键合于所述待转移光学器件的所述可透光介质层的方式，将所述转移件耦接于所述待转移光学器件；以及，保留所述转移件的所述目标转移层的至少一部分，以形成光学器件。这样，以如上所述的特定制备方法制得的所述光学器件的表面可以形成具有规则晶向结构的光学层结构。
光学器件制备方法

[发明专利]转移件、转移基板、转移装置及转移方法-CN202310629383.8在审
发明人：林柏青 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及显示技术领域，本申请实施例提供了转移件、转移基板、转移装置及转移方法。转移件至少包括转移本体、定位结构和压断结构。由于在借助转移件拾取发光器件时，可以先使发光器件相对于转移件定位后再与承载基板分离，提高了发光器件位置的准确性，通过压断支架的方式使得发光器件与承载基板相，改善了发光器件在拾取过程中被损坏的情形，而在分离转移件和发光器件的过程中，可以借助定位结构和压断结构的回弹作用力，可以改善发光器件相对于驱动基板产生偏移以及发光器件脱离于驱动基板且被损坏的情形，从而在整个转移过程中提高了转移发光器件的准确性，改善了发光器件被损坏的情形。
转移装置方法

[发明专利]微型器件的转移装置及微型器件的转移方法-CN201910301234.2有效
发明人：张炜炽;林金源;陈英杰;陆一民;吴逸蔚 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种微型器件的转移装置，包括：第一基底；转移基底，所述转移基底形成于所述第一基底上，所述转移基底用于承载多个微型器件；所述第一基底和所述转移基底之间还包括至少一个缓冲元件。本发明的微型器件的转移装置能够在转移微型器件时提供缓冲力，避免微型器件被损坏。
微型器件转移装置方法

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