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[发明专利]形面测量方法-CN201910164678.6在审
发明人：蒋雨晴;陈伟;马超;舒畅 -专利权人：重庆零壹空间航天科技有限公司
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种形面测量方法。该方法包括将测量工装设置到喷管或后封头接口上；通过对所述测量工装的量具执行测量操作，测量所述喷管或后封头接口的径向上的若干形面数据。测量工装包括：拱形测量装置和量具。达到了产品试验前后均使用喷管或后封头接口这个基准面，产品试验后无需切割解剖，且代替产品试验前使用的测厚仪的目的；本申请解决了测量准确性有待提高，测量工作量大，且测量成本高的技术问题。
喷管测量工装产品试验后封头测量形面量具测量工作量测量操作测量成本测量装置测厚仪基准面拱形申请切割解剖

[发明专利]晶圆面形测量系统及基于晶圆面形测量系统的测量方法-CN202310284184.8在审
发明人：曹建伟;朱亮;王悦;陈淑楠 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本公开提出了一种晶圆面形测量系统及基于晶圆面形测量系统的测量方法，涉及半导体测量技术领域，包括：扫频激光输出模块向光路模块输出设定频率的第一光束；光路模块，用于对第一光束进行处理，将生成第二光束向待测晶圆面发射通过扫频激光输出设定频率的第一光束，然后基于该设定频率采集模拟电信号，硬件上可以实现波长空间到波数空间的转化，相较于当前技术中的晶圆面形测量系统和方法，本公开通过单路干涉光即可实现晶圆面形的测量，方法更为简单，对硬件的要求更小，测量成本低。
晶圆面形测量系统基于测量方法

[发明专利]一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置-CN202010757803.7有效
发明人：郝群;胡摇;石峰;宋辞;谢凌波 -专利权人：北京理工大学;中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置，在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器，放置在在局部陡度面形误差的区域，旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角，产生方向可调的附加倾斜补偿相位，使局部测量光束与局部面形匹配，干涉条纹变稀疏，利用干涉仪测量局部相位；根据双光楔补偿器的旋转角度计算其引入的相位，输入虚拟干涉仪模型，计算得到局部面形误差；对被光学元件所有无法直接测量的局部依次进行上述测量过程，直到所有局部陡度面形误差均完成测量；将局部面形误差与光学元件全口径面形误差数据进行拼接，完成测量。
一种光学元件表面局部陡度误差干涉测量方法装置

[发明专利]一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法-CN201910747167.7有效
发明人：郝群;陶鑫;刘洋;胡摇 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法，属于面形测量技术领域。本发明选取成熟的面形测量方法对一个光学表面测量P次，测量结果记为S1(m,n)；使用被评价面形测量方法测量对同一个光学元件测量P次，测量结果记为S2(m,n)；以S1(m,n)作为参照，对使用被评价面形测量方法得到的测量结果S2(m,n)进行位置匹配Sub>(m,n)分别代入归一化互相关关系数公式、衰减率公式，得到归一化互相关系数ncc和得到衰减率A，并将归一化互相关系数ncc和衰减率A相乘得到误差一致性系数SECC；根据误差一致性系数SECC评价面形误差一致性，SECC越趋近于100％，被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致，则被评价面形测量方法有效性越好。
一种基于互相评价测量方法有效性方法

[实用新型]机械式段差平行差尺-CN202020513166.4有效
发明人：李子明;肖兵;刘苏洋;尚光明 -专利权人：一汽解放汽车有限公司
申请日： 2020-04-09 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G01B3/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种机械式段差平行差尺，包括长直尺、U形尺和游标尺，所述U形尺和游标尺套在长直尺上，并分别可通过紧固螺栓的松紧沿长直尺滑动和固定，所述长直尺上设有刻度面和前端测量基面，U形尺上设置有测量针、第一刻度面和第二刻度面，所述测量针与长直尺前端测量基面配合进行测量，所述U形尺第一刻度面与长直尺刻度面配合读数，所述U形尺第二刻度面与游标尺刻度面上配合读取数值，通过设置游标尺的方式，实现对不同测量位置的平行差值进行直接测量，提高测量效率。
机械式平行

[发明专利]一种用于真空环境下测量光学元件面形的装置及方法-CN202110573545.1有效
发明人：周敏康;罗覃;马肖杰;张恒;陈乐乐;胡忠坤 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空环境下测量光学元件面形的装置及方法，装置包括真空腔体、调节单元、真空测量单元和面形测量单元，真空腔体用于及安装调节单元和光学元件，并提供真空环境；调节单元用于安装光学元件，以及实现测试元件的水平移动和俯仰调节；光学元件包含参考反射镜和待测光学元件，参考反射镜用于提供高质量的面形参考，待测光学元件是需要被测量的光学元件；真空测量单元用于测量真空腔体的真空度；面形测量单元用于测量激光波前。该装置可以对安装在真空环境中的光学元件面形进行测量，并且可以改变真空腔体的压强，在不同压强下测量光学元件面形。
一种用于真空环境测量光学元件装置方法

[发明专利]用于光刻机设备测量组件的测量方法、装置及光刻机-CN202010762680.6有效
发明人：冯建斌;陈南曙 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于光刻机设备测量组件的测量方法、装置和光刻机，所述测量方法包括，利用面形标定方法，离线标定工件台上基准板的参考面形以及在线标定所述基准板的测量面形；根据所述参考面形和所述测量面形，获得基准板漂移量、变形量以及测量传感器漂移量。本发明公开的一种用于光刻机设备测量组件的测量方法、装置和光刻机，能够实时探测并校准基准板的形变漂移量，减小光刻机系统误差，缩短后续掩模对准时间，提升产率。
用于光刻设备测量组件测量方法装置

[发明专利]基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法-CN202211131563.5在审
发明人：蔡引娣;高英豪;付卿;尹科迪;朱祥龙;康仁科 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G05B19/404 文献下载
摘要：本发明属于数控机床加工技术领域，提供了基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法，该方法基于精密测量原理‑阿贝原则和布莱恩原则探究由几何误差测量过程中测量位置带来的测量误差对晶圆面形精度的影响，建立几何误差与晶圆面形之间的映射关系。该模型不仅考虑了磨削机床各轴系及各轴系间的几何误差对晶圆面形的影响，还考虑了由几何误差测量位置引起的测量误差对晶圆面形的影响，为优化磨削机床和提高晶圆面形精度提供了理论依据。
基于原则布莱恩晶圆面形预测模型建立方法

[发明专利]低温面形摄影测量方法-CN201510599033.7有效
发明人：钱元;娄铮;刘昌儒;范生宏;王海仁;左营喜;杨戟 -专利权人：中国科学院紫金山天文台;北京普达迪泰科技有限公司
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温面形摄影测量方法，其采用高分辨率工业相机，结合低温电机驱动的自动测试台，实现测量设备在低温环境实验舱中的自动化拍摄；利用常温下三坐标仪测量结果对靶标厚度进行标定，从而消除了由靶标厚度差异造成的系统测量误差本发明在低温环境实验舱中，实现了2.1微米rms的重复测量精度、测量效果理想，可在常温至‑60℃的温度范围内测量了多种板材结构的面形的变化规律。
低温摄影测量方法

[发明专利]一种用于自由面形子孔径拼接测量的方法和系统-CN201810120273.8有效
发明人：薛俊鹏;王齐明 -专利权人：四川大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于自由面形子孔径拼接测量的方法和系统，能够避免长时间子孔径面形测量时环境温度的漂移，减小测量误差，提高测量的精确度。该系统中，移动平台在上位机的控制下沿着一个或者多个方向带动待测自由面形反射镜移动至多个位置；子孔径面形测量干涉仪根据相干光之间因待测自由面形反射镜镜面导致的光程差来获取每一位置的子孔径面形数据；角度测量仪包括至少两个测量单元，每个测量单元分别用于测量移动平台在每个位置处第一方向和第二方向上的角度值；所述上位机基于每个位置的角度值对所有子孔径面形数据进行校正，根据校正之后的子孔径面形数据完成整个待测自由面形反射镜镜面的子孔径干涉拼接
子孔径面形面形数据测量自由子孔径拼接测量单元面形测量上位机校正漂移反射镜镜面反射镜移动角度测量仪测量移动方向带动移动平台反射镜干涉仪光程差时间子位置处相干光减小拼接干涉

[发明专利]一种Kinect与条纹反射法结合的类镜面三维面形测量方法-CN201710048699.2有效
发明人：伏燕军;黄超;屈国丽;王福伟;柴明钢 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2017-01-20 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种Kinect与条纹反射法结合的类镜面三维面形测量方法，由基于Kinect的三维点云数据获取、条纹反射三维测量两大关键部分组成。本发明的优点是：（1）与传统条纹反射三维测量方法相比：传统条纹反射三维测量只能测量一些简单的标准面形，而Kinect与条纹反射法结合的类镜面三维面形测量方法则不受待测面形限制，可以测量任意面形的物体；（2）基于Kinect与条纹反射法结合的类镜面三维面形测量方法，通过Kinect对待测物体表面三维形貌点云数据进行采集处理，获取得到物体表面初步三维轮廓信息，将初步三维轮廓信息作为传统条纹反射三维测量中波前重建的迭代基准面，极大的减小了迭代次数，提高三维面形重建速度。
一种 kinect 条纹反射结合类镜面三维测量方法

[发明专利]大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法-CN202011537846.0有效
发明人：段亚轩;达争尚;陈晓义;袁索超;范尧;李铭;王璞 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：为了解决现有的测量大口径平面光学元件面形的方案易受空气气流扰动和振动的影响、测量动态范围小、面形测量分辨率不高、无法应用于在位各种姿态面形测量，以及当大口径平面光学元件面形中存在Power时无法测量的技术问题，本发明提出了一种大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法，利用激光器、半透半反镜、准直物镜、光阑、小孔光阑、准直目镜、二元光学器件、探测器、衰减板、远场探测器、驱动控制器、电控光阑、反射镜阵列、角锥棱镜阵列、六自由度运动平台，实现对被测大口径平面光学元件在位各种姿态下的动态高精度面形拼接测量，测量精度不受外界环境的影响。
口径平面光学元件在位拼接测量装置方法

[发明专利]基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法-CN201810180567.X有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝;严焱 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法，检测系统包含：波面测量干涉仪，球面参考镜、汇聚镜、工件台和安装插口，待测锥镜安装在工件台上，其轴线与干涉仪光轴平行，汇聚镜的焦点位于锥镜轴线上，波面测量干涉仪测量锥镜表面法线环带区域的面形，通过工件台在锥镜轴线方向扫描定位，测量对应锥镜不同口径位置的环带面形，完成锥镜全口径面形的测量。具体测量过程：在安装插口安装球面参考镜，将凹锥镜置于工件台上，通过扫描完成凹锥镜面形W1的测量；在安装插口上将球面参考镜更换为汇聚镜，加入凸锥镜，完成凹锥镜和凸锥镜的组合面形W2的测量，凸锥镜的面形为W2本发明具有测量精度高、测量成本低的特点。
锥镜面形安装插口检测系统球面参考汇聚镜镜面形测量凹锥凸锥波面测量轴向扫描干涉仪工件台环带测量精度高干涉仪测量全口径面形表面法线测量成本测量过程光轴平行扫描定位轴线方向检测口径扫描焦点

[实用新型]一种汽车零部件曲面位置度的检测工装-CN201920113070.6有效
发明人：黄蜜;李碧峰;贺东方;杨黄锐;刘祥;张颖 -专利权人：东风（武汉）汽车零部件有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及本实用新型提供了一种汽车零部件曲面位置度的检测工装，包括仿形检具和测量仪表；所述仿形检具具有一仿形面和一检测面，所述仿形面和所述检测面分别位于所述仿形检具的两侧且平行设置，所述仿形检具上设有多个检测孔，所述检测孔贯穿连接所述仿形面和所述检测面，汽车零部件的待检测面依据所述标准件加工而成，并正对所述仿形面设置；所述测量仪表为百分表或千分表，所述百分表或千分表包括测量头、量杆和表盘，当所述量杆插设于所述检测孔中时，所述测量头与所述待检测面抵接，解决现有技术中测量零部件内部曲面困难的技术问题。
检测面仿形面仿形检具汽车零部件检测孔本实用新型测量仪表曲面位置百分表测量头千分表工装量杆表盘测量零部件标准件平行设置检测插设抵接正对贯穿加工

[发明专利]一种自由曲面检测方法及系统-CN201710635739.3有效
发明人：王道档;龚志东;王朝;徐平;孔明;刘维;赵军;郭天太 -专利权人：中国计量大学
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种自由曲面检测方法，包括：采用三坐标测量设备对包括待测反射球面、投影屏和CCD相机在内的逆向哈特曼检验光路的结构位置参数S进行测量标定；根据测量标定的结构位置参数S，确定待测反射球面的面形误差数据W₀；根据测量标定的结构位置参数S和面形误差数据W0，采用泽尼克拟合确定待测球面的面形偏差优化目标；根据确定的面形偏差优化目标，确定初始测量标定的结构位置参数S的各项偏差，并根据所述各项偏差确定待测反射面的实际面形误差采用本发明，减小了自由曲面的面形测量误差。
结构位置标定测量反射面形误差数据面形偏差优化目标自由曲面球面三坐标测量面形测量面形误差偏差确定哈特曼投影屏自由曲检测测球光路减小拟合检验

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