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- [发明专利]运动台反力抵消装置-CN201310612812.7在审
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李莉;杨辅强;朱岳彬
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上海微电子装备有限公司
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2013-11-26
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2015-06-03
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G03F7/20
- 本发明公开了一种运动台反力抵消装置,包括:主动阻尼元件、速度测量元件、弹性元件、解耦机构以及线性导轨;所述线性导轨安装在电机定子下;所述主动阻尼元件的一侧与所述电机定子连接,另一侧与反力支撑架连接;所述弹性元件的一侧与所述电机定子相连,另一侧与所述解耦机构连接;所述解耦机构的另一端与光刻机的反力支撑架相连;所述速度测量元件设置于所述电机定子上。本发明采用主动阻尼元件来提供阻尼完成反力抵消,采用速度测量元件实时监控电机定子的速度,实时控制主动阻尼元件施加的主动阻尼力的大小。结构简单,而且可以根据电机定子的运动情况实时改变阻尼力的大小,保证在有效的缓冲行程内有效衰减直线电机定子动能。
- 运动台反力抵消装置
- [发明专利]装配整体式减震支撑-CN201710078319.X在审
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周颖;胡擎
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同济大学
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2017-02-14
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2017-05-31
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E04H9/02
- 本发明涉及一种装配整体式减震支撑,所述装配整体式减震支撑,包括防屈曲支撑元件、黏弹性阻尼元件及限位装置;防屈曲支撑元件为传统防屈曲支撑,包含耗能芯材、无黏结层及外包约束构件;黏弹性阻尼元件包含黏弹性材料弹簧构件与黏弹性阻尼元件串联。当支撑整体变形较小时,防屈曲支撑元件的耗能芯材处于弹性阶段不耗能,黏弹性阻尼元件剪切变形耗能;当装配整体式减震支撑整体变形较大时,挡板将黏弹性材料的剪切变形限制在许可变形范围内,而弹簧构件承担大部分变形黏弹性阻尼元件与防屈曲支撑元件协同工作,变形较小时由黏弹性阻尼元件耗能,变形较大时主要由防屈曲支撑元件耗能。
- 装配整体减震支撑
- [发明专利]用于螺旋弹簧的弹簧支架-CN201680072437.3有效
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W·梅耶尔
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巴斯夫欧洲公司
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2016-11-30
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2021-07-09
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F16F1/12
- 本发明涉及一种用于螺旋弹簧(15)的弹簧支架,包括具有顶侧和底侧的环状接收元件(5),且包括与所述接收元件(5)的底侧接触的环状阻尼元件(3),设置所述顶侧以接收所述螺旋弹簧(15)的一个端部,所述阻尼元件(3)还在其内侧上具有轴环,所述轴环从所述接收元件(5)的底侧朝所述螺旋弹簧(15)的方向延伸,且所述轴环是通过由所述阻尼元件(3)的圆盘形基本形状的弯曲而形成的。本发明还涉及一种用于生产根据本发明的弹簧支架的方法,其中圆盘形阻尼元件(3)首先被插入到模具内,且随后通过在阻尼元件(3)上浇铸或注塑来生产环状接收元件(5),以便所述接收元件(5)的底侧与环状阻尼元件
- 用于螺旋弹簧弹簧支架
- [实用新型]装配整体式减震支撑-CN201720131534.7有效
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周颖;胡擎
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同济大学
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2017-02-14
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2017-09-29
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E04H9/02
- 本实用新型涉及一种装配整体式减震支撑,所述装配整体式减震支撑,包括防屈曲支撑元件、黏弹性阻尼元件及限位装置;防屈曲支撑元件为传统防屈曲支撑,包含耗能芯材、无黏结层及外包约束构件;黏弹性阻尼元件包含黏弹性材料弹簧构件与黏弹性阻尼元件串联。当支撑整体变形较小时,防屈曲支撑元件的耗能芯材处于弹性阶段不耗能,黏弹性阻尼元件剪切变形耗能;当装配整体式减震支撑整体变形较大时,挡板将黏弹性材料的剪切变形限制在许可变形范围内,而弹簧构件承担大部分变形黏弹性阻尼元件与防屈曲支撑元件协同工作,变形较小时由黏弹性阻尼元件耗能,变形较大时主要由防屈曲支撑元件耗能。
- 装配整体减震支撑
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