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- [发明专利]光刻胶用剥离液组合物-CN01141490.1无效
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崔好星;金址洪;金泰根;吕相赫;朴海成
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株式会社德成
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2001-09-27
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2003-03-12
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G03F7/42
- 本发明涉及一种光刻胶用剥离液组合物,其特征在于,它是由把10-40%(重量)的选自脂肪伯胺、脂肪仲胺、脂肪叔胺和羟胺中的有机胺化合物和10-80%(重量)的选自乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单苯醚、丁基卡必醇、二乙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、乙酸二丙二醇单甲醚酯、二丙二醇单乙醚、三乙二醇中的至少1种以上的质子性极性溶剂混合,且在上述极性溶剂中至少含5-30%(重量)的低毒性/亲水性的极性溶剂二丙二醇单甲醚和/或乙酸二丙二醇单甲醚酯所构成的。
- 光刻剥离组合
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