专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]射频自动阻抗匹配方法及射频自动阻抗匹配-CN200810056157.0有效
  • 武晔 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2008-01-14 - 2009-07-22 - H05H1/46
  • 本发明实施例公开了一种射频自动阻抗匹配方法,控制器获取匹配网络中当前各可变阻抗元件阻抗以及匹配网络的输入阻抗;按照预先确定的等离子体腔室的等效阻抗匹配网络的输入阻抗以及各可变阻抗元件阻抗之间的建模关系,计算等离子体腔室的等效阻抗;然后,用获取到的射频发生器的输出阻抗作为阻抗匹配匹配网络的输入阻抗,按照所述建模关系,计算阻抗匹配时各可变阻抗元件阻抗;根据阻抗匹配时各可变阻抗元件阻抗与当前各可变阻抗元件阻抗的差值计算调整量,根据各调整量调整当前各可变阻抗元件阻抗。本发明实施例同时公开了一种射频自动阻抗匹配器。应用本发明实施例所述方法和设备,能够快速完成阻抗匹配
  • 射频自动阻抗匹配方法阻抗配器
  • [发明专利]用于电压和/或电流感测器件的阻抗匹配元件-CN201510364088.X在审
  • B·谢夫奇克;P·维里希克;R·贾沃拉 - ABB技术股份公司
  • 2015-05-15 - 2015-11-25 - G01R15/00
  • 本发明公开涉及用于电压和/或电流感测器件的阻抗匹配元件。根据权利要求1的前序,本发明涉及对阻抗匹配元件的建议,该阻抗匹配元件能用于在中压系统中使用的电压和/或电流感测或指示器件,以便与常规感测器件相比改善输出信号的信号完整性。为了提高感测精度和产生更高的对干扰和阻抗失配的输出信号抵抗力,本发明在于电场传感器和/或磁场传感器连接到阻抗匹配元件,该阻抗匹配元件允许连接到独立的模拟测量器件并从能量采集器获得电力,从而给阻抗匹配元件提供稳定的电力供应,该阻抗匹配元件阻抗匹配电子板的不可缺少的一部分。
  • 用于电压流感器件阻抗匹配元件
  • [发明专利]具有多种配置的阻抗匹配电路-CN201280044365.3在审
  • P·H·西;X·张 - 高通股份有限公司
  • 2012-09-13 - 2014-05-14 - H03F1/56
  • 公开了具有多种配置的可重配置阻抗匹配电路。可重配置阻抗匹配电路可以用一组无功元件(例如,电感器和/或电容器)和一组开关来实现。不同配置可以用开关的不同设置来获得,并且可以与不同的阻抗调谐曲线相关联。这可使得可重配置阻抗匹配电路能够为负载电路(例如,天线)提供更好的阻抗匹配。在一示例性设计中,可重配置阻抗匹配电路包括至少一个可变无功元件,其被配置成调谐该可重配置阻抗匹配电路的阻抗以提供更好的阻抗匹配。在一示例性设计中,可重配置阻抗匹配电路可包括至少一个可重配置无功元件,每一可重配置无功元件可被连接成串联元件或分流元件
  • 具有多种配置阻抗匹配电路
  • [发明专利]获取方法、阻抗匹配器及其方法和半导体工艺设备-CN202310744728.4在审
  • 卫晶;韦刚;华跃平 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-10-13 - 2023-09-19 - H01J37/32
  • 本发明实施例提供一种用于半导体工艺设备阻抗匹配的最优匹配路径的获取方法、应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备。该阻抗匹配方法包括:在工艺开始时,将阻抗匹配器的可调元件的参数值调节为预设的初始值;当射频电源开启时,按照预先存储的与工艺对应的最优匹配路径,调节可调元件的参数值;最优匹配路径包括预设匹配时段内的不同时刻对应的可调元件的参数值;在到达最优匹配路径的终点时刻之后,采用自动匹配算法调节可调元件的参数值,直至达到阻抗匹配。本发明实施例提供的应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备,可以提高工艺的可重复性和稳定性,从而可以提高工艺结果的一致性。
  • 获取方法阻抗配器及其半导体工艺设备
  • [发明专利]阻抗匹配元件-CN201110066479.5有效
  • 刘若鹏;徐冠雄;季春霖;赵治亚;方能辉 - 深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司
  • 2011-03-18 - 2012-05-30 - H01Q15/00
  • 本发明实施例涉及一种阻抗匹配元件,设置于第一介质与第二介质之间,该元件由多个超材料片层沿垂直于片层表面方向堆叠形成,超材料片层包括基材和多个附着在基材上的人造微结构。该元件的单元格的阻抗沿片层堆叠方向连续变化,组成首位片层及末尾片层的各单元格的阻抗分别与首位片层及末尾片层各自相接触的第一介质或第二介质对应位置的阻抗相同。本发明实施例的阻抗匹配元件采用多个超材料片层堆叠形成一阻抗渐变层,该阻抗匹配元件设置于两介质间可消除介质分界面的阻抗突变,进而解决了电磁波在经过两介质分界面时发生反射而导致电磁波能量损耗的问题。
  • 阻抗匹配元件
  • [发明专利]阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备-CN202011089179.4有效
  • 卫晶;陈星;韦刚;华跃平 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-10-13 - 2023-08-18 - H01J37/32
  • 本发明实施例提供一种应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备。该阻抗匹配方法包括:在工艺开始时,将阻抗匹配器的可调元件的参数值调节为预设的初始值;当射频电源开启时,按照预先存储的与工艺对应的最优匹配路径,调节可调元件的参数值;最优匹配路径包括预设匹配时段内的不同时刻对应的可调元件的参数值;在到达最优匹配路径的终点时刻之后,采用自动匹配算法调节可调元件的参数值,直至达到阻抗匹配。本发明实施例提供的应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备,可以提高工艺的可重复性和稳定性,从而可以提高工艺结果的一致性。
  • 阻抗匹配方法阻抗配器半导体工艺设备
  • [发明专利]一种半导体处理装置-CN201610264154.0有效
  • 师帅涛 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2016-04-26 - 2019-10-29 - H01J37/32
  • 该半导体处理装置包括反应腔、下电极、射频电源和阻抗匹配器,射频电源通过阻抗匹配器连接至位于反应腔内的下电极,还包括相位调节元件,相位调节元件串联于射频电源和阻抗匹配器之间,用于调节阻抗匹配器的输入阻抗,使其与射频电源的输出阻抗匹配,且相位调节元件的特征阻抗等于射频电源的输出阻抗。该半导体处理装置能将整个半导体处理装置中等离子体阻抗的变化调整为最小,从而使整个半导体处理装置的增益更加稳定,阻抗匹配器对反应腔内等离子体阻抗和射频电源输出阻抗匹配更加快速准确,进而确保了半导体处理工艺结果
  • 一种半导体处理装置

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