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- [发明专利]三维半导体元件-CN201410029570.3在审
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陈士弘
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旺宏电子股份有限公司
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2014-01-22
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2015-07-22
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G11C16/06
- 本发明公开了一种三维半导体元件,包括:多层存储器层(memory layers),垂直叠层于一衬底上且存储器层是相互平行的;多条选择线(selection lines),位于存储器层上方,且选择线是相互平行的;多条位线(bit lines),位于选择线上方,且位线是相互平行并垂直于选择线;多条串行(strings)垂直于存储器层和选择线,且串行被电性连接至对应的选择线;多个存储单元(cells)分别由串行、选择线和位线所定义,且存储单元是排列为多列(rows)及多行(columns),其中位线是平行于一行方向,而选择线是平行于一列方向。
- 三维半导体元件
- [发明专利]局部开槽工艺-CN00807779.7无效
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B·S·李
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因芬尼昂技术北美公司
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2000-04-20
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2002-05-29
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H01L21/308
- 根据本发明,一种在半导体制造中开孔的方法包括下列步骤在衬底(102)上提供焊点叠层(104);在焊点叠层上制作硬掩模层(106),此硬掩模层相对于焊点叠层可选择性地清除;在硬掩模层上图形化抗蚀剂层(108),此抗蚀剂层相对于硬掩模层可被选择性地清除并具有足以防止凹陷的厚度;相对于抗蚀剂层选择性地腐蚀硬掩模层直至焊点叠层;以及清除抗蚀剂层。在清除抗蚀剂层之后,相对于硬掩模层选择性地腐蚀焊点叠层,致使孔被一直开到衬底。
- 局部开槽工艺
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