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[实用新型]一种金属化电容膜的锌条蒸镀装置-CN202320968273.X有效
发明人：胡波;陈银平;陈刚;刘远抄;卢磊 -专利权人：江苏中立方实业有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属化电容膜的锌条蒸镀装置，涉及锌条蒸镀装置的技术领域，包括底座，底座的一侧固定连接有定位块，定位块的内部对称插接有锌条蒸镀仓，锌条蒸镀仓的一侧设置有支撑组件，底座的四周对称设置有气缸，气缸的输出端固定连接有伸缩杆，伸缩杆的一端贯穿底座固定连接有固定架，固定架的内部对称插接有限位卡盘，限位卡盘靠近锌条蒸镀仓的一侧插接有锌条本体，本申请的设计通过固定架内部的限位卡盘对锌条本体进行固定，通过多组锌条本体插入锌条蒸镀仓的内部，增加了锌条本体的蒸镀效率，通过支柱对支撑盘的支撑，方便锌条本体的拖脱模。
一种金属化电容锌条蒸镀装置

[实用新型]一种金属化电容膜的锌条蒸镀装置-CN201720426016.8有效
发明人：周友良 -专利权人：盐城市同齐电气制造有限公司
申请日： 2017-04-21 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种金属化电容膜的锌条蒸镀装置，包括调节支撑座和锌条蒸镀仓，所述调节支撑座的两端均依次设有滑轨和延长板；其中盖板杆固定在所述延长板上且中端部连接与所述锌条蒸镀仓相适配的封板，其中所述锌条蒸镀仓的开口处依次设有从下到上设有蒸镀网和加厚区模板，其中锌条蒸镀仓的两端转动固定在滑块上，所述滑块滑动固定在所述滑轨上，气缸的气缸轴与滑块连接固定；所述锌条蒸镀仓的一侧设有托板，所述托板的两端与所述滑块连接固定；其中托板依次设有若干个弹簧，每个所述弹簧的端部设有与所述锌条蒸镀仓相接触的垫板
一种金属化电容锌条蒸镀装置

[实用新型]一种加工金属化电容薄膜用的金属蒸镀组合装置-CN201720426592.2有效
发明人：周友良 -专利权人：盐城市同齐电气制造有限公司
申请日： 2017-04-21 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种金属化电容膜的锌条蒸镀装置，包括调节支撑座和锌条蒸镀仓，所述调节支撑座的两端均依次设有滑轨和延长板；其中盖板杆固定在所述延长板上且中端部连接与所述锌条蒸镀仓相适配的封板，其中所述锌条蒸镀仓的开口处依次设有从下到上设有蒸镀网和加厚区模板，其中锌条蒸镀仓的两端转动固定在滑块上，所述滑块滑动固定在所述滑轨上，气缸的气缸轴与滑块连接固定；所述锌条蒸镀仓的一侧设有托板，所述托板的两端与所述滑块连接固定；其中托板依次设有若干个弹簧，每个所述弹簧的端部设有与所述锌条蒸镀仓相接触的垫板
一种加工金属化电容薄膜金属组合装置

[实用新型]一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置-CN201821142632.1有效
发明人：邹卫东;姚成椿 -专利权人：广东迈特斐薄膜科技有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置，包括铝蒸镀装置、锌蒸镀装置，沿基膜的移动方向，所述铝蒸镀装置设在锌蒸镀装置之前，所述铝蒸镀装置包括蒸镀池，所述蒸镀池的一侧设置送丝组件、另一侧设置锌蒸镀装置；所述锌蒸镀装置包括锌炉，所述锌炉的一端设有锌的投料口，所述锌炉上设有供锌蒸气通过的蒸发口，所述锌炉远离蒸镀池的一侧向上抬起，使所述蒸发口的开口朝向基膜，所述蒸发口上设有锌挡板，所述锌挡板与蒸发口相适配，所述锌挡板上设有若干个气口，所述气口用于控制锌的蒸发量比例和限制蒸发方向。
蒸发口锌炉锌蒸挡板铝蒸蒸镀低功率损耗电容器用金属化膜蒸镀装置基膜气口本实用新型减少设备移动方向占用空间蒸发方向整体装置投料口锌蒸气蒸发量适配送丝抬起紧凑开口

[发明专利]一种安全的金属薄膜蒸镀方法-CN201610857393.7在审
发明人：盖浩然 -专利权人：青岛东浩软件科技有限公司
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种安全的金属薄膜蒸镀方法，在蒸镀时，气态锌铝微粒按一定大小区域间断式蒸镀在有机薄膜基材上，每个区域横向间是独立的，纵向用一条窄镀层与公共区连接，所述蒸镀时在每个区域横向增加一条安全线，并且每个区域之间的安全线采用非水平布置，被镀有机薄膜基材在被气态锌铝微粒蒸镀之前还包括经过油脂涂抹准确屏蔽非蒸镀区的步骤，产品在生产过程中即使因为滚轮划伤到安全线，每个区域间仍有横向安全线相连，因为横向安全线采用非水平布置，连续划伤的概率大幅度降低，采用油脂涂抹的方法准确的屏蔽非蒸镀区简单方便，可操作性强。
一种安全金属薄膜方法

[发明专利]一种安全的金属薄膜蒸镀方法-CN201510005459.5有效
发明人：黄渭国;姚春平 -专利权人：六和电子（江西）有限公司
申请日： 2015-01-07 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种安全的金属薄膜蒸镀方法，在蒸镀时，气态锌铝微粒按一定大小区域间断式蒸镀在有机薄膜基材上，每个区域横向间是独立的，纵向用一条窄镀层与公共区连接，所述蒸镀时在每个区域横向增加一条安全线，并且每个区域之间的安全线采用非水平布置，被镀有机薄膜基材在被气态锌铝微粒蒸镀之前还包括经过油脂涂抹准确屏蔽非蒸镀区的步骤，产品在生产过程中即使因为滚轮划伤到安全线，每个区域间仍有横向安全线相连，因为横向安全线采用非水平布置，连续划伤的概率大幅度降低，采用油脂涂抹的方法准确的屏蔽非蒸镀区简单方便，可操作性强。
一种安全金属薄膜方法

[发明专利]一种锌蒸镀金属化聚丙烯薄膜电容器的制备方法-CN201010199130.4无效
发明人：杜月良 -专利权人：杜月良
申请日： 2010-06-11 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： H01G4/33 文献下载
摘要：本发明公开了一种锌蒸镀金属化聚丙烯薄膜电容器的制备方法，包括以下步骤：(1)选用优质聚丙烯薄膜，采用真空蒸镀法在聚丙烯薄膜的表面蒸镀一层铝核，使铝核均匀附着在塑料薄膜上；(2)在蒸镀了铝核的聚丙烯薄膜上采用真空蒸镀法蒸镀一层均匀的锌层；(3)在蒸镀了锌层的聚丙烯薄膜上蒸镀一层氧化硅层；(4)用喷镀的方法将电极接合在各蒸镀层上，并在电极上接续导线引子，然后形成由绝缘体构成的外包装，从而制成金属化电容器。本发明通过在聚丙烯薄膜上蒸镀一层铝核，再在蒸镀了铝核的聚丙烯薄膜上蒸镀一层锌层，然后在蒸镀了锌层的薄膜上采用高频磁控管溅射法蒸镀一层氧化硅层，极大地提高了电容器的工作性能和安全性能。
一种镀金聚丙烯薄膜电容器制备方法

[发明专利]一种金属化电容薄膜的制作方法-CN202111340056.8在审
发明人：黄剑鹏 -专利权人：宁波大东南万象科技有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：本发明提供一种金属化电容薄膜的制作方法，包括S1：进行基膜穿模工作所述S1的具体步骤为：将基膜所形成的卷筒布置在第一转动辊上，拉动基膜依次经过铝蒸镀腔、冷却腔、以及锌蒸镀腔，然后从箱体的出口穿出；S2：将启动风机，将铝蒸镀腔和锌蒸镀腔抽至真空；S3：调节油遮挡装置，将基膜边缘部分根据需要的镀锌厚度暴露在新蒸镀腔中；S4：启动镀铝装置和镀锌装置，基膜在铝蒸镀腔内完成铝蒸镀，然后经过冷却腔之后，蒸镀在基膜上的铝冷却成薄膜，然后在锌蒸镀腔完成对锌的蒸镀；其中，所述箱体内设置有多个隔板，所述隔板将在所述箱体内分隔出所述的铝蒸镀腔、冷却腔以及锌蒸镀腔，所述隔板为隔热材料制作而成。
一种金属化电容薄膜制作方法

[发明专利]铝锌加强边型金属化薄膜及其加工装置和方法-CN202011008294.4在审
发明人：刘同林;汪秀义 -专利权人：铜陵市超越电子有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：铝锌加强边型金属化薄膜，包括用于金属化薄膜附着的基膜，所述基膜上通过蒸镀覆盖上一层铝膜，所述铝膜边缘通过蒸镀覆盖上一层锌膜。本发明通过串联铝锌交替式蒸镀方式，实现连续化铝锌蒸镀；本发明通过蒸镀隔离件对非锌镀层区域进行遮挡蒸镀，由于采用的隔离带圈其带身宽度均匀一致，因此，在铝膜上产生的锌膜宽度也相对一致。
加强金属化薄膜及其加工装置方法

[发明专利]高速卷绕多层电容薄膜镀膜机及其工艺流程-CN200610049976.3有效
发明人：潘旭祥;林正亮 -专利权人：潘旭祥
申请日： 2006-03-24 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： H01G13/00 文献下载
摘要：本发明公开了高速卷绕多层电容薄膜镀膜机，包括的真空仓体经隔仓板隔有卷绕室和溅射蒸镀室，其分别通过上真空管路和下真空管路连接各自的真空抽气系统，真空仓体内设有蒸镀鼓，卷绕室设有由PLC程序控制技术控制的由放卷组件、蒸镀鼓和收卷组件组成的薄膜卷绕系统；溅射蒸镀室设有由蒸镀鼓带动屏带棍组件组成的屏带卷绕系统；溅射蒸镀室还设有位于蒸镀鼓下侧的第一、第二磁控溅射平面铝靶、锌蒸发源，且第一、第二磁控溅射平面铝靶位于锌蒸发源的两侧其工艺流程为展平的薄膜还经蒸镀鼓通过位于溅射蒸镀室的第一磁控溅射平面铝靶镀一铝层，又经锌蒸发源镀一锌层，再经第二磁控溅射平面铝靶镀一铝氧化层，卷绕回到卷绕室收卷。
高速卷绕多层电容薄膜镀膜及其工艺流程

[实用新型]高速卷绕多层电容薄膜镀膜机-CN200620101960.8无效
发明人：潘旭祥;林正亮 -专利权人：潘旭祥
申请日： 2006-03-24 - 公布日： 2007-06-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了高速卷绕多层电容薄膜镀膜机，包括的真空仓体经隔仓板隔有卷绕室和溅射蒸镀室，其分别通过上真空管路和下真空管路连接各自的真空抽气系统，真空仓体内设有蒸镀鼓，卷绕室设有由PLC程序控制技术控制的由放卷组件、蒸镀鼓和收卷组件组成的薄膜卷绕系统；溅射蒸镀室设有由蒸镀鼓带动屏带辊组件组成的屏带卷绕系统；溅射蒸镀室还设有位于蒸镀鼓下侧的第一、第二磁控溅射平面铝靶、锌蒸发源，且第一、第二磁控溅射平面铝靶位于锌蒸发源的两侧通过对展平的薄膜经蒸镀鼓通过位于溅射蒸镀室的第一磁控溅射平面铝靶镀一铝层，又经锌蒸发源镀一锌层，再经第二磁控溅射平面铝靶镀一铝氧化层，卷绕回到卷绕室收卷。
高速卷绕多层电容薄膜镀膜

[发明专利]一种高亮炫彩反光服用真空蒸镀硫化锌工艺及其应用-CN202110825472.0在审
发明人：查伟强;李俊;张国强 -专利权人：杭州星华反光材料股份有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明涉及反光产品领域，尤其涉及一种高亮炫彩反光服用真空蒸镀硫化锌工艺及其应用。所述工艺包括：将硫化锌蒸镀靶材置于蒸发舟上，植珠膜置于高真空镀膜设备中，开启真空蒸镀，蒸镀暂停，设置挡带，再次开启真空蒸镀。本发明中的硫化锌蒸镀靶材相对于植珠膜是对称、平均分布的，且每个硫化锌蒸镀靶材的蒸发量相同，蒸发速率相同，所制备的植珠膜镀层细腻均匀，无凹凸不平的现象。
一种高亮炫彩反光服用真空硫化锌工艺及其应用

[发明专利]一种电容器用锌铝金属化膜蒸镀工艺-CN202010614074.X在审
发明人：徐培畅 -专利权人：江门市德康镀膜有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容器用锌铝金属化膜蒸镀工艺，包括蒸镀机，它包括以下步骤：一、把蒸镀机速度初设到11米/秒以下，在蒸镀机上分别设置铝蒸发器、锌蒸发器和抗氧化油蒸发器，铝蒸发器、锌蒸发器和抗氧化油蒸发器依次设在膜卷输送方向上，膜卷按顺序依次经过铝蒸发器、锌蒸发器和抗氧化油蒸发器；二、先把蒸发系统对应的钟罩合上，捞出锌锅里的杂质和表面氧化物，把锌锅放入锌蒸发器内，本发明提供一种薄膜产品质量好、客户投诉率低且退货率低的电容器用锌铝金属化膜蒸镀工艺
一种电容器用金属化膜蒸镀工艺

[发明专利]全铝加厚金属化电容器用薄膜的制备方法-CN200710040163.2无效
发明人：唐朝明 -专利权人：上海奥移电器有限公司
申请日： 2007-04-28 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： H01G4/015 文献下载
摘要：全铝加厚金属化电容器用薄膜的制备方法，其蒸镀步骤包括：1.一次蒸镀：在电介质层表面上蒸镀一层铝膜，方阻一般控制在6－12Ω/□；2.二次蒸镀：用一铝炉替换现有的锌炉，在铝膜上蒸镀一层加厚铝或锌铝加强层，铝或锌铝加强层的厚度为铝膜的厚度6－8倍，方阻一般控制在1－4Ω/□。本发明在二次蒸镀所使用的蒸镀材料为含量为纯铝或含有30－60wt％锌铝合金。本发明在原有的金属化薄膜的铝层表面再蒸镀一层铝或锌铝加强镀层，利用铝易在空气中氧化形成致密的氧化铝的特性，提高金属化薄膜的抗氧能力。同时大大减少金属层中的镀铝量，提高其耐压特性和金属化薄膜的自愈性能。
加厚金属化电容器用薄膜制备方法

[发明专利]一种铟铝共掺硫化锌薄膜及其制备方法-CN201911214221.8在审
发明人：李文剑;陈伟新;赖文彬 -专利权人：福建省电子信息应用技术研究院有限公司
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种铟铝共掺硫化锌薄膜的及其制备方法，所述制备方法以下步骤：基片清洗：通过超声波反复震荡清洗玻璃基片，然后烘干玻璃基片；本征ZnS材料第一次蒸镀：在真空环境中，通过电子束在玻璃基片上蒸镀ZnS材料，形成第一层薄膜；铟铝掺杂：当形成第一层薄膜后，首先在第一层薄膜上真空蒸镀单质In，蒸镀单质In后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第二层薄膜；在第二层薄膜上真空蒸镀Al单质；本征ZnS材料第三次蒸镀：蒸镀Al单质后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第三层薄膜，得到掺杂硫化锌薄膜；快速退火：通过在氩气对得到的掺杂硫化锌薄膜进行退火。通过真空电子束蒸发制备的铟铝掺杂硫化锌薄膜，成份易控制，成本低，产品性能优良。
薄膜蒸镀硫化锌薄膜单质玻璃基片掺杂第一层铟铝制备电子束蒸镀真空蒸镀本征电子束退火真空电子束氩气产品性能基片清洗快速退火真空环境震荡清洗超声波第三层烘干共掺蒸发

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