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- [发明专利]一种激光退火机的状态监控方法-CN201710490560.3有效
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许云兰;陈传辉;陈传伟
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苏州金钜松机电有限公司
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2017-06-25
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2017-10-17
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G01M99/00
- 本发明涉及一种激光退火机的状态监控方法,包括以下步骤:测量激光退火机上监控片的颗粒水平获得颗粒测量前值;采用第一激光扫描监控片;测量监控片的颗粒水平获得颗粒测量后值;对比颗粒测量前值和颗粒测量后值以判断退火机机台内部的洁净度;采用快速热退火的方法对监控片进行退火;在监控片上注入过硼;采用第二激光扫描监控片;测量监控片获得方块电阻阻值的测量值;通过对比方块电阻阻值和预设值的差,来判断激光温度的稳定性是否合格。本发明能够在同一监控片上进行颗粒水平测量和方块电阻阻值测量,以判断激光退火机的机台内部的洁净度和激光温度的稳定性是否合格,减少了监控片的使用,在不影响监控效果的前提下,节约制造成本。
- 一种激光退火状态监控方法
- [发明专利]测量装置和测量系统-CN201610343955.6在审
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高须良三
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富士通株式会社
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2016-05-23
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2016-12-07
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G01N15/06
- 本发明提供了一种测量装置和测量系统。所述测量装置包括:浓度测量单元,其测量气体中颗粒的颗粒数量浓度;湿度测量单元,其在浓度测量单元测量颗粒数量浓度时对颗粒所暴露于的周围环境的湿度进行测量;第一壳体,其中容纳有浓度测量单元和湿度测量单元,第一壳体具有第一入口和第一出口;以及第一排气单元,其将第一壳体中的气体从第一出口排出;其中,湿度测量单元被设置在从第一入口至第一出口的气体流动路径中浓度测量单元的上游。
- 测量装置系统
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