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[实用新型]基材可分离的真空镀膜设备-CN202021762820.1有效
发明人：叶飞;刘晓萌 -专利权人：无锡爱尔华光电科技有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供基材可分离的真空镀膜设备，其可以获得更均匀的镀膜效果，确保镀膜面积内工艺性一致。其包括：放置待镀膜基片的基片承载盘，设置在所述基片承载盘下方的加热器，设置于所述基片承载盘上方的电磁场发生装置和工艺气体发生装置，所述基片承载盘与所述电磁场发生装置、所述工艺气体发生装置之间的区域为镀膜工艺区、升降结构，所述基片承载盘设置于所述托盘外框上端面，所述托盘外框中心部位设置中空的托举口，所述加热器面积小于所述托举口面积；所述升降结构驱动所述加热器，经所述托举口托举放置于所述基片承载盘之上的所述待镀膜基片至所述镀膜工艺区的电磁场稳定区域
基材可分离真空镀膜设备

[实用新型]一种滤光片镀膜夹具-CN201220302982.6有效
发明人：葛文志;苏立国 -专利权人：温岭市现代晶体有限公司
申请日： 2012-06-27 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种滤光片镀膜夹具，用于滤光片生产过程中的镀膜工序中。本实用新型包括环形的夹具体，夹具体的内周缘固定有支撑区，其特征在于：所述的支撑区由若干个隔开的支撑块组成。本实用新型结构设计合理，减少了支撑区的材料，降低了成本。
一种滤光镀膜夹具

[实用新型]一种直角棱镜镀膜工装-CN201920787606.2有效
发明人：崔彦红 -专利权人：马鞍山市江南光学有限公司
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直角棱镜镀膜工装，涉及光学棱镜镀膜加工领域。包括固定板，固定板中部具有镀膜区，镀膜区内平行排布有至少两个支撑杆，相邻两支撑杆之间具有容纳直角棱镜直角面竖直朝下放置的间距，支撑杆下端两侧伸出有支撑檐；相邻两支撑杆之间的间距可调；固定板上位于镀膜区两侧对称开设有定位孔，支撑杆的两端与固定板分别通过穿过定位孔的连接螺栓可拆卸连接；定位孔为圆孔、腰型孔或矩形孔；固定板上开设有用于与镀膜机连接柱一一配合连接的连接孔；连接孔由插入孔和锁定孔构成。本实用新型应用时无需使用胶带保护直角棱镜上的非镀膜面，后续无需使用醇醚擦拭液擦拭，产品的良品率大大提高；镀膜均匀性好，生产的产品精度高。
支撑杆固定板直角棱镜定位孔本实用新型镀膜区连接孔镀膜镀膜均匀性固定板中部可拆卸连接朝下放置镀膜加工对称开设非镀膜面光学棱镜间距可调胶带保护连接螺栓配合连接平行排布擦拭液插入孔镀膜机矩形孔连接柱良品率腰型孔直角面工装醇醚竖直下端圆孔擦拭锁定穿过容纳伸出支撑应用生产

[实用新型]多弧—磁控溅射真空离子镀金设备-CN96225392.8无效
发明人：郑德恩;侯梦斌;张学林 -专利权人：郑德恩
申请日： 1996-02-07 - 公布日： 1997-05-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种多弧—磁控溅射真空离子镀金设备，它有一个镀膜室，镀膜室上接有真空抽气系统，在镀膜室的中间装有旋转工件架，在镀膜室的一侧装有若干个用钛块作为靶材的多弧阴极蒸发器，在镀膜室的另一侧装有若干个平面磁控溅射靶，平面磁控溅射靶上装有黄金溅射材料，从而形成两个相互独立的沉积区，所述的多弧阴极蒸发器和平面磁控溅射靶分别与电源电器控制柜相连接，当工件反复通过两个沉积区时，即可在其上有序的沉积TiN和Au镀层。
多弧磁控溅射真空离子镀金设备

[发明专利]一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备-CN202210543904.3在审
发明人：刘宽菲;任宇航;沈凯;任宇珂 -专利权人：尚越光电科技股份有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本装置包括真空腔，真空腔两侧分别设有放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送柔性基板，柔性基板底面有CIGS层，放卷轴和收卷轴之间的柔性基板沿输送方向依次设有碱金属前驱体镀膜区、硒化区和冷却区，碱金属前驱体镀膜区的下方设有碱金属源，硒化区下方设有硒源，所述碱金属前驱体镀膜区、硒化区柔性基板上方分别设有上加热器。
一种柔性 cigs 吸收碱金属处理设备

[发明专利]一种荧光轮及激光光源-CN201811626479.4在审
发明人：田有良;王强;刘显荣;李巍 -专利权人：海信集团有限公司
申请日： 2015-10-14 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种荧光轮及激光光源，包括荧光粉和无机材料，荧光粉和无机材料混合形成圆盘状基板；基板包括荧光区，荧光区包括荧光层，以及位于荧光层之上的镀膜；镀膜用于透射激光激励光和反射荧光，能够提高荧光的出光效率
荧光粉激光光源无机材料荧光层荧光轮荧光区荧光镀膜圆盘状基板出光效率透射激光激励光基板反射

[发明专利]一种硅片ALD镀膜方法和装置-CN201610489818.3在审
发明人：许佳平;蒋方丹;金浩 -专利权人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片ALD镀膜方法以及镀膜装置，其中，方法，包括以下步骤：步骤1，对硅片进行第一次镀膜，所述第一次镀膜的镀膜厚度为x；步骤2，将所述硅片水平转动90°；步骤3，对所述硅片进行第二次镀膜。所述第二次镀膜的镀膜厚度为h‑x；其中，h为对所述硅片的预定镀膜的镀膜厚度，0<x<h。所述硅片ALD镀膜方法以及镀膜装置，通过对硅片进行两次镀膜，并且在第一次镀膜和第二次镀膜之间将硅片水平转动90°，这样使得第一次镀膜时的硅片上下边缘处的未镀膜区在第二次镀膜时能够被正常镀膜，增大了硅片上的镀膜区域，提高了硅片的镀膜效果。
一种硅片 ald 镀膜方法装置

[发明专利]金属化安全膜电容器-CN200610025451.6无效
发明人：许峰;潘浩 -专利权人：上海皓月电气有限公司;上海皓月电容器有限公司
申请日： 2006-04-05 - 公布日： 2007-10-10 - 主分类号： H01G4/005 文献下载
摘要：一种金属化安全膜电容器，具有两层叠卷的金属化安全膜，每层金属化安全膜沿纵向中心线划分网格区和∏形区；网格区，镀层被较窄空隙条分割成许多小面积单元，相邻小面积单元之间有窄形镀膜接点相连；∏形区，镀层被空隙条作横向分割而呈两层叠卷的金属化安全膜，上层的∏形区与下层的网格区相对应，上层的网格区与下层的∏形区相对应；在网格区与∏形区相接的一侧设有附加空隙槽相隔，∏形区与相邻的小面积单元有附加空隙槽之间的窄形镀膜接点相连。它解决现有产品由于电流流入导电边带时的非均等离散分布，而造成导电边带与相邻的小面积单元间窄形镀膜接点在正常工作状态下就被切断的问题，提升了产品质量的一致性。
金属化安全电容器

[发明专利]镀膜工件承载装置和滚筒式镀膜机-CN202210047648.9在审
发明人：杨鹏 -专利权人：万津实业（赤壁）有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜工件承载装置和滚筒式镀膜机。该镀膜工件承载装置包括挂板和电磁感应部件，挂板上具有导电区，电磁感应部件包括用于产生感应电动势的导体，导电区电连接于导体；挂板在横向上具有中轴部和位于中轴部两侧的边缘部，自中轴部至边缘部，导电区在纵向上的长度逐渐减小该镀膜工件承载装置能够形成从挂板的中轴部至边缘部面积逐渐减小的渐变电场，渐变电场能够对膜层的厚度起到补偿的作用，越靠近挂板中间的部位得到的沉积补偿越多进而使得沉积的膜层更为均匀。
镀膜工件承载装置滚筒

[发明专利]一种电子倍增器打拿极的曲面成膜方法-CN201410541534.5无效
发明人：李得天;李晨;王多书;张玲 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2014-10-15 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子倍增器打拿极曲面成膜方法，以间接镀膜的方式，有效解决电子倍增器打拿极特定曲面镀制薄膜均匀性以及稳定性等问题。首先，按照电子倍增器打拿极外壳待镀膜内表面的尺寸和弧度，加工两端留有待弯折区的曲面内衬片；其中一端的待弯折区向曲面外反折180°，形成折起部；另一端的待弯折区切割型成n个矩形齿牙卡扣；然后进行曲面内衬片的镀膜；将镀膜后的曲面内衬片安装在电子倍增器打拿极外壳内表面，并采用折起部和矩形齿牙卡扣固定。
一种电子倍增器打拿极曲面方法

[发明专利]可显示图案的电致变色器件及其镀膜方法-CN202111063273.7有效
发明人：张永夫;王俊;俞峰;周海龙 -专利权人：浙江上方电子装备有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种可显示图案的电致变色器件及其镀膜方法，所述镀膜方法包括：在基底一侧依次沉积第一导电层、电致变色层、离子存储层，得到中间工件；所述中间工件分为至少两个温控区，在中间工件上沉积注入离子源时，针对不同的温控区控制不同的沉积温度，所述温控区的分布与所述电致变色器件在变色过程中预期呈现的图案形状相匹配；沉积第二导电层。本发明镀膜方法制备的电致变色器件能够实现图案的动态变化，满足不同的应用要求。
显示图案变色器件及其镀膜方法

[实用新型]磁控镀膜机腔罩结构-CN201520063134.8有效
发明人：闫会朝;丁磊;李晓哲 -专利权人：厦门玉通光电有限公司
申请日： 2015-01-29 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开一种磁控镀膜机腔罩结构，包括机壳体，机壳体侧面开口用于机芯卷绕部分进出，机壳体内上部为收放区，下部为靶镀区，所述收放区与靶镀区均为弧状空间，收放区的内径大于靶镀区内径，靶镀区与收放区结合处形成向中心延伸的突台结构，机壳体的收放区侧壁设有深冷管，机壳体顶部设有气流通道。本实用新型机壳体的收放区与靶镀区设计合理，机芯卷绕部分可以伸入或拖出到机壳体真空室，具有结构合理、上下膜操作方便、镀膜效率高等优点。
镀膜机腔罩结构

[实用新型]一种新型手机镀膜机-CN201520509832.6有效
发明人：段振付 -专利权人：深圳市荣恩科技有限公司
申请日： 2015-07-14 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： B05B15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型手机镀膜机，属于手机镀膜技术领域，上盖的下方设有喷雾区，上盖的一侧与控制面板连接，上盖的另一侧与后门连接，后门的底部设有进电源线插头，进电源线插头的内侧设有电气元件安装区，电气元件安装区的一侧设有散热风扇，散热风扇与箱体底部的气泵连接，控制面板的下方设有加热区，加热区的外侧设有加热区门，加热区的内侧设有电磁阀安装区；所述的控制面板的中间设有触摸屏，触摸屏的一侧设有真空表和温控表，触摸屏的另一侧设有电源开关和加热开关它结构设计合理，操作方便，分工明确，提高了手机镀膜的质量，同时也提高了加工的效率。
一种新型手机镀膜

[发明专利]一种新型的双带通滤光片的制备方法-CN202010454125.7在审
发明人：王英剑;孟庆宣 -专利权人：苏州京浜光电科技股份有限公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的双带通滤光片的制备方法，包括如下步骤：S1、预处理：挑选合适的玻璃片，放入超声波清洗机中清洗，通过离心干燥机甩干，检查玻璃片表面有无瑕疵，并在玻璃片正面表面划分若干彼此交替排布的A区与B区；S2、一次前处理：对玻璃片进行镀膜前准备工作；S3、A区镀膜：在所有的A区区域镀可见光透过红外截止滤光膜；本发明制备的单个滤光片上同时存在可见光和红外940nm滤膜，形成双通带滤光片；制备过程中分开镀膜，可以兼顾可见光透过带宽以及3D结构光940nm镀膜光谱的优点；由3D结构光940nm镀膜光谱可知：入射光0度‑30度，光谱中心波长漂移量12nm，光学技术性能优良。
一种新型双带通滤光制备方法

[发明专利]一种石英镀膜加热器-CN202310436997.4在审
发明人：黄日红 -专利权人：苏州实钧芯微电子有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H05B3/03 文献下载
摘要：本发明涉及石英电加热器技术领域，具体涉及一种石英镀膜加热器，包括石英槽体，石英槽体设有开口向上的置容槽，石英槽体的侧壁均设有镀膜区，镀膜区镀有电热膜，电热膜的两侧设有银电极，银电极位于电热膜的表面，且电热膜的左右两侧边缘分别与两个银电极相互导通本发明石英镀膜加热器结构简单、新颖，通过在石英槽体的外表面镀加热膜及印刷电极可实现对置于石英槽体内的液体进行加热，而采用在镀膜区镀电热膜方式可进一步增加电热膜与石英槽体之间的结合紧密度，另外可以有效克服以往电热膜在外力或热应力作用下容易开裂或脱落的问题
一种石英镀膜加热器