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[发明专利]一种惯性力激振器-CN201210116433.4有效
发明人：陈政清 -专利权人：湖南大学
申请日： 2012-04-19 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： B06B1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于特大型结构的超低频惯性力激振器，所述激振器包括内部设有轨道的支承与导向框架，设置于支承与导向框架内部的运动质量块，由驱动装置(包括带减速器的驱动电机)和与驱动装置连接的传动装置构成的驱动系统，其特征在于，所述驱动系统安装于运动质量块内部，带动运动质量块沿轨道往复运动。本发明将驱动装置和传动装置构成的驱动系统设置在运动质量块的内部成为有效运动质量的一部分，通过运动质量在轨道上的往复运动获取激振力，降低了激振器的总重量；在水平和竖向激振时，激振器的基本结构不用改变，提高了激振器的通用性；激振器的传动结构紧凑，从而可以加大运动质量块的行程以增大激振力，并可减少故障。
一种惯性力激振器

[发明专利]一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪-CN201910565997.8有效
发明人：邹波;郑青龙;刘爽 -专利权人：深迪半导体（上海）有限公司
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：本发明提供了一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪，其包括驱动质量块、传动部件、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述传动部件分别通过具有弹性的结构与所述驱动质量块和所述科氏力质量块相连接；所述驱动质量块在沿所述第一方向活动时，带动所述传动部件活动，进而使所述传动部件驱动所述科氏力质量块仅沿所述第二方向活动；所述传动部件与所述科氏力质量块的连接适于所述科氏力质量块在科氏力的作用下仅沿所述第三方向活动
一种灵敏度 mems 陀螺仪

[发明专利]具有实时校准比例因子的MEMS陀螺仪及其校准方法-CN202010561463.0在审
发明人： L·奎利诺尼;L·G·法罗尼;M·F·布鲁内托 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。
具有实时校准比例因子 mems 陀螺仪及其方法

[实用新型]MEMS陀螺仪、电子处理单元和角速度感测系统-CN202021139739.8有效
发明人： L·奎利诺尼;L·G·法罗尼;M·F·布鲁内托 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。
mems 陀螺仪电子处理单元角速度系统

[发明专利]Z轴电容式加速度计-CN201010552669.3有效
发明人：蒋乐跃;周汉秦 -专利权人：美新半导体（无锡）有限公司
申请日： 2010-11-19 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本发明涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。
电容加速度计

[实用新型]Z轴电容式加速度计-CN201020617239.0有效
发明人：蒋乐跃;周汉秦 -专利权人：美新半导体（无锡）有限公司
申请日： 2010-11-19 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计，其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板，驱动质量块和电容感应极板相互分离，正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时，电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计，通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计，有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离，从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。
电容加速度计

[发明专利]具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器-CN201480026951.4有效
发明人： R·毛尔;B·库尔曼;M·哈塔斯;R·阿梅林;B·施密特;R·舍本;T·巴尔斯林科 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-05-14 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01C19/5747 文献下载
摘要：提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器，包括初级振动质量块对和次级振动质量块对，初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块，次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块，第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动，第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动，第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动，其中，主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸，初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动，使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。
具有带有延伸平面衬底用于探测转速传感器

[发明专利]MEMS器件的弹簧系统-CN201410056521.9无效
发明人：安德鲁·C·麦克耐尔;加里·G·李 -专利权人：飞思卡尔半导体公司
申请日： 2014-02-19 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：弹簧系统（74）联接MEMS器件（72）的一对驱动质量块（30、32）。所述弹簧系统（74）包括被定向以形成平行四边形布置（84）的不易弯曲横梁(76、78、80、82)。所述横梁与所述质量块（30、32）的驱动方向（56）对角定向。所述平行四边形布置（84）的斜对角耦合于驱动质量块（30、32）。所述弹簧（92、94）与围绕所述驱动质量块的感测框架（34）互连。所述横梁和侧弹簧是不易弯曲的以基本防止所述驱动质量块的同相运动（66）。然而，旋转的柔性弯曲(102、104、106、108)允许所述布置（84）压扁和扩展以使能所述驱动质量块的反相运动（60）。
mems 器件弹簧系统

[发明专利]一种单轴微机电系统陀螺仪-CN201310242552.9有效
发明人：邹波 -专利权人：深迪半导体（上海）有限公司
申请日： 2013-06-18 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明公开了一种单轴微机电系统陀螺仪，包括扭动质量块、各锚点和设置在各锚点与扭动质量块之间的各电容组，各电容组的固定和可动梳齿具有沿z轴方向的高低差；驱动电容组的固定梳齿通过作为驱动电极的锚点固定在基底上，可动梳齿分别与扭动质量块的连接；检测电容组的固定梳齿通过检测锚点固定在基底上，可动梳齿与扭动质量块连接，由检测锚点构成的一对检测电极将电容变化信号反馈给一对驱动电极；敏感电容组的固定梳齿通过敏感锚点固定在基底上，可动梳齿通过外周弹性梁与扭动质量块连接，位于扭动质量块中心位置处的中心锚点通过中部弹性梁与扭动质量块相连接。
一种微机系统陀螺仪

[实用新型]一种单轴微机电系统陀螺仪-CN201320350000.5有效
发明人：邹波 -专利权人：深迪半导体（上海）有限公司
申请日： 2013-06-18 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单轴微机电系统陀螺仪，包括扭动质量块、各锚点和设置在各锚点与扭动质量块之间的各电容组，各电容组的固定和可动梳齿具有沿z轴方向的高低差；驱动电容组的固定梳齿通过作为驱动电极的锚点固定在基底上，可动梳齿分别与扭动质量块的连接；检测电容组的固定梳齿通过检测锚点固定在基底上，可动梳齿与扭动质量块连接，由检测锚点构成的一对检测电极将电容变化信号反馈给一对驱动电极；敏感电容组的固定梳齿通过敏感锚点固定在基底上，可动梳齿通过外周弹性梁与扭动质量块连接，位于扭动质量块中心位置处的中心锚点通过中部弹性梁与扭动质量块相连接。
一种微机系统陀螺仪

[发明专利]一种音叉式微机械陀螺及其制作方法-CN200410016930.2有效
发明人：车录锋;熊斌;王跃林 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2004-03-12 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：微机械陀螺主它是由第一基板及其上的四组驱动用条形固定对电极和两组检测用条形固定对电极、固定在第一基板上的中间锚点和两侧锚点、悬在第一基板上方的第二基板组成；第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的驱动质量块、中间锚点与驱动质量块相连接的第一弹性梁、两侧锚点与驱动质量块相连接的第二弹性梁、连接两个驱动质量块的耦合弹性梁、可沿垂直于驱动方向的检测方向振动的两个检测质量块、检测质量块与驱动质量块之间的连接弹性梁组成本陀螺采用微电子机械系统技术制作，采用变面积电容实现驱动和检测，驱动和检测方向均具有滑膜阻尼，灵敏度较高，是一种实用的微机械陀螺。
一种音叉式微机械陀螺及其制作方法

[发明专利]带有激励力反转的微机电陀螺仪和激励微机电陀螺仪的方法-CN201110085692.0有效
发明人： C·卡米纳达;L·普兰迪;A·M·里佐皮雅扎罗恩科罗尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2011-02-16 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：公开了一种微机电陀螺仪，包括：主体(6)和驱动质量块(7)，所述驱动质量块(7)根据驱动轴(X)相对于主体(6)可移动，并且电容性耦合到所述主体(6)。该陀螺仪还包括驱动设备(3)，其与所述主体(6)和所述驱动质量块(7)一起形成微机电控制回路(18)，并设置成向所述驱动质量块(7)提供具有共模分量(VCM)和相应差分分量的驱动信号(VD1，VD2)，使得维持所述驱动质量块(7)根据所述驱动轴(X)的振荡。向所述驱动设备(3)提供激励级(23)，其设置成以可控的方式反转所述驱动信号(VD1，VD2)的差分分量的符号。
带有激励反转微机陀螺仪方法

[发明专利]一种用于人机交互中的运动惯性追踪系统-CN201510963159.8在审
发明人：陈拥权;李建中;郑荣稳;鲁加旺 -专利权人：安徽寰智信息科技股份有限公司
申请日： 2015-12-17 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： G06F3/01 文献下载
摘要：本发明公开了用于人机交互中的运动惯性追踪系统，尤其公开了一种MEMS陀螺仪，随动质量块的侧壁通过驱动弹性梁与主质量块连接；在随动质量块上还设置有X、Y轴检测质量块，X轴检测质量块位于随动质量块Y轴方向上，并通过沿Y轴方向的第一连接梁与随动质量块连接；Y轴检测质量块位于随动质量块X轴方向上，且通过沿X轴方向的第二连接梁与随动质量块连接；包括通过第三连接梁与主质量块连接的Z轴解耦质量块，Z轴检测质量块通过第四连接梁与Z轴解耦质量块连接；Z轴检测质量块通过第五连接梁连接在衬底的锚点上。
一种用于人机交互中的运动惯性追踪系统

[发明专利]一种MEMS三轴陀螺仪-CN201510368747.7有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS三轴陀螺仪，随动质量块的侧壁通过驱动弹性梁与主质量块连接；在随动质量块上还设置有X、Y轴检测质量块，X轴检测质量块位于随动质量块Y轴方向上，并通过沿Y轴方向的第一连接梁与随动质量块连接；Y轴检测质量块位于随动质量块X轴方向上，且通过沿X轴方向的第二连接梁与随动质量块连接；包括通过第三连接梁与主质量块连接的Z轴解耦质量块，Z轴检测质量块通过第四连接梁与Z轴解耦质量块连接；Z轴检测质量块通过第五连接梁连接在衬底的锚点上
一种 mems 陀螺仪

[发明专利]电子设备及振动模组-CN202110179486.X在审
发明人：陈旭;蔡程 -专利权人：维沃移动通信有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本申请公开一种电子设备及振动模组，其中，振动模组包括：壳体、电致变形驱动部和质量块，电致变形驱动部和所述质量块设置于壳体内，电致变形驱动部一端连接于壳体，电致变形驱动部的另一端连接于质量块，电致变形驱动部能够驱动质量块沿第一方向或第二方向往复移动本申请中采用电致变形驱动部驱动质量块运动而产生振动，能够避免电磁干扰。电致变形驱动部能够驱动质量块沿多个方向往复运动，使得振动模组的振动效果更加丰富。
电子设备振动模组