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- [发明专利]重力补偿器以及采用所述重力补偿器的微动台-CN201010102422.1有效
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赵辉
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上海微电子装备有限公司
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2010-01-28
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2011-08-03
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G03F7/20
- 一种重力补偿器,其对受支撑物体进行垂向的重力补偿,所述重力补偿器包括:连接机构,其连接所述重力补偿器与所述受支撑物体,从而在它们之间进行传动;连接至所述连接机构的垂向驱动机构,所述垂向驱动机构驱动所述连接机构进行垂向运动,从而对所述受支撑物体进行垂向补偿;连接至所述垂向驱动机构的悬浮装置,所述悬浮装置使得所述垂向驱动机构浮于承载基部上,以使所述垂向机构可根据所述受支撑装置的移动而在所述承载基部上做相应的移动。由于根据本发明的重力补偿器采用悬浮装置与承载基部连接,因此可以随着受支撑物体的运动而运动,对重力进行实时平衡,使支撑物体处于悬浮状态,从而使支撑物体的运动效率和性能大大提高。
- 重力补偿以及采用微动
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