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[实用新型]气相色谱分析系统-CN202221175937.9有效
发明人：王佳欢 -专利权人：中美上海施贵宝制药有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气相色谱分析系统，其包括气相色谱仪和载气供应模块，该载气供应模块通过输送管路与气相色谱仪连接并向气相色谱仪供应载气。气相色谱分析系统还包括用于监测环境空气中的载气浓度的至少一个载气探测器和紧急切断装置，紧急切断装置设置在载气供应模块与气相色谱仪之间并与至少一个载气探测器信号连接，紧急切断装置构造成能根据至少一个载气探测器的检测信号紧急切断载气供应模块与气相色谱仪之间的输送管路根据本实用新型的方案，能够实时监测载气泄漏，并且在发生泄漏时能及时切断载气供应，避免发生爆炸的风险，从而能有效确保气相色谱分析系统的安全使用。
色谱分析系统

[发明专利]自身计量的储液罐-CN98803886.2无效
发明人： D·B·罗杰斯 -专利权人：动态图标有限公司
申请日： 1998-02-05 - 公布日： 2000-04-26 - 主分类号： F16K31/22 文献下载
摘要：特别适合应用于蒸气发生系统的鼓泡器装置,包括一个主外容器,一个内鼓泡容器,载气入口和蒸气出口,使内鼓泡容器包含在主外容器内,和鼓泡器装置这样构造使得在引入载气和引出所产生的蒸气时它能自计量进入的可气化液体的供应最好,系统还提供内浮动鼓泡容器的磁感应中心定位,液体温度的检测和控制,液体补充供应、载气输入供应和蒸气引出口的连接。
自身计量储液罐

[发明专利]一种用于外延设备的压力调节装置及工艺气体切换方法-CN202310283886.4在审
发明人：盛飞龙;郭嘉杰;伍三忠;毛朝斌;钟新华;王鑫 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本申请涉及外延设备技术领域，具体提供了一种用于外延设备的压力调节装置及工艺气体切换方法，该装置包括：流入管路，与反应室的进气端连接；排放管路，与反应室的排气管连接；压差检测组件，其两端分别与流入管路和排放管路连接，用于检测流入管路和排放管路之间的压差信息；载气供应组件，分别与流入管路和排放管路连接，用于为流入管路和排放管路供应载气；工艺气体供应组件，与流入管路和排放管路连接；切换组件，用于控制工艺气体供应组件为流入管路或排放管路供应工艺气体；回气组件，其两端分别与反应室的排气管和排放管路连接，用于将反应室的部分尾气导入排放管路；以及调节组件；该装置能够有效地减少载气使用量。
一种用于外延设备压力调节装置工艺气体切换方法

[实用新型]气体供应系统及其基片处理装置-CN202222860276.X有效
发明人：许灿;陶珩 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体供应系统及其基片处理装置，所述气体供应系统包含起泡腔室、进气管道、出气管道以及分流器，起泡腔室用于存储液态前驱物，液态前驱物汽化生成的气体与进气管道导入的载气形成混合气体，出气管道将混合气体输送到对应的处理腔室对基片进行处理本实用新型通过分流器将进气管道中的载气分成若干分支载气后导入液体前驱物，并使分支载气的出气端口远离起泡腔室的气体出口，来解决上述液滴飞溅引起的起泡腔室气体出口堵塞的问题。本实用新型提供的气体供应系统能够平稳、高效地向其基片处理装置供应气体，保障基片处理装置的基片处理速率和质量。
气体供应系统及其处理装置

[实用新型]一种载气自动切换系统-CN202222985152.4有效
发明人：杨留阳 -专利权人：爱文思控制系统工程（上海）有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种载气自动切换系统，其包括两路在线色谱分析仪的载气入口连通的载气管路，两路载气管路均依次设有与载气连通的电子压力变送器、载气减压阀、电磁阀、手动三通阀。本实用新型可以对供应气瓶的供气进行监测调节，两个供应气瓶可以对色谱柱供应的载气进行不停机切换，从而使色谱分析仪能够实现连续运行，保证分析数据的时效性和准确性。本实用新型可以实现载气钢瓶压力实时监测，更换空载气瓶情况下色谱分析仪不停机可连续分析，实现载气钢瓶对色谱分析仪供给自动切换，操作简单，维护方便。
一种自动切换系统

[发明专利]用于沉积装置的罐及使用罐的沉积装置-CN201110006623.6无效
发明人：郑珉在;李基龙;洪钟元;罗兴烈;姜有珍;张锡洛;徐晋旭;梁泰勋;郑胤谟;苏炳洙;朴炳建;李东炫;李吉远;白原奉;朴钟力;崔宝京;伊凡·马伊达楚克;郑在琓 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2011-01-10 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：一种用于沉积装置的罐和使用罐的沉积装置，并且更为具体地，一种能够提供包含在供应到沉积室中的反应气体中的均匀量的原材料并且提高原材料供应的安全性的沉积装置的罐，以及使用罐的沉积装置。该沉积装置包括：沉积室；将反应气体供应到该沉积室的罐；以及用于将载气供应到罐的载气供应器，其中该罐包括主体、加热该主体的加热单元以及布置在该主体下方的温度测量单元。
用于沉积装置使用

[发明专利]一种独立供应金属卤化物的氢化物气相外延装置-CN200610165539.8无效
发明人：段瑞飞;王军喜;曾一平;李晋闽 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2006-12-21 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：一种独立供应金属卤化物的氢化物气相外延装置，其中：金属卤化物供应炉外部设有加热装置，该供应炉设有通气管道；该供应炉内部放置金属镓、铟、铝、铁、镁中的一种或多种或者经过提纯的金属卤化物；该供应炉设有反应气体/载气通道，生成或者直接的金属卤化物通过载气携带进入氢化物气相外延炉进行氮化物材料的生长；氢化物气相外炉延生长室包括有；一外延生长室；一衬底装置设于外延生长室内，衬底装置在外延生长室外部接有调速马达；反应气体管道通过外延生长室的密封盘进入外延生长室，载气携带反应气体通过该反应气体管道进入外延生长室内，并流动到衬底上进行反应生长氮化物单晶衬底；一加热装置，环绕于外延生长室外。
一种独立供应金属卤化物氢化物外延装置

[发明专利]用于气相色谱仪的载气连接装置-CN201880099537.4在审
发明人：褚波 -专利权人：安捷伦科技有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01N30/00 文献下载
摘要：载气连接装置(100、402、404、406、408)使得能够改变提供给气相色谱通道的载气。所述载气连接装置(100、402、404、406、408)包括通道适配器(102、202)、载气块(104、302)、和夹紧系统、以及两个或更多个通道适配器位置。在每个所述通道适配器位置中，形成用于载气离开所述载气块(104、302)进入所述通道适配器(102、202)的不透流体的流动路径。还提供了载气分配系统(400)、气相色谱仪、和改变供应给GC的载气的方法。
用于色谱仪连接装置

[发明专利]可利用天然气水合物实现最小压载水船舶内燃料供应、压载水替代以及清水供应的系统-CN201980093892.5在审
发明人：姜熙珍;崔珍 -专利权人：韩国海洋科学技术院
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B63H21/38 文献下载
摘要：本发明的涉及一种可以在从天然气水合物仅提取出天然气之后将其作为最小压载水船型船舶的双燃料引擎的燃料使用的可利用天然气水合物实现最小压载水船舶内燃料供应、压载水替代以及清水供应的系统。
利用天然气水合物实现最小压载水船舶燃料供应替代以及清水系统

[实用新型]用于制备硅碳负极材料的化学气相沉积系统-CN201420333149.7有效
发明人：吴清国;权学军;朱玉巧;徐中领 -专利权人：浙江瓦力新能源科技有限公司
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于制备硅碳负极材料的化学气相沉积系统，包括化学气相沉积室、反应气体源供应系统、载气供应系统、可旋转沉积室、废气接收器。所述反应气体源供应系统、载气供应系统与化学气相沉积室连通，所述可旋转沉积室与化学气相沉积室连通；本实用新型能够使沉积复合物在沉积受体表面覆盖均匀，且沉积复合物在沉积受体上的分散性良好。
用于制备负极材料化学沉积系统

[实用新型]一种在线色谱分析仪载气切换装置-CN201821155728.1有效
发明人：李海生;陈和林;仝献华;费玲;孙涛 -专利权人：邯郸钢铁集团有限责任公司;河北邯钢新锐稀有气体科技股份有限公司;河北邯钢锐达气体有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： G01N30/32 文献下载
摘要：一种在线色谱分析仪载气切换装置，属于色谱分析仪配套设备技术领域，用于对色谱分析仪进行载气供气。其技术方案是：它包括两个供应气瓶、一个三通控制阀、两个调压阀、两个压力表、两个排放阀，两个供应气瓶分别通过输气管道与三通控制阀的两个进口相连接，三通控制阀的出口通过输气管道与色谱分析仪的进气端口相连接，在两个供应气瓶与三通控制阀的输气管道中分别安装有调压阀和压力表，两个排放阀的排气管道分别与两个供应气瓶的输气管道相连接。本实用新型结构简单、使用方便，可以对供应气瓶的供气进行监测调节，两个供应气瓶可以对色谱柱供应的载气进行不停机切换，从而使色谱分析仪能够实现连续运行，保证分析数据的时效性和准确性。
气瓶三通控制阀输气管道载气色谱分析仪压力表在线色谱分析仪切换装置调压阀排放阀供气本实用新型分析数据进气端口排气管道配套设备色谱分析不停机色谱柱时效性监测进口出口保证

[发明专利]固体有机金属化合物用填充容器和其填充方法-CN03102112.3有效
发明人：富安静夫;德留功一;羽贺健一 -专利权人：东曹精细化工株式会社
申请日： 2003-02-08 - 公布日： 2003-08-20 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：提供一种可以长时间以一定浓度稳定地向MOCVD装置等气相外延生长用装置供应固体有机金属化合物的新型填充容器。这种固体有机金属化合物用填充容器具有载气导入口(2)和载气排出口(3)，其特征在于该容器具有以下结构：填充容器内部被分为多个纵向空间，利用载气流通方向反转装置(6)，使从载气导入口(2)导入的载气作为向下的气流流通过各纵向空间，并从载气排出口(3)排出。
固体有机金属化合物填充容器方法

[发明专利]用于同位素比分析仪的进气系统和确定同位素比的方法-CN201480020892.X有效
发明人： E·瓦佩尔郝斯特;H-J·舒吕特;O·克拉克;J·施韦特斯;M·库鲁门 -专利权人：塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
申请日： 2014-04-09 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种用于将气体引入同位素比分析仪的进气系统，该进气系统包括参考系统，该参考系统包括：参考气体的第一供应，该参考气体具有第一已知同位素比；载气的供应，其中该参考气体的供应与该载气的供应各自通过相应的参考气体管线和载气管线被连接至第一混合接头，该参考气体与该载气在该第一混合接头处组合；混合区域，连接在该第一混合接头的下游，其中该已组合的参考气体与载气混合在一起；出口管线，用于将该混合气体从该混合区域输送至该同位素比分析仪；以及位于该出口管线上的开口
用于同位素分析系统确定方法

[发明专利]前体供应系统和前体供应方法-CN201780011155.7有效
发明人：中川利幸;森本孝贵;柳田和孝;亀冈崇史;熊本佑规;铃木一马;后藤三树夫 -专利权人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：提供了一种供应系统，该供应系统能够将固体材料前体或液体材料前体以指定浓度或更高但不是大于必需浓度的浓度供应至后面工艺。供应系统1包括：容器11，其用于储存前体材料；容器加热单元，其用于在设定温度下加热该容器；载气加热单元，其被布置在引入管线L1中并且用于加热载气；主测量单元，其被布置在排出管线L2中并且用于获得与前体气体相关的数据；以及载气温度控制部分，其用于基于该主测量单元的测量结果控制该载气加热单元的温度。
供应系统方法

[发明专利]用于蒸发液化气以为发动机提供燃气的布置系统-CN201980058985.4有效
发明人： A·迪尔曼;A·哈姆布克;M·库库克;A·希格特 -专利权人：塔格海底天然气工程有限公司
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F02M21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于蒸发液化气以为发动机提供燃气的布置系统，包括：燃气供应管道(2)，所述燃气供应管道将液化气箱与发动机连接；蒸发器(3)，所述蒸发器设置在所述燃气供应管道(2)中，并且液化气(9)在所述蒸发器中被蒸发；以及载热介质循环回路(4)，所述载热介质循环回路连接至蒸发器(3)并具有热交换器(5)，所述热交换器又连接在冷却剂循环回路(6)上，所述布置系统还具有附加的传热装置(7)，所述传热装置将另外的热量引入所述载热介质循环回路(4)中，所述传热装置是高温加热装置(7)，所述高温加热装置与在运行状态下积聚热量的设备处于传热连接，以为所述高温加热装置供应热量，其中，所述冷却剂循环回路(6)的部分(51、55、56)也构成所述热交换器(5)的一部分，所述部分和高温加热装置(7)的加热元件(52)设置在共同的载热介质腔(35)中，并且载热介质(10)在所述载热介质腔中围绕所述部分和所述加热元件流动。
用于蒸发液化气以为发动机提供燃气布置系统

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