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[发明专利]二氧化锡基气敏材料及硫化氢气体传感器芯片的制备方法、硫化氢气体传感器-CN201711241373.8有效
发明人：孙旭辉;吴庆乐;张书敏;徐瑞;张平平;何跃;王国栋;熊金龙 -专利权人：苏州慧闻纳米科技有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明提供了二氧化锡基气敏材料的制备方法。包括如下步骤：向锡的盐溶液中加入弱酸，将溶液pH值调节至1‑2，并在第一预设温度下搅拌均匀；以预设速率加入弱碱，直至将溶液的pH值调节至2‑3，继续搅拌直至呈凝胶状态；取出凝胶，将凝胶加热至第二预设温度，再加入弱酸以调节pH值至1.5‑2；加入聚乙二醇后进行干燥并烧结，以获得二氧化锡粉体；向二氧化锡粉体中加入金属盐和可挥发醇类溶剂，并研磨以获取浆料，烧结一预设时间，获得金属掺杂二氧化锡基气敏材料。本发明通过改变气敏材料的制备工艺，解决了SnO2基材料在常温下对H2S气体几乎没有响应的技术问题。
氧化锡基气敏材料硫化氢气体传感器芯片制备方法

[发明专利]一种花状分级结构ZnO/SnO₂纳米复合气敏材料及其制备方法-CN201310749356.0有效
发明人：孙广;李彦伟;戚凤晓;张赛赛;曹建亮;王燕;付乌有;孟哈日巴拉;张战营 -专利权人：河南理工大学
申请日： 2014-02-27 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种花状分级结构ZnO/SnO₂纳米复合气敏材料，将氢氧化钠水溶液，在电磁搅拌下的滴加到十六烷基三甲基溴化铵和二水氯化亚锡的乙醇溶液中，滴加完毕后继续电磁搅拌制备出前驱体溶液；将前驱体溶液装入反应釜中，在130℃下反应，取出反应物进行离心、洗涤、干燥后，得花状氧化亚锡牺牲模板；将花状氧化亚锡牺牲模板加入乙酸锌溶液中，经搅拌、超声处理，去除溶剂后，得到ZnO/SnO₂前驱体；将ZnO/SnO₂前驱体在700℃的空气气氛中保温2-4小时后，得到所述的复合气敏材料；本发明可实现对复合气敏材料在形貌和组分上的可控制备；所得复合气敏材料，氧化锌的质量百分含量为5-15%，由片状二氧化锡和氧化锌纳米粒子组装成花状，具有更好的气体敏感性能，在制造新型高效气体传感器方面具有广阔的应用前景。
种花分级结构 zno sno sub 纳米复合材料及其制备方法

[发明专利]含二氧化锡基纳米晶粉体及二氧化锡基厚膜甲烷敏感材料的制备方法-CN99115842.3无效
发明人：惠春;徐爱兰 -专利权人：惠春
申请日： 1999-08-17 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： H01L49/02 文献下载
摘要：本发明是关于二氧化锡纳米晶及其二氧化锡厚膜基甲烷气敏材料的制造方法。按比例把超细微粉体Al2O3、SiO2和钯催化剂加入具有特定pH值范围的四氯化锡溶液中，在100℃以上进行水热化学反应和活化处理，从而获得本发明的二氧化锡纳米晶复合粉体，将这种粉体经300-500℃预烧处理，制备成浆料，涂覆于载体上，再经500-700℃热处理，可获得对甲烷气体灵敏度高和选择件好的气敏传感器。
氧化纳米晶粉体锡基厚膜甲烷敏感材料制备方法

[发明专利]一种高非线性压敏陶瓷的制备方法-CN202010454060.6在审
发明人：雷洪云 -专利权人：泉州市瑞秀凯赛建筑材料科技有限公司
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明涉及一种高非线性压敏陶瓷的制备方法，属于压敏陶瓷技术领域。本发明采用溶胶‑凝胶法制备出二氧化硅‑氧化镁‑二氧化锡复合气凝胶作为填料，以氧化锌、氧化铋为原料，和聚氨酯橡胶复合制备出一种高非线性压敏陶瓷；气凝胶是一种结构可控的新型轻质纳米多孔性非晶固态材料，由于它特有的纳米多孔、三维网络结构，气凝胶具有许多独特的性能，尤其表现在高孔隙率、低密度、低热导率等方面；由于二氧化硅气凝胶的纳米网络内形成量子点结构，通过同步溶胶‑凝胶法掺杂氧化镁和二氧化锡，能有效提高压敏陶瓷的非线性系数；本发明中氧化镁的掺杂，使得制备的压敏陶瓷具有较好的残压比、非线性系数、电压梯度等电学特性。
一种非线性陶瓷制备方法

[发明专利]一种用于二氧化氮传感器的气敏材料及其制备方法-CN201910064782.8有效
发明人：曾文文;梅军;何周坤;詹浩然 -专利权人：中物院成都科学技术发展中心
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于二氧化氮传感器的气敏材料，由二氧化锡和四氧化三锡两相复合而成，具备二氧化锡‑四氧化三锡纳米复合结构，微观上为由二氧化锡与四氧化三锡的零维颗粒组装而成的三维分级结构。本发明提供的用于二氧化氮传感器的气敏材料，对二氧化氮具备很高的灵敏度，较低的二氧化氮检测限，二氧化氮具有较快的响应和恢复速度，对二氧化氮气体具有非常好的选择性。
一种用于二氧化氮传感器材料及其制备方法

[发明专利]一种钯单原子修饰的氧化锡复合材料及其制备方法和应用-CN202110087661.2有效
发明人：段国韬;刘波;张征;谭彭伟;张彦林 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明属于气敏传感材料领域，具体涉及一种钯单原子修饰的氧化锡复合材料及其制备方法和应用，方法包括将氧化锡颗粒在水中充分分散均匀，并向分散液中加入四氨合硝酸钯，充分搅拌之后进行固液分离和洗涤，得到钯前驱体离子修饰的氧化锡复合结构；对钯前驱体离子修饰的氧化锡复合结构进行快速升温和高温煅烧，得到钯单原子修饰的氧化锡复合结构，其中，升温的速度保证氧化锡颗粒快速锚定住钯前驱体离子避免在氧化锡颗粒表面聚集。本发明制备的氧化锡复合材料具有良好的气敏特性，可作为电阻型半导体气体传感器的传感层，与现有技术相比能够有效解决仪器昂贵、操作复杂、无法现场实时检测的问题，实现对氢气的超灵敏、快响应、低成本检测。
一种原子修饰氧化复合材料及其制备方法应用

[发明专利]多孔分级结构室温氯气敏感材料的制备方法-CN201010166221.8有效
发明人：苏慧兰;宋钫;张荻 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2010-05-07 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种传感材料技术领域的多孔分级结构室温氯气敏感材料的制备方法，采用油菜花粉为原材料，经预处理后浸渍在锡盐的前驱液中，再经水解干燥和氧化灼烧处理得到氧化锡气敏材料，经涂覆于基底表面并经老化处理后制成多孔分级结构室温氯气敏感材料本发明工艺简单灵活，成本低廉，能通过对金属氧化物的晶粒尺寸、多孔分级结构进行有效控制而获得具有优良性能的气敏传感材料，制备的这种多孔分级结构的气敏材料能在室温下对低浓度的Cl2具快速的选择性检测。
多孔分级结构室温氯气敏感材料制备方法

[发明专利]一种气敏传感器件及其制备方法和应用-CN201711401255.9在审
发明人：唐成春;顾长志;杨海方;李俊杰;姜倩晴;金爱子 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明提供一种气敏传感器件及其制备方法和应用，所述气敏传感器件包括对气体敏感的中心部分和感应信号传输部分，其中，所述中心部分包括石墨烯、二硫化锡或二硫化钼的纳米晶体膜层材料。本发明的气敏传感器件实现了气体的高灵敏度传感。
制备方法和应用气敏传感器件传感器件感应信号传输纳米晶体膜晶粒传导电流二硫化钼高灵敏度纳米膜层硫化锡石墨烯传感隧穿敏感

[发明专利]一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法-CN201710373345.5在审
发明人：汪洋;李训红;汪雪婷 -专利权人：江苏时瑞电子科技有限公司
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2017-11-03 - 主分类号： C04B41/85 文献下载
摘要：本发明提供了一种二氧化锡气敏薄膜的制备方法，先将草酸亚锡加至去离子水中，搅拌条件下加入葡萄糖、柠檬酸、表面活性剂，加热至30‑40℃保温30‑40min，冷却，得到混合液，加入三乙醇胺，调节pH至6.0本发明的二氧化锡气敏薄膜对H2S具有很好的灵敏度和较快的响应速度。
一种氧化锡气敏薄膜制备方法

[发明专利]一种铝掺杂二氧化锡花状微米球/纳米棒气敏材料的制备方法-CN201310522532.7无效
发明人：甄玉花;孙富华;张敏;贾凯丽 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2013-10-29 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： C01G19/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝掺杂二氧化锡花状微米球/纳米棒气敏材料的制备方法，其特征在于它的步骤为：（1）将一定比例的五水四氯化锡和六水三氯化铝溶解在无水乙醇中，将一定量的氢氧化钠溶解于去离子水中；（2）将上述溶液在磁力搅拌器的作用下混合，并中速搅拌20-30min；（3）将搅拌后的溶液转入反应釜中，在设定的温度下反应一定时间后自然冷却至室温；（4）离心洗涤，干燥，得到掺杂二氧化锡粉体。该种气敏材料有花状微米球和纳米棒两种微结构。对于制作的铝掺杂SnO2表面型气体传感元件，在较低工作温度200-300℃时，对氢气有优异的敏感性，最高灵敏度达到97.6%（灵敏度上限为100%）。本发明具有材料制备简单、气敏性能优异，是一种理想的氢气气敏材料。
一种掺杂氧化锡花状微米纳米棒气敏材料制备方法

[实用新型]一种混合气体检测的微型传感器阵列-CN202222544692.9有效
发明人：李强;马铭玮;李明勇;云峰 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本实用新型包设置在基底上的四种不同铟锡比例的气敏单元，分别为第一气敏单元、第二气敏单元、第三气敏单元与第四气敏单元，每一个气敏单元上设置有叉指电极。将气敏元器件制备为阵列的形式，可解决传感器在化工、煤炭行业中产生的混合气体检测时的交叉敏感和目标优选问题，能够提高器件的抗干扰性能，且能一次性有效实现多个目标气体的检测。
一种混合气体检测微型传感器阵列

[发明专利]一种纳米二氧化锡气敏材料的制备方法-CN201510725990.X在审
发明人：王超;徐豹;栾春红;梁莹林;姜晶;杨萍;伍思昕 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-10-30 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种纳米二氧化锡气敏材料的制备方法，属于半导体氧化物气敏材料领域。本发明利用化学气相沉积法在SnO₂纳米颗粒表面通过乙炔气体分解制备碳包覆的SnO₂纳米颗粒，后经退火处理调控表面碳材料的构成和形貌，得到气敏性能显著增强的碳修饰的纳米SnO₂气敏材料。本发明首次将碳修饰的纳米SnO₂材料应用于气体检测方向，相对于其他提高气敏材料性能的方法，如溅射或蒸发制备金属氧化物半导体薄膜、溶胶凝胶法制备具有特殊微结构形貌的纳米颗粒、修饰掺杂贵金属Pt、Pd、Au等方法，本发明具有方法简单、成本低廉的优点，且得到的碳修饰的SnO₂纳米气敏材料的气敏性能有显著的提高，在气敏材料领域具有广泛的应用前景。
一种纳米氧化锡气敏材料制备方法

[发明专利]一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法-CN202110410826.5有效
发明人：冯侨华;张欢欢;李萍;孙宇霆;施云波 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本发明主要是为了解决无机气敏材料的半导体气体传感器选择性差、工作温度高，而有机气敏材料的半导体气体传感器灵敏度低，响应慢的问题，提出了一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法，包括：一、无机气敏材料二氧化锡的制备；二、有机气敏材料聚合物聚苯胺的制备；三、MEMS气体传感器器件制备；四、气敏材料滴涂与器件烧结；本发明制备的气敏材料比无机气敏材料选择性好、工作温度低，比有机气敏材料灵敏度高，制备的微型器件温度分布均匀
一种有机无机复合材料气体传感器制备方法

[发明专利]一种基于SnSe₂/SnO₂异质结的二氧化氮气体传感器、制备工艺及应用-CN201810634837.X在审
发明人：李晓干;李欣宇;王明峰;顾丁;刘航 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：基于SnSe₂/SnO₂异质结的二氧化氮气体传感器主要由气敏材料和加热基板组成，所述气敏材料涂覆在所述加热基板表面，涂覆厚度为1μm～100μm；所述气敏材料成分为二硒化锡和二氧化锡形成的异质结复合纳米材料本发明利用二硒化锡和二氧化锡异质结复合纳米材料制作的二氧化氮传感器工作温度为120℃，可以实现材料与硅基微电子相集成。
异质结二氧化氮气体复合纳米材料气敏材料传感器二氧化锡加热基板制备工艺涂覆硒化制备二氧化氮传感器纳米材料技术二维半导体热氧化法工艺流程硅基微电子应用制作

[发明专利]离子掺杂二氧化锡多孔薄膜型气敏器件及其制备方法-CN200810108009.9无效
发明人：贾丽超;蔡伟平;王洪强;孙丰强;李越 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2008-05-10 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： G01N27/407 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子掺杂二氧化锡多孔薄膜型气敏器件及其制备方法。器件为覆于衬底和电极上的、由一层以上的呈紧密六方排列并相互连通的球形孔状的掺杂有钯离子或铬离子的二氧化锡构成的气敏薄膜；方法为将胶体球附于基底表面形成单层胶体晶体模板，接着，向浓度为0.05～0.2M的四氯化锡溶液中加入二氯化钯或三氯化铬得到前驱体溶液后用所需形状的带有电极的衬底捞起单层胶体晶体，并使其覆盖于衬底表面，再将其置于80～120℃下加热1～4h，重复浸入、捞起和加热固化的步骤0次以上后，将其置于350～550℃下退火1～4h，制得离子掺杂二氧化锡多孔薄膜型气敏器件
离子掺杂氧化多孔薄膜型气敏器件及其制备方法