|
钻瓜专利网为您找到相关结果 2069110个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]真空多功能连续镀膜装置-CN200820200000.6无效
-
杨滨
-
昆明理工大学
-
2008-11-18
-
2009-09-30
-
C23C14/56
- 本实用新型属于电子机械技术领域,涉及一种高真空多功能离子束溅射与电子束蒸发连续镀膜装置。本装置的真空镀膜室为单室结构,离子束溅射源和电子束蒸镀源的发生器设置在真空镀膜室外,二者通入镀膜室的入口对应设置有离子束溅源射挡板和电子束蒸镀源挡板;恒张力可逆卷绕单元的收/放卷轴及随动过渡轴固定于镀膜室内的连接支撑装置上本实用新型结构紧凑,在单真空室内具有多种镀膜及连续镀膜功能,并可实现镀膜过程中间断或全时的离子束辅助增强沉积,能将溅射靶材特别是贵重金属靶材和难加工类靶材利用率提高60%~100%,还可通过镶嵌型靶获得特殊功能的包覆型复合膜产品
- 真空多功能连续镀膜装置
- [实用新型]一种片上微型电子源、电子源系统、电子设备-CN202020113062.4有效
-
魏贤龙
-
北京大学
-
2020-01-17
-
2020-10-20
-
H01J3/02
- 本申请公开了一种片上微型电子源、电子源系统、电子设备,其中片上微型电子源包括衬底,衬底上形成有驱动电极对,驱动电极对存在间隙,间隙中形成有电子隧穿结,驱动电极对可以用于驱动电子隧穿结发出电子束,在衬底上方可以固定聚焦电极,聚焦电极上形成有纵向贯穿聚焦电极的聚焦通道,用于在电子束通过时减小电子束的束斑尺寸。也就是说,本申请实施例中,可以通过驱动电极驱动电子隧穿结发出电子束,电子隧穿结无需穿过多个材料层,具有更高的发射效率,通过聚焦电极可以对电子束进行聚集,从而减小电子束的束斑尺寸,这样可以得到发射电流较大,且束斑尺寸较小的电子束。
- 一种微型电子系统电子设备
|