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[发明专利]一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置-CN202110992230.0在审
发明人：田义良;廖青春;苗双柱;高广进;曹桂莲;赵新田 -专利权人：宁波合盛新材料有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C30B23/06 文献下载
摘要：本发明涉及单晶制备技术领域，具体涉及一种碳化硅单晶的制备方法及一种单晶长晶炉、单晶长晶炉的加热装置。本发明提供了一种单晶长晶炉的加热装置，包括第一加热器1和第二加热器2，所述第二加热器2包括多个独立工作的加热单元21，所述第一加热器1为蛇形加热器或平面螺旋形加热器，所述加热单元21为环形加热器，本发明提供的加热装置能够实现对所述单晶生长腔内的温度进行精确控制，从而制备SiC单晶时能够得到高质量、大尺寸的SiC单晶。
一种碳化硅制备方法单晶长晶炉加热装置

[发明专利]一种单晶炉炉盖-CN201310680359.3在审
发明人：潘燕萍 -专利权人：常州市天龙光电设备有限公司
申请日： 2013-12-12 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉炉盖，包括炉盖本体，所述的炉盖本体包括外炉盖和内炉盖，炉盖上设有观察窗；在所述的外炉盖与内炉盖上以炉盖本体的中心为圆心开设有一个圆环开口，圆环开口处的内外炉盖之间焊接形成凹槽，圆环开口与凹槽组合形成十字形圆环滑道；在十字形圆环滑道上设置一个与之相应的十字形圆环，两者滑动连接；所述的观察窗包括有视窗和视窗筒体，所述十字形圆环的竖直方向上设有与视窗筒体大小一致的螺纹孔，所述视窗筒体螺旋连接在所述的十字形圆环上。观察窗设置在与T形圆环开口滑动连接的T形圆环上，使得观察窗可以以炉盖中心为圆心作360度的旋转，全方位地观察单晶炉内的晶体的生长情况。
一种单晶炉炉盖

[实用新型]一种单晶炉用晶体提升旋转机构-CN201821145298.5有效
发明人：贡梦涛 -专利权人：常州益群新能源科技有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： C30B15/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用晶体提升旋转机构，属于单晶炉，旨在提供一种能够保护晶体的单晶炉用提升旋转机构，其技术方案要点是：包括主炉体，主炉体上端设置有筒状的副炉体，其特征是：副炉体侧面设置有提升装置，托晶装置包括副炉体下端朝外一侧周向设置有放置环，放置环两侧均设置有驱动气缸，两个驱动气缸的活塞杆铰接有转动板，转动板远离活塞杆一端转动连接有固定在副炉体上的转动轴，转动板通过螺栓连接有同样转动连接在转动轴上的匚形框，两块转动板分别螺栓连接在匚形框的两端，匚形框两端的距离大于两个驱动气缸之间的距离，匚形框中段朝向副炉体一端设置有盛放皿。本实用新型适用于单晶炉设备。
副炉体单晶炉转动板匚形框驱动气缸旋转机构本实用新型螺栓连接转动连接活塞杆主炉体转动轴下端技术方案要点单晶炉设备侧面设置提升装置一端设置周向设置晶体的上端朝外铰接盛放筒状中段

[实用新型]用于单晶炉的导流筒及单晶炉-CN202321289508.9有效
发明人：陈俊宏 -专利权人：中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的导流筒及单晶炉，单晶炉包括：导流筒、炉体和坩埚，导流筒包括：储料部，储料部限定出储料腔；弯曲部，弯曲部设于储料部的径向内侧，弯曲部限定出U形通道，U形通道的入口和出口均开口向下，且U形通道的入口与储料腔的顶部敞开口连通；缓冲部，缓冲部设于弯曲部的径向内侧，缓冲部限定出多个缓冲通道，多个缓冲通道沿缓冲部的周向方向均匀间隔设置；升降托板，升降托板设于储料腔内，且升降托板适于沿储料部的延伸方向上下移动根据本实用新型的用于单晶炉的导流筒，通过控制升降托板向上移动的距离，可实现硅料的少量、多次投放，有利于保证晶棒的生长品质。
用于单晶炉导流

[发明专利]一种碲锌镉单晶炉及碲锌镉单晶的生长工艺-CN201910484698.1有效
发明人：张明文;潘永志;陈琳 -专利权人：湖南大合新材料有限公司
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： C30B29/48 文献下载
摘要：一种碲锌镉单晶炉，包括炉体，炉体内设有石英安瓿，石英安瓿中设有氮化硼坩埚，炉体外部设有激磁线圈，石英安瓿下方设有导热装置，炉体相对于垂直方向倾斜3°‑15°。一种碲锌镉单晶的生长工艺，包括以下步骤：选用Cd1‑xZnxTe籽晶，x选自0.04‑0.2范围内，打磨后浸泡至溴‑甲醇溶液Sub>xTe多晶料，x为0.04，石英安瓿抽真空后密封；将炉体相对于垂直方向倾斜3°‑15°，石英安瓿下方设置有螺旋式氮气管路，炉体外安装有激磁线圈；晶体引晶；晶体生长：使炉体处于勾形磁场内通过该生长工艺得到的碲锌镉单晶晶格结构的完整性较佳、直径较大且单晶成品率较高，不仅改善了所得单晶的质量，而且经济效益较好。
一种碲锌镉单晶炉碲锌镉单晶生长工艺

[实用新型]一种单晶炉下炉室生产用全自动焊缝机-CN202223275121.6有效
发明人：叶建海;翁晨凯;高文柱 -专利权人：嘉兴坤博新能源装备制造有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及焊缝机技术领域，且公开了一种单晶炉下炉室生产用全自动焊缝机，包括基座，所述基座的左侧设置有定位板，所述定位板的外侧面设置有管体，所述管体的内部设置有滑动块，所述滑动块的外侧面设置有控制杆，所述管体的外侧面均匀设置有支撑杆，所述控制杆与支撑杆的外侧面设置有顶板，所述定位板的后侧安装有驱动电机，所述驱动电机的传动轴贯穿所述定位板并连接有螺杆，所述螺杆活动螺接在滑动块的内部，本新型方案可有效的对单晶炉下炉室进行位置固定工作，以避免单晶炉下炉室在焊接时位置产生偏移现象，且通过三棱形固定的方式，可有效的保证单晶炉下炉室固定时的稳定性，以辅助单晶炉下炉室更好的进行自动焊接工作。
一种单晶炉下炉室生产全自动焊缝

[实用新型]用于单晶体生产的预装料坩埚-CN201120348732.1有效
发明人：孟涛;闫永兵 -专利权人：镇江仁德新能源科技有限公司
申请日： 2011-09-16 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶体生产的预装料坩埚，包括石英坩埚和与所述石英坩埚扣合以便于吊车勾吊的预装料盖，所述预装料盖上设置有一阀门，所述阀门与一在所述阀门打开时抽出所述石英坩埚内气体以使所述预装料盖与所述石英坩埚扣紧的真空泵连接采用本实用新型的单晶体生产的预装料坩埚，可以在装料工序节省单晶炉的有效利用时间，降低因为装料不规范而造成挂边、搭桥等事故的发生。
用于单晶体生产预装坩埚

[实用新型]一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组-CN201020690908.7无效
发明人：张治民;冯全来;武超;雷光辉;李治明;张天盛;苏荔 -专利权人：青海华硅能源有限公司
申请日： 2010-12-30 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅加工领域，具体地说是涉及一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组。本实用新型一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组所述的坩埚托盘挂钩主视形状为门形，上部三分之一处焊接固定有横筋，下端部向一侧弯曲呈L型挂钩。本实用新型一种单晶炉石墨热系统拆卸工具组与现有技术相比较有如下有益效果：本实用新型加工设置了单晶炉石墨热系统拆卸工具组后，取出加热系统采用工具组系统列工具将加热系统有内之外，分件取出，不仅降低了工人劳动强度，减少了工作危险性，不会烫伤工人，而且可以缩短原有单晶炉的降温过程，及时、安全、便捷取出石墨热系统，缩短生产周期，提高了生产效率。
一种单晶炉石墨系统拆卸工具

[实用新型]一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉-CN202320909562.2有效
发明人：凌继贝;李进平;刘瑞庭 -专利权人：内蒙古豪安能源科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可伸缩式单晶硅棒生产副炉，包括单晶炉体，单晶炉体顶侧设置有副室炉，所述副室炉与延长炉之间固定连接有下法兰，延长炉顶侧固定连接有上法兰，所述副室炉顶侧设置有伸缩组件；所述伸缩组件还包括延长炉外壁设置的螺纹杆，螺纹杆的两端均设置有固定座，其中一端所述固定座顶侧固定连接有电机，螺纹杆外壁螺纹连接有丝杠滑台，丝杠滑台内侧固定连接有电磁铁，伸缩组件包括副室炉顶侧固定连接的延长炉，延长炉顶侧伸缩连接有伸缩炉，所述伸缩炉下端为喇叭形结构，伸缩炉两侧固定连接有滑块，伸缩炉顶侧设置有提升机构。本装置可以对单晶炉体的高度进行调节，从而满足生产不同长度的单晶硅棒，增加产量，提高生产效率。
一种伸缩单晶硅生产

[发明专利]一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其制备方法-CN202210897951.8有效
发明人：马明月;庾高峰;张航;李雷;宁超;王文斌 -专利权人：陕西斯瑞新材料股份有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其制备方法，涉及铜合金制备技术领域，单晶炉水冷热屏包括相互套接的锥段外筒和锥段内筒，锥段外筒底部设有直段外筒，锥段内筒底部设有直段内筒，锥段外筒和锥段内筒之间形成用于过水的第一环形空间，直段外筒和直段内筒之间形成用于过水的第二环形空间，第一环形空间和第二环形空间之间设有环形挡板。单晶炉水冷热屏的制备方法包括以下步骤：S1、内外筒制备；S2、导流通路制备；S3、环形空间制备。本发明优化了单晶硅生长过程的温度分布，并与提拉速度相匹配，最终达到增加提拉速度以及提高生产效率的目的。
一种利用铜合金制备单晶炉水冷及其方法

[发明专利]单晶炉加料方法及单晶炉加料系统-CN202110660680.X在审
发明人：刘杰;黄剑雄 -专利权人：无锡松瓷机电有限公司
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶炉加料方法及单晶炉加料系统。单晶炉加料方法包括：确定下一台待加料的单晶炉；将单晶炉加料机驱动至待加料的单晶炉位置处；将单晶炉加料机的出料口与待加料的单晶炉的进料口密封对接；控制单晶炉加料机向待加料的单晶炉加料；在向待加料的单晶炉加料完毕后，继续执行确定下一台待加料的单晶炉的步骤。单晶炉加料系统包括控制模块、单晶炉加料机和至少一台单晶炉，控制模块通过有线网络或无线网络分别与单晶炉加料机和至少一台单晶炉通信连接，控制模块用于执行单晶炉加料方法。单晶炉加料方法通过一台单晶炉加料机对应多台单晶炉进行加料，可降低成本，提高单晶炉加料机的生产效率。
单晶炉加料方法系统

[实用新型]一种单晶棒引晶和放肩装置及单晶炉-CN201621105765.2有效
发明人：周浩;尹东坡;司佳勇 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶棒引晶和放肩装置及单晶炉，属于单晶硅制造技术领域，单晶棒引晶和放肩装置，包括位于坩埚上方的重锤，在所述重锤的靠近籽晶连接端的侧壁上固定有反射盖，所述反射盖呈锥面形，锥顶角度为150°至180°，锥面朝向硅液；单晶炉包括所述的单晶棒引晶和放肩装置。
一种单晶棒引晶装置单晶炉

[发明专利]一种基于单相机的单晶炉液位、单晶棒直径的测量方法-CN202211199062.0在审
发明人：欧世乐;王克;秦文 -专利权人：霍克视觉科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G06T7/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于单相机的单晶炉液位、单晶棒直径的测量方法，第一步，安装相机，获取相机的相关参数；第二步，获取实时图形，并计算出导流筒及导流筒倒影在成像平面上的直径；第三步，构建基于小孔成像的数学模型，并根据相似三角形的定理，计算出真实的液口距，进而得到单晶炉内的液位高度；第四步，根据液面高度，基于相似三角形的定理，计算出光圈的真实物理直径，并得到单晶棒的直径。本发明采用单相机实现对单晶炉液位及单晶棒直径进行测量，基于小孔成像的原理建立数学模型，能够获取真实物理测量值，避免传统测量方法需要人为调整系数而使得操作复杂且易存在误差的问题，也可避免对人员技术的严重依赖
一种基于相机单晶炉液位单晶棒直径测量方法

[实用新型]一种能降氧和减小单晶断线的单晶炉过渡盘-CN202222669403.8有效
发明人：李国明;王艺澄;王军磊 -专利权人：包头美科硅能源有限公司;江苏美科太阳能科技股份有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型公开一种能降氧和减小单晶断线的单晶炉过渡盘，为圆筒形，装在中保温筒下方时，圆筒的上表面向上突出两个和中保温筒相配合的耳槽，装在中保温筒上方时，圆筒的下段是锥形孔，锥形孔的上端是小端，下端是大端；能使单晶炉热场内氩气流向更加顺畅，加快带走热场内部产生挥发物以及氧原子，防止挥发物在热场石墨件残留，有利于改善单晶炉热场内部拉晶的高纯环境减少断线、降氧效果明显，提高单晶硅棒的品质和产能。
一种能降氧减小断线单晶炉过渡

[实用新型]一种单晶炉用加热器-CN201920177132.X有效
发明人：潘燕萍;朱海军 -专利权人：常州市乐萌压力容器有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅单晶制备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉用加热器。该种单晶炉用加热器，包括加热器主体和加热器脚，所述加热器主体由若干加热单元组成，所述加热单元含有减薄形的圆弧片。该种单晶炉用加热器能使炉室底部温度明显上升，侧壁最高温度降低，且位置下移；提高晶体和熔体轴向温度梯度，在降低功率的同时仍对拉速有提升作用，在不降低使用寿命的基础上，经济性相比一般加热器要提升20％以上。
加热器单晶炉加热器主体加热单元轴向温度梯度本实用新型硅单晶制备降低功率使用寿命位置下移温度降低圆弧片侧壁对拉减薄炉室熔体