专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN202280020591.1在审
  • 墨周武 - 株式会社斯库林集团
  • 2022-03-16 - 2023-10-27 - H01L21/304
  • 本发明的基板处理方法具备:超临界处理工序,将处理流体导入至收容了基板的腔室的内部空间,并通过超临界状态的处理流体处理基板;减压工序,排出处理流体并将内部空间减压;搬出工序,从腔室搬出基板;以及温度调整工序,将处理流体导入至搬出基板后的内部空间并排出处理流体,借此将内部空间的温度调整至目标温度。在用以在腔室内通过超临界状态的处理流体处理基板的技术中,能适当地管理处理后的腔室内的温度,尤其在按序处理多片基板的情形中也能获得稳定的处理效率。
  • 处理方法以及装置
  • [发明专利]基板干燥装置-CN202010690139.9在审
  • 申熙镛;李泰京;尹炳文 - 无尽电子有限公司
  • 2020-07-17 - 2021-01-19 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种基板干燥装置,包括:腔室;超临界流体产生和储存单元,其产生并储存待供给至腔室内的超临界流体;和超临界流体供给调节单元,其调节储存在超临界流体产生和储存单元中的、待供给至腔室的超临界流体,其中腔室包括:上壳体;下壳体;基板放置板,在其上布置上面形成了有机溶剂的基板;上供给口,其形成为在下壳体的中心区域中面对基板放置板并提供干燥用超临界流体的供给路径;和集成式供给和排放口,其从下壳体的侧表面延伸至中心区域,形成为在下壳体的中心区域中面对基板放置板,并提供初始加压用超临界流体的供给路径以及使用干燥用超临界流体执行干燥后的、其中干燥用超临界流体中溶解了有机溶剂的混合流体的排放路径。
  • 干燥装置
  • [发明专利]病毒灭活方法及生物材料-CN201911252843.X有效
  • 潘孔荣;张一;张坤;汪文涛 - 沛嘉医疗科技(苏州)有限公司
  • 2019-12-09 - 2021-08-06 - A61L2/18
  • 本申请公开病毒灭活方法及生物材料,其中病毒灭活方法包括:以超临界流体作为溶剂,混合溶解灭活液以获得灭活溶液;在预设条件下,利用所述灭活溶液,对生物材料进行病毒灭活处理超临界流体的密度近于液体,粘度近于气体,扩散系数为液体的100倍,具有类似气体的扩散性及液体的溶解能力,同时兼具低黏度,低表面张力的特性,从而超临界流体能够迅速渗透进入微孔隙的物质,可以将灭活分子输送到需灭菌的生物材料的任何位置以超临界流体作为溶剂,混合溶解灭活液以获得灭活溶液,从而灭活溶液具有超临界流体的性质,可以快速有效地对生物材料进行病毒灭活处理,同时不会对生物材料的分子结构和性能造成改变。
  • 病毒方法生物材料
  • [发明专利]超临界干燥方法以及超临界干燥系统-CN201110065920.8无效
  • 北岛由贵子;富田宽;林秀和;大口寿史;佐藤洋平 - 株式会社东芝
  • 2011-03-18 - 2012-03-21 - H01L21/00
  • 本发明涉及超临界干燥方法以及超临界干燥系统。根据实施例,一种超临界干燥方法包括:向腔中引入其表面被超临界置换溶剂润湿的半导体衬底;向所述腔供应基于第一二氧化碳的第一超临界流体;在供应所述第一超临界流体之后,向所述腔供应基于第二二氧化碳的第二超临界流体;以及降低所述腔的内部压力以气化所述第二超临界流体并从所述腔排出气化的所述第二超临界流体。所述第二二氧化碳不包含超临界置换溶剂或者所包含的所述超临界置换溶剂的浓度小于所述第一二氧化碳中所包含的所述超临界置换溶剂的浓度。
  • 临界干燥方法以及系统

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