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[发明专利]一种基于缝纫机针杆的覆膜装置及其覆膜方法-CN202110973241.4在审
发明人：陈航海 -专利权人：诸暨市佳航机械有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于缝纫机针杆的覆膜装置，属于纺织机械的技术领域，其技术方案要点是包括：镀膜机本体，镀膜机本体包括抽气口、充气口、导轨、盖体、驱动装置，导轨置于镀膜机本体的内壁面；工件架，工件架设有若干装夹装置；第一镀膜区，第一镀膜区包括若干弧靶，弧靶置于镀膜机本体的内壁面；第二镀膜区，第二镀膜区包括若干溅射靶，溅射靶置于镀膜机本体的内壁面，本申请提供一种使镀膜工件装夹简单且稳固，使镀膜工件镀膜均匀，不易在镀膜时产生划痕的覆膜装置
一种基于缝纫机装置及其方法

[发明专利]一种镀膜装置和镀膜方法-CN201811572735.6在审
发明人：赵树利 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池领域，具体涉及一种镀膜装置和镀膜方法。本发明提供的镀膜装置，包括镀膜腔室和基板，所述镀膜腔室包括：至少两个加热区；所述基板依序通过所述至少两个加热区；其中，至少一个加热区为高温加热区，至少一个加热区为低温加热区；所述高温加热区的镀膜温度高于所述基板的玻璃化转变温度；所述低温加热区的镀膜温度低于所述基板的玻璃化转变温度。本发明所提供的镀膜装置，解决了铜铟镓硒薄膜受限于浮法玻璃玻璃化转变温度的限制，铜铟镓硒薄膜结晶性不佳的问题，实现了非均匀加热，提高了铜铟镓硒薄膜的性能。
镀膜装置加热区镀膜铜铟镓硒薄膜玻璃化转变基板低温加热区高温加热区镀膜腔室太阳能电池领域浮法玻璃基板依序非均匀结晶性受限加热

[实用新型]一种耐磨防腐高压泵塞-CN201920189950.1有效
发明人：李兴良 -专利权人：徐州锐得隆机电工程有限公司
申请日： 2019-02-11 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： F04B53/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐磨防腐高压泵塞，包括圆柱体结构的工作区，工作区的一端设置有第一非工作区，另一端设置有第二非工作区，第一非工作区、工作区和第二非工作区上设置有第一镀膜层，工作区上的第一镀膜层上设置有第二镀膜层，第一镀膜层的和第二镀膜层的厚度不同。本实用新型泵塞为圆柱形结构与泵塞套的配合更加贴合保住了柱塞泵的传输效率，整体的一次镀膜和二次镀膜大大提升了使用寿命。
镀膜层非工作区本实用新型一端设置高压泵泵塞耐磨防腐圆柱体结构圆柱形结构传输效率二次镀膜使用寿命柱塞泵镀膜贴合配合

[发明专利]多辊单室双面卷绕镀膜设备及方法-CN201610493860.2在审
发明人：朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 -专利权人：广东腾胜真空技术工程有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开一种多辊单室双面卷绕镀膜设备及方法，其设备包括真空室、卷绕机构和镀膜机构，真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构，真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区，且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离，水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔，卷绕机构位于卷绕区内，镀膜机构位于镀膜区内。其方法是放卷辊放出的卷材穿过水冷隔板后进入镀膜区，在镀膜区内经过多组磁控靶逐渐进行双面镀膜，最后穿过水冷隔板进入卷绕区中由收卷辊进行收集。本发明通过在单一的真空室中设置卷绕机构和镀膜机构，并通过设置多组磁控靶和水冷辊实现卷材的双面镀膜，简化柔性基材双面镀膜的工艺，有效提高镀膜效率，降低产品成本，提高其市场竞争力。
多辊单室双面卷绕镀膜设备方法

[实用新型]多辊单室双面卷绕镀膜设备-CN201620665811.8有效
发明人：朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 -专利权人：广东腾胜真空技术工程有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开一种多辊单室双面卷绕镀膜设备，包括真空室、卷绕机构和镀膜机构，真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构，真空室内部的空间包括卷绕区和镀膜区，且卷绕区和镀膜区之间通过水冷隔板隔离，水冷隔板上设有供卷材经过用的通孔，卷绕机构位于卷绕区内，镀膜机构位于镀膜区内。其方法是放卷辊放出的卷材穿过水冷隔板后进入镀膜区，在镀膜区内经过多组磁控靶逐渐进行双面镀膜，最后穿过水冷隔板进入卷绕区中由收卷辊进行收集。本实用新型通过在单一的真空室中设置卷绕机构和镀膜机构，并通过设置多组磁控靶和水冷辊实现卷材的双面镀膜，简化柔性基材双面镀膜的工艺，有效提高镀膜效率，降低产品成本，提高其市场竞争力。
多辊单室双面卷绕镀膜设备

[发明专利]镀膜设备-CN202110022234.6在审
发明人：陈冠州;王庆钧;黄智勇;梁沐旺;林义钧 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种镀膜设备，其包括腔体、进气装置、气环、载盘以及挡环。腔体具有镀膜区与非镀膜区。进气装置连通于腔体，其中进气装置对应于镀膜区设置，且用以将制作工艺气体引入镀膜区。气环设置于腔体内，其中气环环绕进气装置，且用以在镀膜区内形成环形气幕。载盘设置于镀膜区内，其中气环位于进气装置与载盘之间，且载盘用以承载待镀物。待镀物被环形气幕围绕。挡环设置于腔体内，且环绕载盘。挡环位于气环与载盘之间，且沿着镀膜区与非镀膜区的交界处设置。挡环具有多个穿孔。
镀膜设备

[实用新型]一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备-CN202222112412.7有效
发明人：张永胜;梁得刚;张永祺;王岩;李坤 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备，属于镀膜设备技术领域。一种卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，该设备的真空腔室内设有卷绕装置，该卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由放卷机构释放的基材依次经过第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊和第三张力区，再由收卷机构进行收卷；第一张力区、第二张力区和第三张力区均包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。本申请能够在一个工作周期内实现双面连续镀膜，可以提升生产效率，还能解决镀膜过程中保持张力的稳定性的问题，提高镀膜质量。
一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置设备

[发明专利]一种PCB板的图形质量改善方法、系统及其应用-CN202211050462.5在审
发明人：叶江波 -专利权人：东莞市湃泊科技有限公司;深圳市湃泊科技有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H05K3/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种PCB板的图形质量改善方法、系统及其应用，包括：在PCB板上预先划定镀膜料区和非镀膜料区；在非镀膜料区上覆设薄膜，并基于镀膜料区的边缘形状在薄膜上第一区以及第二区；在保留第一区的薄膜厚度的基础上逐渐削减第二区的薄膜厚度；通过真空蒸镀将膜料沉积在PCB板上，实现在薄膜的覆设下仅镀膜料区保留有膜料，且第一区的薄膜在热膨胀的影响下依旧保持原有的边缘形状，进而改善镀膜料区的图形质量。本发明提供的方案，通过减少非镀膜料区域薄膜的厚度，以此来降低镀膜料过程中薄膜的热膨胀影响，减少了热应力和残气对薄膜的干扰，进而改善膜料图形边缘的完整度和精密度。
一种 pcb 图形质量改善方法系统及其应用

[发明专利]一种板材输送装置-CN202310779645.9在审
发明人：许冬;赵虎泽;孔炯;虞梦轩;陈森 -专利权人：西安航锦机械制造有限责任公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本申请涉及板材加工装置的领域，尤其是涉及一种板材输送装置，其包括机架，其上设置有覆膜工作区、镀膜放置区、板材放置区；上料装置，用于承载并输送所述板材至所述覆膜工作区处；机械手，所述机械手能在所述上料装置将所述板材输送至覆膜工作区后，从所述镀膜放置区抓取镀膜，并将抓取到的镀膜输送至覆膜工作区释放，将镀膜覆盖在所述板材上；第一输送装置，设置在所述覆膜工作区处，能在所述机械手将镀膜覆盖在所述板材后将所述板材输送至所述板材放置区处；第二输送装置，设置在所述覆膜工作区处，能在所述机械手将镀膜覆盖在所述板材后将所述板材翻转，并输送至板材放置区处。本申请具有自动实现对于航空箱板材镀膜及叠放和输送的效果。
一种板材输送装置

[发明专利]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机-CN202011251952.2在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室，第一镀膜机构，第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊本发明实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀膜功能以及薄膜基材连续双面镀膜的功能，提高了镀膜的质量和生产效率。
一种复合型多功能双面卷绕镀膜

[实用新型]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机-CN202022594812.7有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室，第一镀膜机构，第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊本实用新型实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀膜功能以及薄膜基材连续双面镀膜的功能，提高了镀膜的质量和生产效率。
一种复合型多功能双面卷绕镀膜

[发明专利]镀膜方法-CN201010245040.4无效
发明人：王仲培 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-08-04 - 公布日： 2012-02-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种镀膜方法，其包括：提供基板及模板，该基板具有一外表面，该外表面包括镀膜区及非镀膜区，该模板设有通孔，该通孔及该非镀膜区形状及尺寸与待制图案的形状及尺寸匹配；将该模板固定于该外表面，且使该通孔与该非镀膜区对齐；于该模板上放置网版，通过该网版向该通孔内填充油墨；固化该油墨；移除该模板；于该镀膜区镀膜；及移除该油墨。
镀膜方法

[发明专利]卧式滚筒真空镀膜机-CN201210405753.1无效
发明人：李志荣;李志方;罗志明 -专利权人：东莞市汇成真空科技有限公司
申请日： 2012-10-22 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备领域，具体公开了一种卧式滚筒真空镀膜机，包括空心圆筒状壳体，所述壳体内固定有密封隔板，所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域，其中一区域设置为真空的密封隔离区，另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件本发明在壳体内建立了一个真空的密封隔离区，当镀膜机工作抽真空时仅需抽除此密封隔离区以外区域的气体，在相同容积壳体内腔的状态下，减少了需要抽真空的体积，减少抽真空时间，提高了工作效率；并且减少了镀膜室内压缩可凝水蒸气体积，从而提高镀膜产品膜层质量。密封隔离区保持为真空状态，在镀膜过程避免密封隔离区向镀膜室内漏气。
卧式滚筒真空镀膜

[发明专利]一种用阴罩掩膜镀膜制造HBC电池片及电池的方法-CN201910862475.4在审
发明人：上官泉元;庄正军 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： H01L31/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种阴罩掩膜镀膜制造HBC电池片的方法，包括如下工艺步骤：1)首先根据镀膜尺寸设计对应尺寸的N区镀膜阴罩及P区镀膜阴罩；2)镀膜前，将硅片放置在镀膜阴罩内定位好以遮挡P区或N区；3)采用PVD镀膜工艺在硅片上形成N膜或P膜；4)再将硅片在镀膜阴罩内定位好以遮挡N区或P区；5)再采用PVD镀膜工艺在硅片上形成P膜或N膜。该发明用PVD镀膜结合阴罩掩膜的方法在硅片背面分别单独形成P膜及N膜，从而有效避免了现有技术使用的掩膜刻蚀方法存在的工艺流程长效率低且由于刻蚀污染薄层性能而影响电池性能的不足，具有工艺步骤短、生产成本低的优点
镀膜阴罩硅片掩膜工艺步骤刻蚀遮挡影响电池性能生产成本低尺寸设计单独形成硅片背面硅片放置技术使用转换效率工艺流程电池片薄层污染制造

[发明专利]化学气相沉积设备-CN201010249943.X无效
发明人：许嘉麟 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-08-10 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：所述腔体具有相对的第一侧与第二侧，及一个位于第一侧与第二侧之间用于放置待镀膜滚轮的镀膜区。所述气体导入装置设置于所述腔体内部且位于所述第一侧的上方，所述气体导入装置具有一个喷头，所述喷头朝向所述镀膜区以向所述镀膜区喷反应气体。所述抽气装置设置于所述第二侧的下方，所述抽气装置用于抽取所述腔体内的气体使所述腔体内形成从第一侧流向第二侧且经过所述镀膜区的气流。所述加热装置位于所述镀膜区的下方且设置于所述腔体对应镀膜区的腔壁上。所述驱动装置连接放置于所述镀膜区的待镀膜滚轮以驱动所述待镀膜滚轮绕其转轴转动。
化学沉积设备