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- [实用新型]镀膜设备-CN202023145825.2有效
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黎微明;李翔;吴兴华
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江苏微导纳米科技股份有限公司
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2020-12-23
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2021-09-03
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C23C14/56
- 本实用新型涉及一种镀膜设备,在进行异质结太阳能电池的镀膜时,第一镀膜机构、第二镀膜机构及第三镀膜机构分别实现I层、p层及n层的镀设。硅片在第一运输组件的带动匀速通过第一镀膜腔体,从而在两面形成I层;接着,基片依次进入第二镀膜腔体及第三镀膜腔体,从而得到p层及n层。在第二镀膜腔体及第三镀膜腔体内,工艺参数可单独进行调整,从而得到所需的窗口层以保证转换效率。由于硅片两侧的I层成分相同,故可以在第一镀膜腔体内同时成型。而且,I层镀膜时的工艺参数保持恒定,故多个硅片可以连续通过第一镀膜腔体,从而实现I层的连续动态的镀膜。因此,第一镀膜腔体的利用率显著提升,故上述镀膜设备的产能的以提高。
- 镀膜设备
- [实用新型]一种低反射的分光镜-CN202022825438.7有效
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陈彪
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苏州欣恒高科光电科技有限公司
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2020-11-30
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2021-06-22
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G02B5/00
- 本实用新型涉及一种低反射的分光镜,包括分光镜本体,分光镜本体上镀设有分光膜和有增透膜,增透膜包括第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层,第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层依次设置在分光镜本体的斜面上,第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层均包括有SIO2层和TA2O5层,SIO2层和TA2O5层依次重叠,第一镀膜层内的SIO2层紧贴分光镜本体设置,增透膜还包括有MGF2层,MGF2层镀设在第四镀膜层的外围
- 一种反射分光镜
- [发明专利]膜层厚度的确定方法-CN201910147257.2在审
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朱伟;张继凯;程晓龙;赵阳
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汉能移动能源控股集团有限公司
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2019-02-27
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2020-09-04
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G01B11/06
- 本发明涉及光学镀膜技术领域,具体涉及膜层厚度的确定方法,该方法包括提供至少一个平面标准件;所述平面标准件包括至少一层镀膜层,各所述镀膜层与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺形成;根据所述平面标准件的参数确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度,所述参数包括所述镀膜层厚度及光学参数中一个。利用平面标准件作为待测试件每层镀膜层的厚度的确定基准,由于平面标准件与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺且平面标准件的镀膜层厚度或光学参数可以测定得到,通过平面标准件的镀膜层厚度或光学参数就可以确定出待测试件的每层镀膜层的厚度即利用平面标准件的膜层厚度来反推待测试件的膜层厚度,达到质量管控、品质管理的目的。
- 厚度确定方法
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