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- [发明专利]一种低温制备锌锡氧透明半导体薄膜的溶液方法-CN201610821773.5在审
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夏国栋;姚书山;王素梅
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齐鲁工业大学
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2016-09-14
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2017-01-11
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H01L21/02
- 本发明属于新材料及半导体领域,特别涉及一种低温制备锌锡氧透明半导体薄膜的溶液方法。包括如下步骤:称取可溶性的锌盐、锡盐,量取溶剂,配置浓度为0.01‑0.5摩尔/升的锌锡氧前驱体溶液,经过0.1‑3小时的磁力搅拌和超声分散形成澄清透明的锌锡氧前驱体溶液;制备锌锡氧薄膜:将锌锡氧前驱体溶液涂覆到清洗好的衬底上形成锌锡氧前驱体薄膜,进行50‑150 ℃的预热处理,然后经过一定功率、时间和温度的光波退火,根据锌锡氧薄膜的厚度要求可多次涂覆前驱体锌锡氧溶液并退火处理,即得到锌锡氧透明半导体薄膜。本发明所得锌锡氧薄膜在晶体管、存储器、太阳能电池等信息能源领域有重要应用前景。通过本发明的工艺可以避免通常的高温溶液工艺、工艺周期长或昂贵设备等,成本低,适合工业化大规模生产。
- 一种低温制备锌锡氧透明半导体薄膜溶液方法
- [发明专利]一种锡酸锌粉体的制备方法-CN201610444573.2有效
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莫若飞;吕汶骏
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广西新晶科技有限公司
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2016-06-21
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2017-12-12
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C01G19/00
- 本发明公开一种锡酸锌粉体的制备方法,包括以下步骤A、将锡酸盐和锌盐分别溶于水中,配制成锡酸盐水溶液和锌盐水溶液,将锡酸盐水溶液和锌盐水溶液分别连续的注入置于超声发生装置中的管式反应器中,在反应器中对撞汇合,在超声波作用下发生复分解沉淀反应生成羟基锡酸锌;B、将排出反应器的溶液经陈化后,滤取沉淀,用蒸馏水洗涤,检查无SO42‑后,进行固液分离,获得羟基锡酸锌;C、将羟基锡酸锌置于微波下加热分解,控制分解温度为本发明在超声波作用下,锡酸盐溶液与锌盐溶液连续流动反应生成羟基锡酸锌;在微波作用下,羟基锡酸锌的快速干燥与分解,制备出组成均匀、粒径达到超细级的锡酸锌粉体。
- 一种锌粉制备方法
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